칩 제조의 핵심 장비인 EUV 노광기는 많은 주목을 받으며 ASML의 중요성은 더욱 부각되고 있으며, 이러한 흐름 속에서 S의 패턴은...
웨이퍼 제조 공정에서 웨이퍼는 특정 온도까지 가열되어야 하며, 웨이퍼 온도 균일성은 매우 엄격한 요구 사항을 갖습니다.