레이저는 웨이퍼에 집속되어 광점을 비추고, 반사된 빛은 수신면에 다시 초점이 맞춰지며, 빛의 분석을 통해 실리콘 웨이퍼의 표면은...
집적 회로 제조의 핵심 기술 및 장비에는 주로 리소그래피 기술 및 리소그래피 장비, 필름 성장 기술 및 장비, 화학 기계적 폴리싱이 포함됩니다.
