ບ້ານ
ວັດສະດຸ
0102030405
Silicon carbide ໃຊ້ສໍາລັບພາກສ່ວນທີ່ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ, ພາກສ່ວນປະທັບຕາ, ພາກສ່ວນທີ່ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ, ລາງລົດໄຟນໍາພາແລະ beams ຮຽບຮ້ອຍ.
Silicon carbide ceramics ມີຄຸນສົມບັດກົນຈັກທີ່ດີເລີດໃນອຸນຫະພູມປົກກະຕິ, ເຊັ່ນ: ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງສູງ, ຄວາມແຂງສູງ, modulus elastic ສູງ, ສະຖຽນລະພາບອຸນຫະພູມສູງທີ່ດີເລີດ, ເຊັ່ນ: ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ, ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາ, ແລະຄວາມແຂງສະເພາະທີ່ດີແລະຄຸນສົມບັດການປຸງແຕ່ງ optical, ໂດຍສະເພາະທີ່ເຫມາະສົມ. ສໍາລັບການກະກຽມເຄື່ອງ photolithography ແລະອຸປະກອນວົງຈອນປະສົມປະສານອື່ນໆສໍາລັບພາກສ່ວນໂຄງສ້າງ ceramic ຄວາມແມ່ນຍໍາ. ເຊັ່ນ: ໃຊ້ໃນເຄື່ອງ photolithography ຄວາມແມ່ນຍໍາເຄື່ອນຍ້າຍຕາຕະລາງ workpiece, skeleton, ຈອກດູດ, ແຜ່ນລະບາຍນ້ໍາແລະກະຈົກການວັດແທກຄວາມແມ່ນຍໍາ, grating ແລະພາກສ່ວນໂຄງສ້າງ ceramic ອື່ນໆ, Fountyl ວັດສະດຸໃຫມ່ຫຼັງຈາກປີຂອງການຄົ້ນຄວ້າດ້ານວິຊາການ, ການແກ້ໄຂຂະຫນາດໃຫຍ່, ກໍາແພງບາງ, ເປັນຮູແລະໂຄງສ້າງສະລັບສັບຊ້ອນອື່ນໆຂອງພາກສ່ວນໂຄງສ້າງ silicon carbide ຄວາມແມ່ນຍໍາການປຸງແຕ່ງແລະການກະກຽມບັນຫາ, breaking ໂດຍຜ່ານ bottleneck ດ້ານວິຊາການຂອງປະເພດຂອງຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງ silicon carbide ເຕັກໂນໂລຊີການກະກຽມພາກສ່ວນໂຄງສ້າງ. ມັນໄດ້ສົ່ງເສີມການທ້ອງຖິ່ນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຂອງພາກສ່ວນໂຄງສ້າງທີ່ສໍາຄັນທີ່ໃຊ້ໃນອຸປະກອນການຜະລິດວົງຈອນປະສົມປະສານ.
● Silicon carbide ceramics ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນປະກອບດ້ວຍ sintering silicon carbide (SSiC), ປະຕິກິລິຍາ sintered silicon carbide (RBSC), ສານເຄມີ vapor deposition silicon carbide (CVD-SiC).
● Silicon carbide ມີຄວາມຫລາກຫລາຍຂອງຄຸນສົມບັດທີ່ດີເລີດ: super hard, ທົນທານຕໍ່ພັຍ, ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງແລະຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກ, ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາ, ສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ຄວາມຫນາແຫນ້ນຕ່ໍາ, ແຂງສະເພາະສູງ, ບໍ່ແມ່ນແມ່ເຫຼັກ.
●ໃນປັດຈຸບັນ, ຊິລິໂຄນຄາໄບເຊລາມິກຖືກນໍາໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກໍາຕ່າງໆເຊັ່ນ: ການບິນ, ຍານອາວະກາດແລະອຸດສາຫະກໍານິວເຄລຍ, ເຊັ່ນ: ຊິ້ນສ່ວນເຊລາມິກຂອງອຸປະກອນຊັ້ນສູງສໍາລັບຊິລິໂຄນ carbide ceramic reflector ແລະການຜະລິດວົງຈອນປະສົມປະສານ IC, ການແລກປ່ຽນຄວາມຮ້ອນແລະວັດສະດຸປ້ອງກັນລູກປືນພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂທີ່ຮຸນແຮງ.
