Kisah keusahawanan ASML: Laluan Menuju Pertumbuhan untuk gergasi litografi

ASML telah diasaskan pada 1 April 1984 sebagai ASM Lithography. Misi usaha sama antara Philips dan ASM International ini adalah untuk mengkomersialkan PAS 2000, sebuah wafer stepper yang dibangunkan oleh Philips.

1，Demultiplex industri

Pada tahun 1960-an dan 1970-an, pembuat cip membina sebahagian besar rantaian nilai semikonduktor secara dalaman - semua langkah yang diperlukan untuk membuat cip mikro siap. Kemudian, pada akhir 1970-an dan awal 1980-an, teknologi pembuatan semikonduktor berkembang pesat dalam saiz dan kerumitan. Perkembangan ini telah mendorong pembahagian Buruh dalam rantaian nilai semikonduktor. Industri peralatan semikonduktor muncul untuk menyediakan penyelesaian hujung atas yang luar biasa. Dengan keupayaan luar biasa ini, ia tidak lagi masuk akal untuk pembuat cip dan pengguna untuk membangunkan peralatan membuat cip mereka sendiri.

Pembekal peralatan pakar amat penting untuk membangunkan sistem litografi yang kompleks untuk mencetak corak pada mikrocip. Memperbaik sistem ini supaya mereka boleh mencetak ciri yang lebih kecil adalah kunci untuk memajukan Undang-undang Moore. Bagi pembuat cip, lebih banyak transistor bermakna memperoleh lebih banyak keupayaan pengkomputeran pada kos yang lebih rendah.

2，Prototaip PAS 2000

Dalam konteks inilah Philips mula membangunkan stepper wafernya sendiri untuk mencorak wafer silikon. Prototaip Silicon Repeater (SIRE) I dan II telah dibangunkan oleh Pusat Penyelidikan Philips. Philips Automated Stepper 2000 dilahirkan daripada prototaip penyelidikan ini.

Di Pusat Penyelidikan Philips, di mana bahagian Philips memberi tumpuan terutamanya pada penyelidikan asas, langkah wafer adalah sesuatu yang anomali. Permintaan pasaran semakin mendorong penyelidikan dan pembangunan perusahaan, dan peralatan pembuatan kejuruteraan digunakan lebih banyak. Bermula dari 1978, Philips Science & Industry (S&I) mempromosikan usaha pengkomersilan di bawah nama PAS2000.

3.Dasar perindustrian, pelabur dan usahawan

Bermula pada akhir 1970-an, di bawah arahan Suruhanjaya Eropah, kerajaan Eropah Barat membentuk semula dasar perindustrian. Mereka menumpukan pada inovasi dan kerjasama, menyasarkan industri baru muncul, terutamanya industri semikonduktor dan mikroelektronik yang berkembang pesat. Dasar-dasar ini adalah cara baharu untuk meningkatkan aktiviti ekonomi dan, jika boleh, memulihkan konglomerat yang sedang bergelut, kebanyakannya (termasuk Philips) telah mula runtuh.

Atas permintaan suruhanjaya itu, Philips dan syarikat lain menyatakan kepentingan industri ini kepada kerajaan masing-masing. Selepas menerima maklumat ini daripada syarikat elektronik terbesar di Eropah, kerajaan Belanda telah memahami lebih lanjut mengenai subjek tersebut dan memaklumkan tindakan susulan mereka.

Peningkatan kos, persaingan global dan kemajuan teknologi memaksa syarikat besar untuk melepaskan perniagaan bukan teras dan memfokuskan semula operasi mereka. Bagi Philips, salah satu daripada aktiviti tersebut ialah pelangkah wafer mereka. Pada masa yang sama, firma modal teroka yang baru muncul dan syarikat permulaan dan perusahaan skala yang dipacu keusahawanan menyediakan paradigma baharu untuk pertumbuhan industri.

