플라즈마는 1879년 William Crookes에 의해 처음 발견되었으며 1929년 Irving Langmuir에 의해 "플라즈마"라고 명명되었습니다. 칩 제조에 플라즈마를 적용하는 것은 매우 일반적이고 중요합니다.
새로운 열 트랜지스터부터 더 빠른 반도체 재료에 이르기까지 이러한 가장 중요한 기술 혁신은 반도체 산업을 발전시키고 있습니다.