Pengenalan tentang aplikasi seramik ketepatan semikonduktor

Seramik termaju adalah asas kepada keseluruhan asas industri semikonduktor. Kerana seramik mempunyai kelebihan kekerasan tinggi, modulus elastik tinggi, rintangan haus yang tinggi, penebat tinggi, rintangan kakisan, pengembangan rendah...dll., ia boleh digunakan sebagai bahagian mesin penggilap silikon, peralatan rawatan haba epitaxial/pengoksidaan/penyebaran , mesin litografi, peralatan pemendapan, peralatan etsa semikonduktor, mesin implantasi ion. Peranti semikonduktor memerlukan sejumlah besar komponen seramik ketepatan. Seramik peralatan semikonduktor termasuk alumina, zirkonia, silikon nitrida, aluminium nitrida, silikon karbida, yttrium oksida...dsb. Dalam peralatan semikonduktor, nilai seramik ketepatan menyumbang kira-kira 16%. Peralatan semikonduktor ialah sokongan utama rantaian industri semikonduktor dan asas pembuatan semikonduktor, dan laporan SEMI terkini meramalkan bahawa jualan peralatan semikonduktor global akan menjadi $87 bilion pada 2023 kepada $87.4 bilion, dan akan dipulihkan kepada $100 bilion pada 2024.

Dengan perkembangan pesat industri semikonduktor domestik, faundri wafer telah membina kilang di Asia Tenggara, yang telah membawa kepada penambahbaikan bahan semikonduktor dan peralatan sokongan, peruntukan sumber rantaian bekalan asing kepada kecondongan domestik, tetapi juga kemunculan banyak tempatan yang cemerlang. pengeluar peralatan semikonduktor, di bawah trend pembangunan domestik, permintaan untuk bahagian seramik ketepatan peralatan semikonduktor akan meningkat.

Oleh kerana kedudukan dan kepentingannya dalam peralatan semikonduktor, bahagian seramik termaju mesti memenuhi keperluan prestasi komprehensif peralatan semikonduktor untuk bahan dalam mekanik mekanikal, haba, dielektrik, rintangan asid dan alkali dan kakisan plasma, dan keperluan ketepatan tinggi, kerana bahagian seramik dalam semikonduktor peralatan biasanya berada rapat di sekeliling wafer, dan ada juga yang menghubungi terus wafer. Oleh itu, kawalan ion logam dan zarah pada permukaannya adalah sangat ketat. Di samping itu, kerana pengeluaran komponen seramik untuk peranti semikonduktor melibatkan pensijilan pengilang peralatan asli, Oleh itu, ia tergolong dalam industri dengan ambang eksklusiviti yang tinggi, Selain itu, dalam bidang pembungkusan dan ujian semikonduktor, bahan seramik juga boleh digunakan dalam pelapik pembungkusan peranti semikonduktor kuasa dan kad probe ujian.

Rantaian industri seramik semikonduktor termasuk pemprosesan wafer semikonduktor, peranti semikonduktor kuasa, pembungkusan dan ujian perusahaan aplikasi hiliran; Peralatan litografi, peralatan resapan pengoksidaan, peralatan etsa, peralatan ukiran kering, peralatan implantasi ion, peralatan pemendapan filem, peralatan PVD, peralatan CVD, peralatan pemendapan lapisan atom (ALD), peralatan penggilap mekanikal kimia, peralatan penyepuhlindapan laser peralatan semikonduktor mewah perusahaan; Peralatan penyediaan serbuk, pengadun, mesin pengampelas, mesin tiga gulung, peralatan granulasi semburan, mesin pengacuan suntikan, mesin tuang, peralatan laminating, peralatan penekan kering, pengacuan grouting, peralatan menekan isostatik, peralatan percetakan skrin, nyahlemak, peralatan pensinteran, CNC, mesin pengilangan, peralatan penggilap, peralatan letupan pasir, peralatan pematerian vakum, lekapan perkakas peralatan pengeluaran dan aksesori perusahaan; Bahagian seramik (lengan pengendalian, chuck elektrostatik, pemanas seramik, cincin pelapik, muncung, ruang, kad probe, serpihan seramik...dll.), seramik alumina, seramik berliang, seramik zirkonia, seramik aluminium nitrida, seramik silikon nitrida, silikon karbida seramik, aluminium silikon karbida seramik...dll.