SiC 보트는 탄화규소 보트입니다. 실리콘 카바이드 보트는 고온 액세서리의 고온 처리를 위해 웨이퍼가 장착된 퍼니스 튜브에 사용됩니다. 탄화규소 때문에...
CMP(Chemical Mechanical Polishing)는 웨이퍼 표면 평탄도를 달성하기 위해 집적 회로 칩을 제조하는 데 사용되는 기술입니다.