4，Tekanan untuk membuat kemajuan

Pada awal tahun 1982, cita-cita litografi Philips menghadapi cabaran besar. Mereka memerlukan lebih banyak sumber kejuruteraan. Walaupun mereka mendekati IBM, pelanggan luar untuk alat penilaian, terdapat ketidakpastian yang agak besar tentang sama ada ia akan dihantar tepat pada masanya untuk musim panas 1982. Jurutera di Pusat Penyelidikan Philips segera datang untuk menyelamatkan. Eksekutif S&I kerap melawat The Hague dan Brussels untuk mendapatkan pembiayaan tambahan daripada kerajaan Belanda dan Suruhanjaya Eropah. Di bawah tekanan dari masa, wang dan Kementerian Ekonomi Belanda, Philips S&I mula mencari rakan kongsi untuk stepper wafernya. Ini membawa kepada perbincangan awal dengan Cobilt, sebuah syarikat yang mengeluarkan penjajar dan trek topeng, diikuti dengan perbincangan dengan peneraju pasaran litografi Perkin Elmer.

Pada masa yang sama, dialog tiga hala bermula antara Kementerian Hal Ehwal Ekonomi Belanda, Philips dan syarikat Belanda yang sedang berkembang, ASM International (atau singkatannya ASM). Dalam konteks projek mikroelektronik novel Suruhanjaya Eropah ESPRIT, syarikat cip telah menyatakan kebimbangan tentang pergantungan mereka pada peralatan Amerika. Bagi memenuhi keperluan industri, kementerian dan Arthur Del Prado sendiri mencadangkan ASM sebagai penyelesaian yang berpotensi.

5,Mencari perkongsian

Bagaimanapun, Philips menganggap kedudukan ASM terlalu rendah dan memihak kepada Perkin Elmer. Walaupun Del Prado mempunyai semangat keusahawanan dan kejayaan, eksekutif Philips masih melihat ASM sebagai pemula. Perkin Elmer ialah sebuah syarikat yang besar dan pelbagai dengan pangkalan pemasangan alat litografi yang besar, telah dianggap sebagai rakan kongsi yang lebih kukuh. Minat adalah bersama. Menjelang awal 1980-an, langkah wafer memberikan lebih kawalan ke atas saiz ciri terkecil dengan produktiviti yang boleh diterima daripada Perkin Elmer's Micraligns. Syarikat AS telah berusaha untuk segera mengukuhkan kedudukan pasarannya di tengah-tengah persaingan yang semakin meningkat.

Perkin Elmer sedang mempertimbangkan untuk bekerjasama dengan Philips S&I atau Penapis permulaan berasaskan Liechtenstein. Mereka lebih suka Philips, memetik sumber syarikat dan sifat maju PAS 2000. Dalam usaha sama yang dicadangkan, Perkin Elmer akan memainkan peranan utama dan bertanggungjawab ke atas jualan dan perkhidmatan. Philips akan menyumbang keupayaan teknologi dan pembuatan. Walau bagaimanapun, Philips teragak-agak untuk memberikan akses kepada sumber dalamannya, seperti Pusat Penyelidikan Philips subordinat. Keraguan ini menjadikan rundingan terlalu lama, dan akhirnya Perkin Elmer bekerjasama dengan Censor.

6, Projek segera

Menjelang 1983, pasukan wafer stepper Philips S&I, yang terdiri daripada kira-kira 50 jurutera, menghadapi ketidakpastian. Mereka memerlukan sekitar 120 juta guilder (sekitar 245 juta euro pada tahap harga semasa) untuk menaik taraf, menghasilkan dan menjual mesin tersebut. Walaupun Troost melakukan usaha gigih dan gigih, termasuk meneroka perkongsian dengan Varian dan Panasonic, pasukan wafer Stepper sudah terlambat. Keterdesakan amat ketara.

