정전척(ESC, e-Chuck)이라고도 불리는 정전흡착기는 정전흡착의 원리를 이용하여 흡착물체를 흡착 고정하는 고정구로, 정전기 척(ESC, e-Chuck)에 적합합니다.
패키징 공정은 반도체 제조의 마지막 단계로 연삭, 절단, 실장, 배선, 성형의 순서로 이루어진다. 이러한 프로세스의 순서는 상황에 따라 변경될 수 있습니다.