Pengenalan automatik kepada pengendalian dan pemindahan wafer

Industri pembuatan wafer ialah industri yang mempunyai tahap automasi tertinggi dalam semua pembuatan industri, dan saya secara peribadi percaya bahawa tiada siapa.

Mengapa tahap automasi pembuatan wafer boleh menjadi begitu tinggi, satu adalah kerana proses memerlukan ketepatan yang tinggi, kebersihan yang tinggi, kebolehpercayaan yang tinggi, penyertaan manual tidak dapat memenuhi keperluan ini. Yang kedua ialah wang.

Jadi apakah tahap automasi yang telah dicapai oleh pembuatan wafer? Kertas kerja ini memberikan pengenalan ringkas kepada pengendalian wafer yang paling mudah.

Penyimpanan pada wafer

Wafer disimpan menggunakan unit memori piawai yang dipanggil FOUP (Front Opening Unified Pod). Ini adalah kotak simpanan wafer. Kotak ini direka untuk pengendalian automatik dan merupakan asas untuk automasi penuh.

Sistem pengendalian wafer automatik AMHS

Sistem Pengendalian Bahan Automatik (AMHS) ialah teras pengendalian wafer. Ia kadangkala dirujuk sebagai sistem kren.

Kren dipasang pada rel siling dalaman, dan banyak kren beroperasi dengan cekap pada rel di bawah penggunaan sistem kawalan.

Sebab utama untuk berlari di siling adalah untuk menjimatkan ruang. Wafer menghasilkan begitu banyak peranti sehingga kren bertanggungjawab untuk memindahkan bahan antara beribu-ribu peranti ke seluruh loji. Rel penghantaran di atas tanah mungkin setanding dengan jalan bandar yang padat. Kos ruang bilik bersih adalah tinggi.

Berjalan di siling kren, kebebasan ruang berjalan adalah sangat besar, tetap kedudukan peralatan, kren boleh mencapai bahagian atas mesin pada bila-bila masa.

Gudang penyimpanan wafer juga diletakkan di siling, dan kren bertanggungjawab untuk menyimpan atau mengeluarkan. Dengan cara ini, selagi mesin pengeluaran diletakkan di atas tanah, mesin boleh dilepaskan dengan padat,asalkan kakitangan penyelenggaraan boleh berjalan masuk.

Kren yang berjalan di atas landasan langit bertanggungjawab untuk bergerak di atas landasan langit, dan juga bertanggungjawab untuk memegang dan mengangkat FOUP.

Pelbagai peralatan pengeluaran direka bentuk dengan platform lanjutan untuk menerima kren yang diangkat ke bawah kotak wafer.

Dalam bidang peralatan pengendalian wafer automatik (AMHS), pasaran global kini dikuasai oleh Daifuku dari Jepun, Murata Machinery dari Jepun, SEMES dari Samsung Korea Selatan dan syarikat lain, menyumbang kira-kira 90% daripada bahagian pasaran. Oleh kerana sistem AMHS mempunyai kesan global ke atas barisan pengeluaran fab, pelanggan sangat berhati-hati dalam pilihan mereka, dan pengeluar AMHS domestik yang baru muncul perlu melalui proses pengesahan yang panjang untuk memasuki bidang semikonduktor, yang memerlukan penemuan berterusan daripada proses mudah tempatan untuk keseluruhan, proses lanjutan.

Pemuatan dan Pemunggahan Wafer (EFEM)

EFEM(Equipment Front End Module), Bahasa Inggeris adalah untuk menerangkan ini adalah modul dok bahagian hadapan dan belakang, kami dari sudut pandangan pengguna, adalah proses pemuatan dan pemunggahan wafer.

Setiap peranti berfungsi mengendalikan satu wafer pada satu masa. EFEM bertanggungjawab untuk mengeluarkan wafer dari kotak satu demi satu dan memasukkannya ke dalam peralatan untuk diproses. Selesai pemprosesan dan letakkan semula dalam kepingan. Keseluruhan proses pemindahan dan pemprosesan wafer dijalankan dalam ruang tertutup dengan keperluan kebersihan yang tinggi, bebas daripada pencemaran luaran, dan perlindungan mutlak wafer.

Proses pembuatan wafer, keseluruhan proses adalah automatik, pada dasarnya telah mencapai tahap bengkel tanpa pemandu. Walau bagaimanapun, jurutera dengan keupayaan teknikal yang lebih tinggi diperlukan di latar belakang untuk kawalan program, penetapan parameter dan penyelenggaraan peralatan.

Apakah tahap automasi dalam pembuatan wafer? Sesetengah profesional membahagikan automasi kepada lima peringkat:

Mengikut tahap ini, tahap automasi industri wafer berada pada tahap 3-4. Sudah tentu, tahap setiap pengeluar wafer adalah berbeza. Kebanyakan industri pembuatan elektronik lain mempunyai tahap automasi 2-3. Tahap automasi masih mempunyai banyak ruang untuk dibangunkan.

Fountyl Technologies PTE Ltd, memberi tumpuan kepada industri pembuatan semikonduktor, produk utama termasuk: Pin chuck, poros ceramic chuck, seramik end effector, seramik square rasuk, seramik spindle, dialu-alukan untuk menghubungi dan rundingan！