Үй
Материалдар
0102030405
Кремний карбиди коррозияга туруктуу бөлүктөргө, пломба бөлүктөрүнө, жогорку температурага туруктуу бөлүктөргө, багыттоочу рельстерге жана чарчы устундарга колдонулат
Кремний карбид керамикалык жогорку күч, жогорку катуулук, жогорку ийкемдүү модулу, жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүк, төмөнкү жылуулук кеңейүү коэффициенти, ошондой эле жакшы өзгөчө катуулук жана оптикалык иштетүү касиеттери, өзгөчө ылайыктуу мыкты жогорку температура туруктуулугу сыяктуу кадимки температурада мыкты механикалык касиеттерге ээ. так керамикалык конструкциялык бөлүктөр үчүн фотолитографиялык машинаны жана башка интегралдык схема жабдууларын даярдоо үчүн. Мындай photolithography машина так кыймылдуу workpiece үстөл, скелет, соргуч, суу менен муздатылган табак жана так өлчөө күзгү, тор жана башка керамикалык структуралык бөлүктөрүндө колдонулган сыяктуу, Fountyl жаңы материал техникалык изилдөө жылдардан кийин, ири өлчөмдөгү, жука дубалды чечүү, Кремний карбидинин структуралык бөлүктөрүнүн көңдөй жана башка татаал түзүлүшү, так иштетүү жана даярдоо көйгөйлөрү, бул тактык кремний карбидинин структуралык бөлүктөрүн даярдоо технологиясынын техникалык бөксөлүгүн бузуп. Бул интегралдык микросхемалардын өндүрүштүк жабдууларында колдонулган негизги структуралык бөлүктөрдүн локализацияланышына чоң өбөлгө түздү.
● Кремний карбиди керамика, негизинен, басымсыз агломерациялоо кремний карбиди (SSiC), реакция-синтерленген кремний карбиди (RBSC), химиялык буулуу кремний карбиди (CVD-SiC) кирет.
● Кремний карбиди ар кандай сонун касиеттерге ээ: супер катуу, эскирүүгө каршылык, жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүк жана механикалык күч, төмөнкү жылуулук кеңейүү коэффициенти, мыкты жылуулук туруктуулугу, тыгыздыгы аз, өзгөчө катуулугу, магниттик эмес.
● Азыркы учурда, кремний карбид керамика, мисалы, кремний карбид керамикалык чагылдыруучу жана IC интегралдык микросхема өндүрүшүнүн, жылуулук алмаштыргычтар жана ок өткөрбөс материалдар үчүн жогорку класстагы жабдуулардын керамикалык бөлүктөрү сыяктуу авиация, аэрокосмостук жана өзөктүк өнөр жайы сыяктуу ар кандай тармактарда колдонулат.
Интегралдык микросхемалардын өндүрүштүк жабдуулары үчүн так керамикалык структуралык бөлүктөрүнүн өзгөчөлүктөрү:
① Абдан жеңил: Кыймыл инерциясын азайтуу, мотор жүгүн азайтуу, кыймылдын эффективдүүлүгүн, жайгаштыруу тактыгын жана туруктуулугун жогорулатуу үчүн, структуралык бөлүктөр көбүнчө жеңил конструкциянын дизайнын колдонушат, жеңил салмак 60-80%, 90% га чейин;
② Форма-позициянын жогорку тактыгы: жогорку тактыктагы кыймылга жана жайгашууга жетишүү үчүн структуралык бөлүктөр өтө жогорку формага жана позицияга так болушу керек, тегиздик, параллелизм жана перпендикулярдык 1μmден аз болушу керек, ал эми форма жана жайгашуу тактыгы 5μm кем болушу керек.
