Bahagian seramik & Bahagian Kuarza & Pengedap terfluorinasi & chuck Elektrostatik....

Kelewatan dalam pembangunan bahagian ketepatan semikonduktor terutamanya disebabkan oleh proses bahagian utama semikonduktor yang kompleks, keperluan ketepatan tinggi, kitaran pensijilan yang panjang, kebanyakan pemimpin asing telah membentuk halangan yang tinggi untuk masuk selepas bertahun-tahun terkumpul, dan susun atur industri bahagian am domestik telah hilang untuk masa yang lama, sebaliknya, pelbagai jenis bahagian, kumpulan yang agak kecil, saiz khas, dan lain-lain. Saiz segmen pasaran bertaburan, ruang permintaan pasaran mempunyai siling, yang awalnya bergantung pada pembangunan awal industri peralatan, kekurangan perhatian dan usaha modal jangka panjang, diharapkan saluran penyenaraian perusahaan kecil dan sederhana "khusus dan istimewa" akan membantu pengeluar produk tersegmen mendapat pembangunan yang besar, CVC (Modal korporat) dan pembangunan pasaran antarabangsa juga akan menjadi cara yang penting bagi syarikat alat ganti untuk meningkatkan kelebihan mereka.

Berikut membincangkan situasi bekas industri alat ganti proses kering daripada pasaran keseluruhan dan kategori khusus, dan menyenaraikan beberapa industri bahagian bahan dengan kadar penyetempatan yang rendah atau penggunaan yang agak tinggi.

Saiz pasaran bahagian semikonduktor

Bahagian semikonduktor mula-mula dibahagikan kepada dua kategori: 1. Bahagian mesin ketepatan dan 2. Bahagian yang dibeli am. 1. Aksesori mesin ketepatan biasanya direka oleh pelbagai syarikat peralatan semikonduktor, dan kemudian pemprosesan sumber luar, hanya untuk peralatan syarikat, seperti ruang proses, ruang penghantaran, dll., penyetempatan agak mudah, dan rawatan permukaan, pemesinan ketepatan dan keperluan teknologi lain lebih tinggi. 2. Bahagian yang dibeli am adalah beberapa bahagian am yang telah disahkan untuk masa yang lama dan diiktiraf secara meluas oleh banyak kilang dan pengeluar peralatan. Ia lebih diseragamkan dan akan digunakan oleh syarikat peralatan yang berbeza, dan juga akan digunakan sebagai alat ganti dan bahan guna habis di barisan pengeluaran. Sebagai contoh, bahagian struktur silikon, pengedap O-Ring, injap, tolok, pam, Plat muka, kepala semburan gas, Kepala pancuran, dsb., bahagian tersebut mempunyai fleksibiliti dan konsistensi yang kuat, dan perlu diperakui oleh barisan peralatan dan pembuatan. .

Sebagai komponen utama peralatan semikonduktor, komponen, bersama-sama dengan bahan semikonduktor dan perisian EDA, menyokong reka bentuk, pembuatan, pengedap dan pautan ujian dalam rantaian industri semikonduktor, sekali gus menyokong proses digital ekonomi global. Komponen teras semikonduktor, seperti bahan mentah semikonduktor, walaupun saiz pasaran kecil, ia menentukan komposisi teras, kos utama, dan prestasi berkualiti tinggi peralatan semikonduktor. Pada tahun 2020, saiz pasaran bahagian teras semikonduktor global ialah kira-kira $20-30 bilion, dan saiz pasaran peralatan semikonduktor ialah kira-kira $80-90 bilion; Peralatan semikonduktor dan bahan semikonduktor, EDA bersama-sama menyokong cip semikonduktor global dan skala industri aplikasi kira-kira 500 bilion dolar AS.

Bahagian semikonduktor Gambaran Keseluruhan Industri

Kami membahagikan peranti bahagian hadapan semikonduktor kepada tiga kategori yang luas:

(1) Peralatan optik, terutamanya termasuk mesin litografi dan peralatan pengukuran/pengesan,

(2) peralatan proses kering, terutamanya termasuk mesin etsa, PVD, CVD, mesin implantasi ion, dll.

(3) peralatan proses basah, terutamanya termasuk peralatan pembersihan, peralatan pembangunan gam dan peralatan CMP.

Kategori komponen semikonduktor dan peralatan yang digunakan di dalamnya sepadan dengan yang berikut:

Perusahaan bahagian, mengikut bahan dan fungsi utama bahagian semikonduktor dibahagikan kepada dua belas kategori, termasuk

1. Bahagian silikon/silikon karbida,
2. bahagian kuarza,
3. bahagian seramik,
4. Bahagian logam,
5. bahagian grafit,
6. Bahagian plastik,
7. bahagian vakum,
8. anjing laut,
9. Bahagian penapis,
10. Bahagian bergerak,
11. Bahagian kawalan elektrik
12. Bahagian lain.

Setiap bahagian ini juga termasuk beberapa sub-produk, seperti bahagian vakum, termasuk tolok vakum (pengukuran vakum proses), tolok tekanan vakum, meter aliran gas (MFC), bahagian injap vakum, pam vakum dan bahagian utama lain.

