मुख्यपृष्ठ
साहित्य
सिलिकॉन कार्बाइड गंज प्रतिरोधक भाग, सील भाग, उच्च तापमान प्रतिरोधक भाग, मार्गदर्शक रेल आणि चौरस बीमसाठी वापरले जाते
सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक्समध्ये सामान्य तापमानात उत्कृष्ट यांत्रिक गुणधर्म असतात, जसे की उच्च शक्ती, उच्च कडकपणा, उच्च लवचिक मॉड्यूलस, उत्कृष्ट उच्च तापमान स्थिरता, जसे की उच्च थर्मल चालकता, कमी थर्मल विस्तार गुणांक, आणि चांगली विशिष्ट कडकपणा आणि ऑप्टिकल प्रक्रिया गुणधर्म, विशेषतः योग्य अचूक सिरॅमिक स्ट्रक्चरल भागांसाठी फोटोलिथोग्राफी मशीन आणि इतर एकात्मिक सर्किट उपकरणे तयार करण्यासाठी. जसे की फोटोलिथोग्राफी मशिनमध्ये वापरलेले प्रिसिजन मूव्हिंग वर्कपीस टेबल, स्केलेटन, सक्शन कप, वॉटर-कूल्ड प्लेट आणि प्रिसिजन मापन मिरर, ग्रेटिंग आणि इतर सिरॅमिक स्ट्रक्चरल भाग, अनेक वर्षांच्या तांत्रिक संशोधनानंतर फौंटाइल नवीन सामग्री, मोठ्या आकाराचे निराकरण, पातळ भिंत, सिलिकॉन कार्बाइड स्ट्रक्चरल पार्ट्सची पोकळ आणि इतर जटिल रचना अचूक प्रक्रिया आणि तयारी समस्या, या प्रकारच्या अचूक सिलिकॉन कार्बाइड स्ट्रक्चरल पार्ट्स तयार करण्याच्या तंत्रज्ञानातील तांत्रिक अडथळे दूर करून. एकात्मिक सर्किट उत्पादन उपकरणांमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या मुख्य संरचनात्मक भागांच्या स्थानिकीकरणास याने मोठ्या प्रमाणात प्रोत्साहन दिले आहे.
● सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक्समध्ये प्रामुख्याने प्रेशरलेस सिंटरिंग सिलिकॉन कार्बाइड (SSiC), प्रतिक्रिया-सिंटर्ड सिलिकॉन कार्बाइड (RBSC), रासायनिक वाष्प निक्षेप सिलिकॉन कार्बाइड (CVD-SiC) यांचा समावेश होतो.
● सिलिकॉन कार्बाइडमध्ये विविध प्रकारचे उत्कृष्ट गुणधर्म आहेत: सुपर हार्ड, वेअर रेझिस्टन्स, उच्च थर्मल चालकता आणि यांत्रिक शक्ती, कमी थर्मल विस्तार गुणांक, उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता, कमी घनता, उच्च विशिष्ट कडकपणा, गैर-चुंबकीय.
● सध्या, सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक्स विविध उद्योगांमध्ये जसे की विमानचालन, एरोस्पेस आणि आण्विक उद्योगांमध्ये लागू केले जातात, जसे की सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक रिफ्लेक्टर आणि IC इंटिग्रेटेड सर्किट मॅन्युफॅक्चरिंग, हीट एक्सचेंजर्स आणि बुलेटप्रूफ सामग्रीसाठी उच्च-श्रेणी उपकरणांचे सिरॅमिक भाग अत्यंत परिस्थितीत.
इंटिग्रेटेड सर्किट मॅन्युफॅक्चरिंग उपकरणांसाठी अचूक सिरेमिक स्ट्रक्चरल भागांची वैशिष्ट्ये:
① अत्यंत हलके: गती जडत्व कमी करण्यासाठी, मोटर लोड कमी करण्यासाठी, गती कार्यक्षमता, स्थिती अचूकता आणि स्थिरता सुधारण्यासाठी, स्ट्रक्चरल भाग सामान्यत: हलके स्ट्रक्चर डिझाइन वापरतात, हलके दर 60-80% आहे, 90% पर्यंत;
② उच्च फॉर्म-स्थिती अचूकता: उच्च-सुस्पष्टता हालचाली आणि स्थिती प्राप्त करण्यासाठी, संरचनात्मक भागांना अत्यंत उच्च स्वरूप आणि स्थान अचूकता असणे आवश्यक आहे, सपाटपणा, समांतरता आणि लंबकता 1μm पेक्षा कमी असणे आवश्यक आहे आणि फॉर्म आणि स्थिती अचूकता 5μm पेक्षा कमी असणे आवश्यक आहे.
