집적 회로 제조의 핵심 기술 및 장비에는 주로 리소그래피 기술 및 리소그래피 장비, 필름 성장 기술 및 장비, 화학 기계적 폴리싱이 포함됩니다.
특수 다공성 세라믹 소재의 기공 크기는 2~3 미크론으로 큰 진공력과 부분 면적 흡착으로 막힘이 어렵습니다. 공중부양으로도 사용할 수 있습니다.