ຄຸນລັກສະນະຂອງພາກສ່ວນໂຄງສ້າງເຊລາມິກທີ່ຊັດເຈນສໍາລັບອຸປະກອນການຜະລິດວົງຈອນປະສົມປະສານ:
① ນ້ໍາຫນັກເບົາສູງ: ເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຄວາມ inertia ການເຄື່ອນໄຫວ, ຫຼຸດຜ່ອນການໂຫຼດມໍເຕີ, ປັບປຸງປະສິດທິພາບການເຄື່ອນໄຫວ, ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຕໍາແຫນ່ງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງ, ພາກສ່ວນໂຄງສ້າງໂດຍທົ່ວໄປໃຊ້ການອອກແບບໂຄງສ້າງທີ່ມີນ້ໍາຫນັກເບົາ, ອັດຕານ້ໍາຫນັກເບົາແມ່ນ 60-80%, ສູງເຖິງ 90%;
②ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຕໍາແຫນ່ງຮູບແບບສູງ: ເພື່ອບັນລຸການເຄື່ອນໄຫວແລະຕໍາແຫນ່ງຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ພາກສ່ວນໂຄງສ້າງຈໍາເປັນຕ້ອງມີຮູບແບບທີ່ສູງທີ່ສຸດແລະຄວາມຖືກຕ້ອງຕໍາແຫນ່ງ, ຄວາມຮາບພຽງ, ຂະຫນານແລະ perpendicularity ແມ່ນຕ້ອງການຫນ້ອຍກ່ວາ 1μm, ແລະຮູບແບບແລະ ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຕໍາແຫນ່ງແມ່ນຕ້ອງການຫນ້ອຍກວ່າ 5μm.
③ ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງມິຕິລະດັບສູງ: ເພື່ອບັນລຸການເຄື່ອນໄຫວແລະການຈັດຕໍາແຫນ່ງທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ພາກສ່ວນໂຄງສ້າງຈໍາເປັນຕ້ອງມີຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນມິຕິລະດັບສູງທີ່ສຸດ, ບໍ່ເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມເຄັ່ງຕຶງ, ແລະການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ, ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາ, ບໍ່ງ່າຍທີ່ຈະຜະລິດການຜິດປົກກະຕິຂະຫນາດຂະຫນາດໃຫຍ່. ;
④ ສະອາດແລະບໍ່ມີມົນລະພິດ. ພາກສ່ວນໂຄງສ້າງຈໍາເປັນຕ້ອງມີຄ່າສໍາປະສິດ friction ຕ່ໍາທີ່ສຸດ, ການສູນເສຍພະລັງງານ kinetic ຂະຫນາດນ້ອຍໃນລະຫວ່າງການເຄື່ອນທີ່, ແລະບໍ່ມີມົນລະພິດອະນຸພາກ grinding. ວັດສະດຸ Silicon carbide ມີ modulus elastic ສູງຫຼາຍ, ການນໍາຄວາມຮ້ອນແລະຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາ, ບໍ່ແມ່ນການງ່າຍທີ່ຈະຜະລິດເຫຼັກບິດ deformation ຄວາມກົດດັນແລະເມື່ອຍຄວາມຮ້ອນ, ແລະມີ polishability ທີ່ດີເລີດ, ສາມາດ machined ກັບກະຈົກທີ່ດີເລີດ; ດັ່ງນັ້ນ, ມັນມີຂໍ້ດີຫຼາຍທີ່ຈະໃຊ້ silicon carbide ເປັນວັດສະດຸໂຄງສ້າງທີ່ຊັດເຈນສໍາລັບອຸປະກອນທີ່ສໍາຄັນຂອງວົງຈອນປະສົມປະສານເຊັ່ນເຄື່ອງ photolithography, Silicon carbide ມີຂໍ້ດີຂອງສະຖຽນລະພາບທາງເຄມີທີ່ດີ, ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກສູງ, ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງແລະຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາ, ແລະສາມາດໄດ້ຮັບການນໍາໃຊ້ໃນອຸນຫະພູມສູງ, ຄວາມກົດດັນສູງ, corrosion ແລະລັງສີຂອງສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮ້າຍໄປ.
