반도체 장비는 전자 산업의 발전을 지원하는 초석이지만, 반도체 산업 체인의 업스트림 시장 공간은 가장 광범위하고 가장 중요합니다.
수소 기반 플라즈마로 전환하면 GaN 기판의 고속 에칭이 보장되며, 일본 오사카 대학의 엔지니어들은 질화갈륨(GaN)을 얇게 만드는 데 새로운 돌파구를 마련했다고 주장합니다.