7, Permulaan ASML

Pada 5 September 1983, Philips dan ASM mengumumkan hasrat mereka untuk membentuk usaha sama. Dalam beberapa bulan akan datang, mereka memperhalusi butiran perkongsian itu. Saham Kementerian Ekonomi atau kenderaan pelaburannya telah dipertimbangkan. Rundingan telah diadakan untuk memasuki Pusat Penyelidikan Philips. Sumbangan dalam bentuk barangan dan wang tunai telah dinyatakan. Pelan pulangan pelaburan telah dirangka. Pengurus besar baharu yang bercita-cita tinggi dan berwawasan, Gjalt Smit, mengambil alih. Yang penting, 50 pekerja Philips S&I sedia ada telah ditawarkan syarat pekerjaan yang menarik. Tetapi kerana mereka telah bekerja di Philips sepanjang hayat mereka, mereka melihat usaha sama itu sebagai satu bentuk pelupusan untuk Philips. Orang ramai enggan untuk meletakkan kepercayaan mereka pada syarikat permulaan yang tidak mempunyai akses pasaran dan teknologi utamanya mesti direka bentuk semula. walaupun begitu, kumpulan itu masih mempunyai 47 penandatangan.

Sejak awal, ASML dilihat sebagai penjelmaan keusahawanan yang dipacu inovasi dan dijangka menjamin kapasiti ekonomi masa depan Belanda. Syarikat muda, dengan dorongan dan semangat, memulakan masa depan yang tidak menentu tetapi penuh harapan. Berpindah ke Veldhoven mungkin penamat cerita ini, tetapi untuk ASML ia hanyalah permulaan. Hari-hari awal di bangsal luar Philips itu meletakkan asas untuk ASML berkembang menjadi syarikat yang kita kenali hari ini. Pasukan ini kreatif dan berazam untuk meneruskan inovasi teknologi dan menolak had apa yang mungkin.

8, permulaan yang sederhana

Pada tahun 1988, selepas Philips menubuhkan syarikat pengecoran usaha sama di Taiwan, kami mula memasuki pasaran Asia. Di Amerika Syarikat, kami telah berkembang daripada beberapa pekerja kepada 84 orang di lima lokasi. Tetapi dalam pasaran yang sangat kompetitif dengan banyak pembekal, syarikat kecil yang kurang dikenali dari Belanda ini tidak dapat menembusinya.

ASML mempunyai terlalu sedikit pelanggan untuk berdikari. Lebih memburukkan lagi keadaan, pemegang saham ASMI, yang tidak dapat mengekalkan tahap pelaburan yang tinggi dengan pulangan yang sedikit, memutuskan untuk menarik diri, sementara situasi industri elektronik global menjadi semakin teruk, Philips mengumumkan program pengurangan kos secara besar-besaran. Kelangsungan hidup syarikat litografi kita yang masih muda dan memakan wang tunai bergantung pada imbangan. Didorong oleh kepercayaan teguh dalam penyelidikan dan pembangunan yang berterusan serta keperluan mendesak untuk bimbingan pembiayaan, eksekutif ASML menghubungi ahli lembaga Philips, Henk Bodt, yang meyakinkan rakan sekerjanya untuk memberikan bantuan terakhir.

9，Daripada memberi sumbangan kepada tawaran awam permulaan

Pelaburan telah digunakan dengan baik. Pada tahun ini, kami melancarkan platform terobosan kami PAS 5500. Dengan produktiviti dan resolusi peneraju industrinya, PAS 5500 telah menarik pelanggan utama ASML perlukan untuk menjadi menguntungkan. Ini adalah langkah pertama ke arah kematangan.

PAS 5500 ialah platform yang ASML dikenali. Sebelum pelancarannya, ASML menduduki tempat ketiga dalam pasaran litografi, di belakang gergasi Nikon dan Canon. Tetapi kejayaan platform PAS 5500 dengan pantas melonjakkan ASML ke tempat kedua dan menetapkan peringkat untuk pertumbuhannya sebagai peneraju global dalam litografi. PAS 5500 berkembang daripada satu siri sistem yang dimulakan oleh penyelidik Philips pada tahun 1970-an. Nama platform itu sendiri mencerminkan warisannya dan hubungan kami yang telah lama terjalin dengan Philips: Philips Automatic Stepper (PAS).