Silicon carbide ມີຄວາມໄດ້ປຽບຂອງຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີທີ່ດີ, ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກສູງ, ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງແລະຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາ, ແລະສາມາດໄດ້ຮັບການນໍາໃຊ້ໃນອຸນຫະພູມສູງ, ຄວາມກົດດັນສູງ, corrosion ແລະການຮັງສີຂອງສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮ້າຍໄປ.
ອຸປະກອນທີ່ສໍາຄັນຂອງວົງຈອນປະສົມປະສານຮຽກຮ້ອງໃຫ້ວັດສະດຸອົງປະກອບມີລັກສະນະຂອງນ້ໍາຫນັກເບົາ, ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງສູງ, ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງແລະຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາ, ແລະມີຄວາມຫນາແຫນ້ນແລະເປັນເອກະພາບໂດຍບໍ່ມີຂໍ້ບົກພ່ອງ. ອົງປະກອບແມ່ນຈໍາເປັນຕ້ອງມີຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງມິຕິລະດັບສູງທີ່ສຸດແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງດ້ານມິຕິເພື່ອຮັບປະກັນການເຄື່ອນໄຫວແລະການຄວບຄຸມອຸປະກອນທີ່ຊັດເຈນທີ່ສຸດ. Silicon carbide ceramics ມີ modulus elastic ສູງແລະຄວາມແຂງສະເພາະ, ບໍ່ງ່າຍທີ່ຈະ deform, ແລະມີການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງແລະຕົວຄູນການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງຄວາມຮ້ອນສູງ, ສະນັ້ນ silicon carbide ceramics ເປັນວັດສະດຸໂຄງສ້າງທີ່ດີເລີດ, ປະຈຸບັນຢູ່ໃນການຜະລິດວົງຈອນປະສົມປະສານຂອງ. ອຸປະກອນທີ່ສໍາຄັນທີ່ຈະໄດ້ຮັບລະດັບຄວາມກ້ວາງຂອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ, ເຊັ່ນ: ເຄື່ອງ lithography ທີ່ມີຕາຕະລາງການເຮັດວຽກ silicon carbide, ຄູ່ມື rail, reflector, chuck ceramic, ແລະ ceramic end effector.
Fountyl ສາມາດຕອບສະຫນອງເຄື່ອງ photolithography ເປັນຕົວແທນຂອງອຸປະກອນທີ່ສໍາຄັນໃນການຜະລິດວົງຈອນທີ່ມີຂະຫນາດໃຫຍ່, ເປັນຮູຝາບາງໆ, ໂຄງສ້າງສະລັບສັບຊ້ອນ, ເຕັກໂນໂລຊີການກະກຽມພາກສ່ວນໂຄງສ້າງ silicon carbide ຄວາມແມ່ນຍໍາ, ເຊັ່ນ: silicon carbide vacuum chuck, ຄູ່ມື rail, reflector, ຕາຕະລາງເຮັດວຽກ. ແລະຊຸດຂອງພາກສ່ວນໂຄງສ້າງ silicon carbide ທີ່ຊັດເຈນສໍາລັບເຄື່ອງ photolithography.
| ຄຸນສົມບັດ | Fountyl | ||
| ຄວາມໜາແໜ້ນ (g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| Young's Modulus (GPa) | 368 | ||
| ຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນ (MPa) | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE (× 10-6/℃) | 100 ℃ | 2.8×10-6 | |
| 400 ℃ | 3.6×10-6 | ||
| 800 ℃ | 4.2×10-6 | ||
| 1000 ℃ | 4.6×10-6 | ||
| ການນໍາຄວາມຮ້ອນ (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| ອັດຕາສ່ວນຂອງ Poisson | 0.187 | ||
| ໂມດູລສ shear (GPa) | 155 | ||