③ Жогорку өлчөмдүү туруктуулук: жогорку тактыктагы кыймылга жана жайгашууга жетишүү үчүн, структуралык бөлүктөр өтө жогорку өлчөмдүү туруктуулукка ээ болушу керек, штамм жаратпашы керек жана жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүк, төмөн жылуулук кеңейүү коэффициенти, чоң өлчөмдүү деформацияны өндүрүү оңой эмес. ;
④ Таза жана булганбаган. Структуралык бөлүктөр өтө төмөн сүрүлүү коэффицентине, кыймыл учурунда кинетикалык энергиянын аз жоголушуна жана майдалоочу бөлүкчөлөрдүн булганышына ээ болушу керек. Кремний карбид материалы абдан жогорку ийкемдүү модулу, жылуулук өткөрүмдүүлүк жана төмөнкү жылуулук кеңейүү коэффициенти бар, ийилип стресс деформация жана жылуулук штамм өндүрүү үчүн жеңил эмес, жана мыкты жылтыратылышына ээ, сонун күзгүгө чейин machined болот; Ошондуктан, кремний карбидин интегралдык микросхемалардын негизги жабдуулары үчүн так структуралык материал катары колдонуу чоң артыкчылыктарга ээ, мисалы, фотолитография машинасы, кремний карбиди жакшы химиялык туруктуулуктун, жогорку механикалык күчтүн, жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүктүн жана төмөнкү жылуулук кеңейүү коэффициентинин артыкчылыктарына ээ. жана жогорку температурада, жогорку басымда, коррозияда жана экстремалдык чөйрөнүн радиациясында колдонулушу мүмкүн.
Кремний карбиди жакшы химиялык туруктуулуктун, жогорку механикалык күчтүн, жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүктүн жана төмөнкү жылуулук кеңейүү коэффициентинин артыкчылыктарына ээ жана жогорку температурада, жогорку басымда, коррозияда жана экстремалдык чөйрөдө радиацияда колдонулушу мүмкүн.
Интегралдык микросхемалардын негизги жабдыктары курамдык материалдардын жеңил салмактуу, жогорку бекемдик, жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүк жана төмөнкү жылуулук кеңейүү коэффициентинин мүнөздөмөлөрүнө ээ болушун, тыгыз жана кемчиликсиз бирдей болушун талап кылат. Компоненттер өтө тактык кыймылын жана жабдууларды башкарууну камсыз кылуу үчүн өтө жогорку өлчөмдүү тактык жана өлчөмдүк туруктуулук талап кылынат. Кремний карбид керамикасынын жогорку ийкемдүү модулу жана өзгөчө катуулугу бар, деформациялоо оңой эмес, ошондой эле жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүккө жана төмөн жылуулук кеңейүү коэффициентине, жогорку жылуулук туруктуулугуна ээ, ошондуктан кремний карбид керамикасы эң сонун структуралык материал болуп саналат, азыркы учурда интегралдык схема өндүрүшүндө кремний карбидинин жумушчу столу бар литография машинасы, багыттоочу рельс, рефлектор, керамикалык патрон жана керамикалык акыркы эффектор сыяктуу колдонмолордун кеңири спектрин алуу үчүн негизги жабдуулар.
Фоунтил фотолитографиялык машинаны чоң өлчөмдөгү, көңдөй ичке дубалы, татаал түзүлүшү, так кремний карбидинин структуралык бөлүктөрүн даярдоо технологиясы менен интегралдык микросхемалардын негизги жабдыктарынын өкүлү катары тосуп алат, мисалы: кремний карбидинин вакуумдук патрону, багыттоочу темир жол, рефлектор, жумушчу стол жана photolithography машина үчүн так кремний карбид структуралык бөлүктөрүнүн бир катар.
| Properties | Фоунтил | ||
| Тыгыздыгы（г/см3) | 2.98-3.02 | ||
| Жаш модулу (GPa) | 368 | ||
| Ийилүү күчү (МПа) | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE（×10-6/℃） | 100℃ | 2,8×10-6 | |
| 400℃ | 3,6×10-6 | ||
| 800℃ | 4,2×10-6 | ||
| 1000℃ | 4,6×10-6 | ||
| Жылуулук өткөрүмдүүлүк (Вт/м·к) (20 ºC) | 160-180 | ||
| Пуассон катышы | 0.187 | ||
| Жылуу модулу (GPa) | 155 | ||