고순도 흑연은 높은 내열성, 우수한 전기 전도도 및 화학적 안정성을 갖고 있어 반도체 분야의 핵심 소재가 되었습니다.
다공성 세라믹 척은 나노 다공성 진공 척이라고도 불리며, 특수한 나노 분말 제조 공정으로 생산된 균일한 고체 또는 진공 구를 말하며, 많은 수의 세라믹 척이 사용됩니다.