Kainga
Rauemi
Ko te Silicon carbide e whakamahia ana mo nga waahanga aukati waikura, hiri nga waahanga, nga waahanga teitei o te pāmahana, nga reera arahi me nga kurupae tapawha
He pai rawa nga taonga miihini Silicon carbide i te pāmahana noa, penei i te kaha teitei, te pakeke teitei, te whakanekeneke elastic teitei, te pai o te pumau o te pāmahana teitei, penei i te kaha o te waiariki, te iti o te whakareatanga whakareatanga o te waiariki, me te pai o te pakari me nga waahanga tukatuka whatu, he pai rawa atu. mo te whakarite i te miihini whakaahua whakaahua me etahi atu taputapu arahiko whakauru mo nga waahanga hanganga uku. Pērā i whakamahia i roto i te mīhini photolithography tika neke tepu mahi, kōhiwi, kapu momi, te pereti wai-matao me te whakaata inenga pū, pae kupenga me etahi atu wahi hanganga uku, Fountyl rauemi hou i muri i nga tau o te rangahau hangarau, whakaoti i te rahi nui, pakitara angiangi, kowhao me etahi atu hanganga matatini o nga waahanga hangahanga silicon carbide te tukatuka me nga raruraru whakarite, ka pakaru i roto i te pounamu hangarau o tenei ahua o te hangarau hangahanga hangahanga silicon carbide. Kua tino whakatairangahia te waahi o nga waahanga hanganga matua e whakamahia ana i roto i nga taputapu whakangao hiko whakauru.
● Ko te nuinga o nga karaehe carbide silikoni ko te pehanga karekau he pehanga carbide silicon carbide (SSiC), te carbide silicon carbide tauhohenga-sintered (RBSC), kohu matū waipara silicon carbide (CVD-SiC).
● Silicon carbide he momo o ngā āhuatanga pai: super pakeke, kākahu ātete, teitei kawe waiariki me te kaha pūkaha, iti whakarea roha waiariki, pai pūmautanga waiariki, iti kiato, teitei stiffness motuhake, kore-autō.
● I tenei wa, kei te whakamahia nga karaera silicon carbide i roto i nga momo ahumahi penei i te rererangi rererangi, te mokowhiti me te ahumahi karihi, penei i nga waahanga karamu o nga taputapu teitei mo te whakaata hiko silicon carbide me te IC integrated circuit manufacturing, nga whakawhiti wera me nga rauemi matā i raro i nga tikanga tino kino.
Nga waahanga o nga waahanga hanganga uku mo nga taputapu hanga ara iahiko whakauru:
① Tino Maamaa: Hei whakaiti i te koretake o te nekehanga, whakaitihia te utaina o te motuka, whakapai ake i te pai o te nekehanga, te tika o te tuunga me te pumau, ko nga waahanga hangahanga e whakamahi ana i te hoahoa hanganga maamaa, ko te reeti mama he 60-80%, tae atu ki te 90%;
② Te tika o te ahua-turanga: Hei whakatutuki i nga nekehanga me te tuunga, ko nga waahanga hanganga e hiahiatia ana kia tino teitei te ahua me te tika o te tuunga, ko te papatahi, ko te whakarara me te tika kia iti iho i te 1μm, me te ahua me te ahua. Ko te tika o te waahi ka hiahiatia kia iti iho i te 5μm.
③ Te pumau o te ahu: Hei whakatutuki i nga nekehanga me te tuunga, ko nga waahanga hanganga e tika ana kia tino pumau te ahua, kia kaua e puta te riaka, me te kaha o te waiariki, te iti o te whakareatanga whakareatanga o te waiariki, kaore i te ngawari ki te whakaputa i te rereketanga o te rahi. ;
④ He ma me te kore parahanga. Ko nga waahanga hanganga e tika ana kia iti rawa te whakarea waku, he iti te ngaronga o te hiko i te wa e neke ana, me te kore he parahanga matūriki huri. Ko te rauemi Silicon carbide he tino teitei te rapa, te kawe waiariki me te iti o te whakareatanga whakareatanga waiariki, ehara i te mea ngawari ki te whakaputa i te huringa ahotea piko me te riaka waiariki, he pai te whakakoi, ka taea te miihini ki te whakaata pai; Na reira, He painga nui ki te whakamahi i te carbide silicon hei rauemi hanganga tika mo nga taputapu matua o nga waahanga whakauru penei i te miihini photolithography, Ko te Silicon carbide nga painga o te pai o te matū matū, te kaha o te miihini teitei, te kaha o te waiariki me te iti o te whakareatanga whakawhänui, a ka taea te tono i roto i te pāmahana teitei, te pehanga teitei, te waikura me te radiation o nga taiao tino kino.
Ko te Silicon carbide nga painga o te pai o te pai o te matū, te kaha o te miihini, te kaha o te waiariki, me te iti o te whakareatanga whakareatanga wera, ka taea te whakamahi i roto i te wera nui, te pehanga teitei, te waikura me te radiation o nga taiao tino nui.
Ko nga taputapu matua o te ara iahiko whakauru me whai ahuatanga o nga waahanga o te taumaha marama, te kaha teitei, te kaha o te waiariki me te iti o te whakarea whakareatanga o te waiariki, me te mato me te rite kaore he koha. Ko nga waahanga e hiahiatia ana kia tino tika te rahi me te whakapumautanga o te ahu hei whakarite i te nekehanga tino-tika me te whakahaere o nga taputapu. Ko nga karaehe Silicon carbide he nui te whakahiato me te pakari motuhake, ehara i te mea ngawari ki te whakarereke, he teitei te kawe i te waiariki me te iti o te whakareatanga whakareatanga waiariki, te teitei o te waiariki, no reira he mea tino pai te hanga o nga karaehe silicon carbide, i tenei wa kei roto i te hangahanga ara iahiko. taputapu matua ki te tiki i te whānuitanga o ngā tono, pērā i te mihini lithography ki te tepu mahi carbide silicon, arataki rerewē, reflector, chuck uku, me te pūkaha mutunga uku.
Ka taea e Fountyl te whakatau i te miihini photolithography hei kanohi mo nga taputapu matua hanga taiawhio whakauru me te rahi nui, te pakitara angiangi tuwhera, te hanganga matatini, te hangahanga o nga waahanga hangahanga silicon carbide hangarau whakarite, penei i: silicon carbide vacuum Chuck, reera aratohu, whakaata, tepu mahi. me te raupapa o nga waahanga hangahanga silicon carbide mo te miihini whakaahua whakaahua.
| Āhuatanga | Fountyl | ||
| Kiato（g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| Young's Modulus（GPa） | 368 | ||
| Te kaha whakaheke（MPa） | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE（×10-6/℃） | 100 ℃ | 2.8×10-6 | |
| 400 ℃ | 3.6×10-6 | ||
| 800 ℃ | 4.2×10-6 | ||
| 1000 ℃ | 4.6×10-6 | ||
| Te Waawera (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| Te ōwehenga o Poisson | 0.187 | ||
| Kōwae kutikuti（GPa） | 155 | ||