웨이퍼 흡착 기술은 사소해 보이지만 중요한 연결고리입니다. 에칭, 증착 또는 석판화 여부에 관계없이 웨이퍼는 효율적인 작업을 보장하기 위해 올바른 위치에 안정적이고 정밀하게 고정되어야 합니다.
특수 다공성 세라믹 소재의 기공 크기는 2~3 미크론으로 큰 진공력과 부분 면적 흡착으로 막힘이 어렵습니다. 공중부양으로도 사용할 수 있습니다.
