실리콘은 수십 년 동안 트랜지스터 세계를 지배해 왔습니다. 하지만 상황이 바뀌고 있습니다. 두 가지 또는 세 가지 재료로 구성된 화합물 반도체는 고유한 장점과 뛰어난 성능을 제공하도록 개발되었습니다.
SiC 보트는 탄화규소 보트입니다. 실리콘 카바이드 보트는 고온 액세서리의 고온 처리를 위해 웨이퍼가 장착된 퍼니스 튜브에 사용됩니다. 탄화규소 때문에...
