Дома
Материјали
0102030405
Силициум карбид се користи за делови отпорни на корозија, делови за заптивки, делови отпорни на високи температури, водилки и квадратни греди
Керамиката со силициум карбид има одлични механички својства при нормална температура, како што се висока јачина, висока цврстина, висок модул на еластичност, одлична стабилност на високи температури, како што се висока топлинска спроводливост, низок коефициент на термичка експанзија и добра специфична цврстина и оптички својства за обработка, особено соодветни за изработка на фотолитографска машина и друга опрема за интегрирано коло за прецизни керамички структурни делови. Како што се користи во машината за фотолитографија, маса за прецизно движење на работното парче, скелет, вшмукување чаша, плоча со водено ладење и прецизно мерно огледало, решетка и други керамички структурни делови, Фунтил нов материјал по долгогодишно техничко истражување, решавање на големи димензии, тенок ѕид, шупливи и други сложени структура на силициум карбид структурни делови прецизност обработка и подготовка проблеми, пробивање на техничките тесно грло на овој вид на прецизна силициум карбид структурни делови подготовка технологија. Во голема мера ја промовираше локализацијата на клучните структурни делови што се користат во опремата за производство на интегрирани кола.
● Керамиката со силициум карбид главно вклучува силициум карбид за синтерување без притисок (SSiC), силициум карбид синтеруван со реакција (RBSC), хемиско таложење на пареа силициум карбид (CVD-SiC).
● Силициум карбид има различни одлични својства: супер тврд, отпорност на абење, висока топлинска спроводливост и механичка сила, низок коефициент на термичка експанзија, одлична термичка стабилност, мала густина, висока специфична вкочанетост, немагнетна.
● Во моментов, силициум карбидната керамика се применува во различни индустрии како што се воздухопловството, воздушната и нуклеарната индустрија, како што се керамичките делови на опремата од високата класа за керамички рефлектор од силициум карбид и производството на интегрирано коло IC, разменувачи на топлина и материјали отпорни на куршуми под екстремни услови.
Карактеристики на прецизни керамички структурни делови за опрема за производство на интегрирано коло:
① Многу лесен: со цел да се намали инерцијата на движење, да се намали оптоварувањето на моторот, да се подобри ефикасноста на движењето, точноста и стабилноста на позиционирањето, структурните делови обично користат лесен дизајн на структурата, стапката на лесна тежина е 60-80%, до 90%;
② Висока точност на позицијата на формата: за да се постигне високопрецизно движење и позиционирање, од структурните делови се бара да имаат исклучително висока точност на формата и положбата, плошноста, паралелизмот и нормалноста се бара да бидат помали од 1μm, а формата и точноста на положбата е потребна да биде помала од 5μm.
③ Висока димензионална стабилност: за да се постигне високопрецизно движење и позиционирање, од структурните делови се бара да имаат екстремно висока димензионална стабилност, да не произведуваат напор и висока топлинска спроводливост, низок коефициент на термичка експанзија, не е лесно да се произведе голема димензионална деформација ;
④ Чисти и без загадување. Структурните делови треба да имаат екстремно низок коефициент на триење, мала загуба на кинетичка енергија за време на движењето и без загадување со честички со мелење. Материјалот од силициум карбид има многу висок модул на еластичност, топлинска спроводливост и низок коефициент на термичка експанзија, не е лесно да се произведе деформација на стресот на свиткување и термички напор, и има одлична полирање, може да се обработува до одлично огледало; Затоа, има големи предности да се користи силициум карбид како прецизен структурен материјал за клучната опрема на интегрираните кола како што е машината за фотолитографија, силициум карбид има предности на добра хемиска стабилност, висока механичка сила, висока топлинска спроводливост и низок коефициент на термичка експанзија, и може да се примени во висока температура, висок притисок, корозија и зрачење на екстремни средини.
Силициум карбид има предности на добра хемиска стабилност, висока механичка сила, висока топлинска спроводливост и низок коефициент на термичка експанзија и може да се примени во висока температура, висок притисок, корозија и зрачење на екстремни средини.
Клучната опрема на интегрираното коло бара составните материјали да имаат карактеристики на мала тежина, висока јачина, висока топлинска спроводливост и низок коефициент на термичка експанзија и да бидат густи и униформни без дефекти. Од компонентите се бара да имаат екстремно висока димензионална точност и стабилност на димензиите за да се обезбеди ултрапрецизно движење и контрола на опремата. Керамиката со силициум карбид има висок модул на еластичност и специфична вкочанетост, не е лесно да се деформира, и има висока топлинска спроводливост и низок коефициент на термичка експанзија, висока термичка стабилност, така што керамиката со силициум карбид е одличен структурен материјал, моментално во производството на интегрирано коло на клучна опрема за да се добие широк опсег на апликации, како што е машина за литографија со работна маса од силициум карбид, водилка, рефлектор, керамичка чашка и керамички краен ефектор.
Фонтил може да се сретне со фотолитографската машина како претставник на клучната опрема за производство на интегрирано коло со големи димензии, шуплив тенок ѕид, сложена структура, прецизна технологија за подготовка на структурни делови од силициум карбид, како што се: вакуум чак од силициум карбид, шина водич, рефлектор, работна маса и серија прецизни структурни делови од силициум карбид за фотолитографска машина.
| Својства | Фунтил | ||
| Густина (g/cm3) | 2,98-3,02 | ||
| Young's Modulus (GPa) | 368 | ||
| Јачина на свиткување (MPa) | 334 | ||
| Веибул | 8.35 | ||
| CTE (× 10-6 / ℃) | 100 ℃ | 2,8×10-6 | |
| 400 ℃ | 3,6×10-6 | ||
| 800 ℃ | 4,2×10-6 | ||
| 1000 ℃ | 4,6×10-6 | ||
| Топлинска спроводливост (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| Поасонов сооднос | 0,187 | ||
| Модул на смолкнување (GPa) | 155 | ||