반도체 산업 사슬, 특히 3세대 반도체(와이드 밴드 갭 반도체) 산업 사슬에서 기판과 에피택셜 층이 있는데, 그 의미는 무엇입니까?
탄화규소 세라믹은 고유한 물리적, 화학적 특성으로 인해 반도체/집적 회로 제조 장비에서 중요한 역할을 합니다.