③ उच्च मितीय स्थिरता: उच्च-अचूक हालचाल आणि स्थिती प्राप्त करण्यासाठी, संरचनात्मक भागांमध्ये अत्यंत उच्च मितीय स्थिरता असणे आवश्यक आहे, ताण निर्माण होऊ नये, आणि उच्च थर्मल चालकता, कमी थर्मल विस्तार गुणांक, मोठ्या मितीय विकृती निर्माण करणे सोपे नाही. ;
④ स्वच्छ आणि प्रदूषणमुक्त. स्ट्रक्चरल भागांमध्ये अत्यंत कमी घर्षण गुणांक असणे आवश्यक आहे, हालचाल करताना गतीज ऊर्जा कमी होणे आणि कणांचे पीसलेले प्रदूषण नाही. सिलिकॉन कार्बाइड मटेरियलमध्ये खूप उच्च लवचिक मॉड्यूलस, थर्मल चालकता आणि कमी थर्मल विस्तार गुणांक आहे, वाकणे ताण विकृती आणि थर्मल स्ट्रेन तयार करणे सोपे नाही, आणि उत्कृष्ट पॉलिशबिलिटी आहे, उत्कृष्ट मिररवर मशिन केले जाऊ शकते; त्यामुळे, फोटोलिथोग्राफी मशीन सारख्या एकात्मिक सर्किट्सच्या प्रमुख उपकरणांसाठी सिलिकॉन कार्बाइड अचूक संरचनात्मक सामग्री म्हणून वापरण्याचे बरेच फायदे आहेत, सिलिकॉन कार्बाइडमध्ये चांगली रासायनिक स्थिरता, उच्च यांत्रिक शक्ती, उच्च थर्मल चालकता आणि कमी थर्मल विस्तार गुणांक, असे फायदे आहेत. आणि उच्च तापमान, उच्च दाब, गंज आणि अत्यंत वातावरणातील रेडिएशनमध्ये लागू केले जाऊ शकते.
सिलिकॉन कार्बाइडमध्ये चांगली रासायनिक स्थिरता, उच्च यांत्रिक शक्ती, उच्च औष्णिक चालकता आणि कमी थर्मल विस्तार गुणांक हे फायदे आहेत आणि ते उच्च तापमान, उच्च दाब, गंज आणि अत्यंत वातावरणातील रेडिएशनमध्ये लागू केले जाऊ शकतात.
एकात्मिक सर्किटच्या मुख्य उपकरणांसाठी घटक सामग्रीमध्ये हलके वजन, उच्च शक्ती, उच्च थर्मल चालकता आणि कमी थर्मल विस्तार गुणांक अशी वैशिष्ट्ये असणे आवश्यक आहे आणि ते दोषांशिवाय दाट आणि एकसमान असावे. अति-अचूक हालचाली आणि उपकरणांचे नियंत्रण सुनिश्चित करण्यासाठी घटकांमध्ये अत्यंत उच्च मितीय अचूकता आणि आयामी स्थिरता असणे आवश्यक आहे. सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक्समध्ये उच्च लवचिक मॉड्यूलस आणि विशिष्ट कडकपणा असतो, विकृत करणे सोपे नसते, आणि उच्च थर्मल चालकता आणि कमी थर्मल विस्तार गुणांक, उच्च थर्मल स्थिरता असते, म्हणून सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक्स एक उत्कृष्ट संरचनात्मक सामग्री आहे, सध्या एकात्मिक सर्किट उत्पादनामध्ये सिलिकॉन कार्बाइड वर्किंग टेबलसह लिथोग्राफी मशीन, गाइड रेल, रिफ्लेक्टर, सिरॅमिक चक आणि सिरॅमिक एंड इफेक्टर यासारख्या विस्तृत श्रेणीतील ऍप्लिकेशन्स मिळविण्यासाठी मुख्य उपकरणे.
मोठ्या आकाराचे, पोकळ पातळ भिंत, जटिल रचना, अचूक सिलिकॉन कार्बाइड स्ट्रक्चरल पार्ट्स तयार करण्याचे तंत्रज्ञान, जसे की: सिलिकॉन कार्बाइड व्हॅक्यूम चक, मार्गदर्शक रेल, रिफ्लेक्टर, वर्किंग टेबल अशा इंटिग्रेटेड सर्किट मॅन्युफॅक्चरिंग की उपकरणांचे प्रतिनिधी म्हणून फौंटाइल फोटोलिथोग्राफी मशीनला भेटू शकते. आणि फोटोलिथोग्राफी मशीनसाठी अचूक सिलिकॉन कार्बाइड स्ट्रक्चरल भागांची मालिका.
| गुणधर्म | फौंटील | ||
| घनता (g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| यंग्स मॉड्युलस (GPa) | ३६८ | ||
| लवचिक शक्ती (MPa) | ३३४ | ||
| वेइबुल | ८.३५ | ||
| CTE（×10-6/℃） | 100℃ | 2.8×10-6 | |
| 400℃ | ३.६×१०-६ | ||
| 800℃ | ४.२×१०-६ | ||
| 1000℃ | ४.६×१०-६ | ||
| थर्मल चालकता (W/m·k) (20 ºC) | १६०-१८० | ||
| पॉसन्सचे प्रमाण | ०.१८७ | ||
| कातरणे मॉड्यूलस (GPa) | १५५ | ||