EUV의 장점 중 하나는 칩 처리 단계가 단축된다는 점인데, 기존 다중 노광 기술 대신 EUV를 사용하면 증착, 식각, 공정 단계가 크게 단축됩니다.
빠르게 발전하는 반도체 기술 분야에서 물리 기상 증착(PVD)은 박막 증착 공정의 정밀도와 효율성을 달성하기 위한 핵심 도구입니다. 이 논문은 공동 ...