Bahagian bahan dengan kadar penyetempatan yang rendah

Peralatan pembuatan semikonduktor memerlukan bahan komponen ketepatan dengan berat ringan, kekuatan tinggi, kekonduksian haba yang tinggi dan pekali pengembangan haba yang rendah, dan seragam padat tanpa kecacatan. Sebagai tambahan kepada bahan, struktur, proses dan kualiti, bahagian semikonduktor juga mempunyai keperluan yang tinggi untuk ketepatan, kebolehpercayaan dan kestabilan, jadi penyetempatan adalah sukar.

Bahagian seramik

1). Bahan utama komponen seramik semikonduktor dan bahan guna habis

Bahagian seramik ketepatan Bahan bahagian ketepatan semikonduktor yang paling mewakili. Seramik ketepatan menyumbang kira-kira 16% daripada nilai pembuatan peralatan semikonduktor. Seramik semikonduktor ialah alumina, silikon nitrida, aluminium nitrida, silikon karbida dan sebagainya. Berbanding dengan bahan organik dan logam, bahan seramik umumnya mempunyai rintangan kakisan fizikal dan kimia yang lebih baik dan suhu kerja yang tinggi, dan telah menjadi komponen teras proses pembuatan wafer silikon monohablur semikonduktor dan proses pemprosesan sebelumnya. Seramik mempunyai kekerasan tinggi, modulus elastik tinggi, rintangan haus yang tinggi, penebat tinggi, rintangan kakisan, pengembangan rendah dan kelebihan lain, boleh digunakan sebagai mesin penggilap silikon, epitaxial/pengoksidaan/penyebaran dan peralatan rawatan haba lain, mesin litografi, peralatan pemendapan, peralatan etsa semikonduktor, mesin implantasi ion dan bahagian peralatan lain.

(1）Al₂O₃

(2) SiC

(3) AIN

(4)Si3N4

2). Corak pasaran bahagian seramik ketepatan

Pada masa ini, syarikat asing berada di barisan hadapan dalam penyelidikan dan pembangunan serta aplikasi bahagian struktur seramik ketepatan untuk peralatan teras litar bersepadu di Jepun, CoorsTek di Amerika Syarikat, Berlinerglas di Jerman, dll., antaranya, Kyocera di Jepun dan CoorsTek di Amerika Syarikat menduduki 70% bahagian pasaran bahagian struktur seramik berketepatan tinggi untuk peralatan teras litar bersepadu.

Perisian kuarza

Industri kaca kuarza semikonduktor

Kaca kuarza adalah bahan tambahan penting dalam industri semikonduktor, digunakan secara meluas dalam pembuatan separa konduktor photomask, resapan, etsa dan pautan lain, adalah salah satu bahan mentah utama dalam industri semikonduktor. Kuarza mempunyai rintangan suhu tinggi, pekali pengembangan haba kecil, penghantaran cahaya yang sangat baik, penebat elektrik yang baik, rintangan kakisan dan prestasi unggul yang lain, permintaan hiliran terlibat secara meluas dalam industri sumber cahaya rendah (4%), industri fotovoltaik (7%). ), serta optik mewah (10%), gentian optik (14%) dan semikonduktor (65%) dan ambang teknikal lain bagi medan yang lebih tinggi.

Cincin pengedap berfluorinasi

Cincin pengedap perfluorinated adalah salah satu daripada lima bahan guna habis utama yang diperlukan untuk pengeluaran litar bersepadu, dan kadar sara diri domestik semasa adalah kurang daripada 1%. Dalam proses pengeluaran semikonduktor, gas fluorin dan hidrogen sering menghadapi suhu tinggi. Sekiranya tiada cincin pengedap, aliran gas tenaga tinggi menyentuh permukaan bahan yang diubah suai, yang akan menyebabkan kakisan kuat pada permukaan bahan.

Chuck Elektrostatik

Chuck elektrostatik adalah sejenis pembawa wafer ultra-bersih yang sesuai untuk persekitaran vakum atau persekitaran plasma. Ia menggunakan prinsip penjerapan elektrostatik untuk menjalankan pengapitan rata dan seragam wafer ultra-nipis, dan digunakan secara meluas dalam PVD, PECVD, ETCH, EUVL, implantasi ion dan peralatan pembuatan semikonduktor lain. Sistem pegangan chuck elektrostatik biasa ialah struktur sandwic yang terdiri daripada tiga bahagian: lapisan penjerapan dielektrik, lapisan elektrod dan lapisan asas. Ketiga-tiga bahagian itu ditumpangkan dalam struktur berlapis dalam chuck elektrostatik dari lapisan permukaan ke lapisan asas untuk membentuk lapisan penjerapan dielektrik, lapisan elektrod dan lapisan asas.

Pasaran chuck elektrostatik global sangat monopoli, dikuasai oleh syarikat Jepun dan Amerika, syarikat Amerika terutamanya AMAT (Bahan Gunaan), LAM (Pan Forest Group), dan syarikat Jepun terutamanya Shinko (Shinko Electric), TOTO, NTKCERATEC dan sebagainya. Gergasi antarabangsa telah lama mengawal rantaian bekalan produk chuck elektrostatik global, dan kepekatan pasaran adalah tinggi.

Fountyl Technologies PTE Ltd, memberi tumpuan kepada industri pembuatan semikonduktor, produk utama termasuk: Pin chuck, poros ceramic chuck, seramik end effector, seramik square rasuk, seramik spindle, dialu-alukan untuk menghubungi dan rundingan！