ASML은 1984년 4월 1일 ASM Lithography로 설립되었습니다. 필립스와 ASM International의 이번 합작 회사의 사명은 필립스가 개발한 웨이퍼 스테퍼인 PAS 2000을 상용화하는 것입니다.
반도체 공정 전체는 반복적인 세정이 필요하며, 세정 공정은 전체 생산 공정의 30% 이상을 차지하는 반도체 산업 전반에 걸쳐 진행됩니다.