플라즈마는 1879년 William Crookes에 의해 처음 발견되었으며 1929년 Irving Langmuir에 의해 "플라즈마"라고 명명되었습니다. 칩 제조에 플라즈마를 적용하는 것은 매우 일반적이고 중요합니다.
웨이퍼 개발 프로세스는 리소그래피 프로세스의 필수 단계이며 수십 년간의 혁신과 발전을 거쳤습니다. 그렇다면 일반적인 개발 방법에는 몇 가지가 있습니까? 그게 뭐야?