고밀도 세라믹 진공 척 (다공성 세라믹 진공 척)은 기공 크기가 2 ~ 3 미크론 인 특수 다공성 세라믹 소재로 차단하기 쉽지 않고, 높은 진공력, 일부 영역 광고...
SiC 보트는 탄화규소 보트입니다. 실리콘 카바이드 보트는 고온 액세서리의 고온 처리를 위해 웨이퍼가 장착된 퍼니스 튜브에 사용됩니다. 탄화규소 때문에...