ASML menjadi syarikat awam bebas sepenuhnya pada tahun 1995, disenaraikan di Bursa Saham Amsterdam dan New York. Philips menjual separuh daripada sahamnya dalam tawaran awam permulaan dan selebihnya pada tahun-tahun berikutnya. IPO membawa masuk dana untuk memacu pertumbuhan kami dan kami mengembangkan penyelidikan dan pembangunan serta kemudahan pengeluaran kami di Veldhoven De Run, yang kemudiannya menjadi ibu pejabat baharu kami.

10,TWINSCAN dan teknologi rendaman membuka jalan

Pada tahun 2001, kami memperkenalkan sistem TWINSCAN dan teknologi dua peringkat revolusinya. Sistem ini mendedahkan wafer lain semasa mengukur dan menjajarkan yang seterusnya, memaksimumkan produktiviti dan ketepatan sistem, dengan itu meningkatkan nilai pemilikan untuk pelanggan. Pada tahun yang sama, kami menyelesaikan pemerolehan Silicon Valley Group, meningkatkan lagi keupayaan ASML dalam kemajuan teknologi semikonduktor. TWINSCAN AT:1150i memulakan kerjaya sebagai mesin rendaman pertama pada tahun 2003, diikuti oleh TWINSCAN XT:1250i, XT:1400i, dan mesin rendaman pertama yang dihasilkan secara besar-besaran, XT:1700i, pada tahun 2006.

Pada tahun 2007, kami memperkenalkan sistem rendaman TWINSCAN XT:1900i dengan apertur berangka 1.35, spesifikasi tertinggi dalam industri. Dengan teknologi baharu ini, kami membolehkan pelanggan menghasilkan ciri cip yang lebih kecil dengan memancarkan cahaya melalui lapisan air antara kanta dan wafer. Kemudian pada tahun 2007, kami memperoleh BRION, penyedia terkemuka penyelesaian reka bentuk semikonduktor dan pengoptimuman pembuatan. Ini adalah permulaan strategi "litografi holistik" kami. Kami menggabungkan pengetahuan kami tentang sistem litografi dengan kemahiran kami dalam mengoptimumkan proses pembuatan cip sebelum, semasa dan selepas litografi. Satu lagi produk utama dalam peringkat awal strategi litografi keseluruhan kami ialah YieldStar, sistem metrologi kami yang menyediakan pengukuran dan penentukuran masa nyata semasa proses pembuatan cip. YieldStar (250D) pertama telah dihantar kepada pelanggan pada tahun 2008.

11,Tukar The Times sekali lagi dengan EUV

Pada awal 2020, EUV memasuki pengeluaran besar-besaran dan kami meraikan penghantaran sistem EUV ke-100 kami. Tetapi 2020 juga penting kerana sebab lain: pandemik COVID-19. Pasukan kami di seluruh dunia telah membuktikan keupayaan mereka untuk menyesuaikan diri dan menambah baik dengan menyokong pelanggan dari jauh dengan cara baharu yang inovatif, menggunakan kepakaran mereka untuk bertindak balas terhadap wabak dan menghubungi untuk menyokong komuniti setempat. membuktikan bahawa mereka mempunyai keupayaan untuk menyesuaikan diri dan membuat improvisasi.

Pada November 2020, pemerolehan Berliner Glas Group telah selesai dan kami secara rasmi mengalu-alukan pasukan Berliner Glas ke dalam keluarga ASML. Bahagian Glass teknikal Kumpulan telah dipisahkan kepada Kumpulan Glas Trosch pada April 2021.

Pada tahun 2023, kami memperkenalkan sistem EUV generasi pertama yang pertama dengan apertur berangka sehingga 0.55 (dipanggil "apertur berangka tinggi"). Platform, yang dipanggil EXE, menampilkan reka bentuk optik baru dan platform yang jauh lebih pantas.

Memandang ke hadapan, ASML akan terus melakukan keajaiban. Fountyl Technologies PTE Ltd, memberi tumpuan kepada industri pembuatan semikonduktor, produk utama termasuk: Pin chuck, poros ceramic chuck, seramik end effector, seramik square rasuk, seramik spindle, dialu-alukan untuk menghubungi dan rundingan！