반도체 공정 전체는 반복적인 세정이 필요하며, 세정 공정은 반도체 산업 전반에 걸쳐 진행되며 전체 생산 공정의 30% 이상을 차지합니다.
다공성 척 테이블, 일컬어: 다공성 세라믹 진공 흡입기금속(또는 세라믹) 베이스와 특수 다공성 세라믹 조합, 내부 정밀 공기 전도 설계로 구성됩니다.