현재 국내 진공반도체 부품은 약 3~5년 전 국내 반도체 장비 개발 단계와 맞먹고 있으며, 다양한 부품을 국내 여러 공급업체가 공급하고 있다.
지르코니아 세라믹(ZrO2)은 고융점, 고경도, 우수한 내마모성을 가지며 상온 및 고온에서 절연체로 사용됩니다.