세라믹 코팅은 무기 비금속 코팅 종류의 총칭으로 고온 저항, 내마모성 및 내식성 등의 장점을 유지할 뿐만 아니라...
정전척(ESC, e-Chuck)이라고도 불리는 정전흡착기는 정전흡착의 원리를 이용하여 흡착물체를 흡착 고정하는 고정구로, 정전기 척(ESC, e-Chuck)에 적합합니다.