Namai
Medžiagos
Silicio karbidas, naudojamas korozijai atsparioms dalims, sandariklių dalims, aukštai temperatūrai atsparioms dalims, kreipiamiesiems bėgiams ir kvadratinėms sijomis
Silicio karbido keramika turi puikias mechanines savybes esant normaliai temperatūrai, pvz., didelį stiprumą, didelį kietumą, didelį elastingumo modulį, puikų stabilumą aukštoje temperatūroje, pvz., didelį šilumos laidumą, mažą šiluminio plėtimosi koeficientą ir gerą specifinį standumą bei optinio apdorojimo savybes, ypač tinkamas. fotolitografijos aparatui ir kitai integrinių grandynų įrangai, skirtai tiksliųjų keraminių konstrukcijų dalims, paruošti. Tokie kaip fotolitografijos mašinos tiksliai judantys ruošinio stalai, skeletas, siurbtukas, vandeniu aušinamos plokštės ir tikslaus matavimo veidrodis, grotelės ir kitos keraminės konstrukcinės dalys, Fountyl nauja medžiaga po metų techninių tyrimų, išspręskite didelio dydžio, plonos sienos, tuščiavidurės ir kitos sudėtingos silicio karbido konstrukcinių dalių struktūros tikslumo apdorojimo ir paruošimo problemos, pralaužiamos šios tikslios silicio karbido konstrukcinių dalių paruošimo technologijos techninės kliūtys. Tai labai paskatino pagrindinių struktūrinių dalių, naudojamų integrinių grandynų gamybos įrangoje, lokalizavimą.
● Silicio karbido keramika daugiausia apima beslėgį sukepinimo silicio karbidą (SSiC), reakcijos būdu sukepintą silicio karbidą (RBSC), cheminio nusodinimo garais silicio karbidą (CVD-SiC).
● Silicio karbidas pasižymi įvairiomis puikiomis savybėmis: itin kietas, atsparus dilimui, didelis šilumos laidumas ir mechaninis stiprumas, mažas šiluminio plėtimosi koeficientas, puikus terminis stabilumas, mažas tankis, didelis specifinis standumas, nemagnetinis.
● Šiuo metu silicio karbido keramika naudojama įvairiose pramonės šakose, pavyzdžiui, aviacijos, kosmoso ir branduolinės pramonės, pavyzdžiui, keraminės aukščiausios klasės įrangos, skirtos silicio karbido keramikos reflektoriaus ir IC integrinių grandynų gamybai, dalys, šilumokaičiai ir neperšaunamos medžiagos ekstremaliomis sąlygomis.
Integrinių grandynų gamybos įrangos tikslių keraminių konstrukcinių dalių ypatybės:
① Labai lengvas: siekiant sumažinti judesio inerciją, sumažinti variklio apkrovą, pagerinti judėjimo efektyvumą, padėties nustatymo tikslumą ir stabilumą, konstrukcinės dalys paprastai naudoja lengvą konstrukcijos dizainą, lengvumas yra 60–80%, iki 90%;
② Didelis formos padėties tikslumas: norint pasiekti didelio tikslumo judėjimą ir padėties nustatymą, reikalaujama, kad konstrukcinės dalys būtų labai tikslios formos ir padėties, plokštumas, lygiagretumas ir statmenumas turi būti mažesni nei 1 μm, o forma ir padėtis padėties tikslumas turi būti mažesnis nei 5 μm.
③ Didelis matmenų stabilumas: norint pasiekti didelio tikslumo judėjimą ir padėties nustatymą, konstrukcinės dalys turi turėti ypač didelį matmenų stabilumą, nesukelti deformacijos ir didelio šilumos laidumo, mažo šiluminio plėtimosi koeficiento, nelengva sukurti didelių matmenų deformaciją. ;
④ Švarus ir be taršos. Konstrukcinės dalys turi turėti itin mažą trinties koeficientą, mažus kinetinės energijos nuostolius judėjimo metu ir be taršos šlifavimo dalelėmis. Silicio karbido medžiaga turi labai didelį elastingumo modulį, šilumos laidumą ir mažą šiluminio plėtimosi koeficientą, nėra lengva sukurti lenkimo įtempių deformaciją ir šiluminę deformaciją, ji turi puikų poliravimą, gali būti apdirbta iki puikaus veidrodžio; Todėl silicio karbidas turi didelių pranašumų naudoti kaip tikslią konstrukcinę medžiagą pagrindinėms integrinių grandynų įrangoms, tokioms kaip fotolitografijos mašina, silicio karbidas turi gero cheminio stabilumo, didelio mechaninio stiprumo, didelio šilumos laidumo ir mažo šiluminio plėtimosi koeficiento pranašumus. ir gali būti naudojamas esant aukštai temperatūrai, aukštam slėgiui, korozijai ir radiacijai ekstremalioje aplinkoje.
Silicio karbidas turi gero cheminio stabilumo, didelio mechaninio stiprumo, didelio šilumos laidumo ir mažo šiluminio plėtimosi koeficiento privalumus ir gali būti naudojamas esant aukštai temperatūrai, aukštam slėgiui, korozijai ir radiacijai ekstremaliose aplinkose.
Pagrindinė integrinio grandyno įranga reikalauja, kad komponentų medžiagos turėtų lengvo svorio, didelio stiprumo, didelio šilumos laidumo ir mažo šiluminio plėtimosi koeficiento charakteristikas, būtų tankios ir vienodos be defektų. Komponentai turi turėti itin didelį matmenų tikslumą ir matmenų stabilumą, kad būtų užtikrintas itin tikslus įrangos judėjimas ir valdymas. Silicio karbido keramika pasižymi dideliu elastingumo moduliu ir specifiniu standumu, nėra lengvai deformuojama, turi didelį šilumos laidumą ir mažą šiluminio plėtimosi koeficientą, aukštą šiluminį stabilumą, todėl silicio karbido keramika yra puiki konstrukcinė medžiaga, šiuo metu gaminama integrinių grandynų gamyboje. pagrindinė įranga, skirta įvairioms reikmėms, pvz., litografijos mašina su silicio karbido darbo stalu, kreipiamuoju bėgiu, reflektoriumi, keraminiu griebtuvu ir keraminiu galiniu efektoriumi.
Fountyl gali susitikti su fotolitografijos mašina kaip integrinių grandynų gamybos pagrindinės įrangos su dideliu, tuščiaviduriu plonu sieneliu, sudėtinga struktūra, tikslia silicio karbido konstrukcinių dalių paruošimo technologija, tokia kaip: silicio karbido vakuuminis griebtuvas, kreipiamasis bėgis, reflektorius, darbo stalas, atstovas. ir serija tikslių silicio karbido konstrukcinių dalių fotolitografijos mašinai.
| Savybės | Fountylis | ||
| Tankis (g/cm3) | 2,98-3,02 | ||
| Youngo modulis (GPa) | 368 | ||
| Lenkimo stiprumas (MPa) | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE (×10-6/℃) | 100 ℃ | 2,8×10-6 | |
| 400 ℃ | 3,6×10-6 | ||
| 800 ℃ | 4,2×10-6 | ||
| 1000 ℃ | 4,6×10-6 | ||
| Šilumos laidumas (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| Puasono koeficientas | 0,187 | ||
| Šlyties modulis (GPa) | 155 | ||