Epitaksi merujuk kepada pertumbuhan kristal atau teknologi pemendapan bahan yang menduduki kedudukan yang sangat penting dalam proses pembuatan mikroelektronik dan optoelektronik
Ciri-ciri kualiti kristal berkualiti tinggi lapisan epitaxial SiC menjadikan lapisan epitaxial harus mempunyai struktur kristal ketulenan tinggi dan ketumpatan kecacatan rendah untuk memastikan kebolehpercayaan ...