10년 넘게 침지 리소그래피는 반도체 제조의 주요 노광 기술이었습니다.
반도체 산업 사슬, 특히 3세대 반도체(와이드 밴드 갭 반도체) 산업 사슬에서 기판과 에피택셜 층이 있는데, 그 의미는 무엇입니까?
