정전척(ESC, e-Chuck)이라고도 불리는 정전흡착기는 정전흡착의 원리를 이용하여 흡착물체를 흡착 고정하는 고정구로, 정전기 척(ESC, e-Chuck)에 적합합니다.
정보기술의 급속한 발전과 고효율 전자소자의 수요 증가로 인해 탄화규소(SiC)로 대표되는 3세대 반도체 소재...