Seramik silikon karbida digunakan dalam peralatan pembuatan semikonduktor/litar bersepadu

Seramik silikon karbida memainkan peranan penting dalam peralatan pembuatan semikonduktor/litar bersepadu kerana sifat fizikal dan kimianya yang unik. Walau bagaimanapun, perlu diingatkan bahawa pada masa ini, penyelidikan dan pembangunan serta penggunaan bahagian struktur seramik ketepatan untuk peralatan teras litar bersepadu tertumpu terutamanya di Amerika Syarikat, Jepun, Eropah dan tempat-tempat lain, dan mereka masih dalam kedudukan monopoli mutlak. . Oleh itu, China masih memerlukan penyelidikan dan penemuan lanjut dalam bahan seramik silikon karbida dan teknologi penyediaan yang berkaitan.

1, Gpengisaran dan penggilap chuck

Dalam proses pengeluaran chuck penggilap silikon karbida, bahan seramik silikon karbida diproses menjadi bentuk chuck, dan melalui rawatan proses khas, supaya permukaannya mempunyai sifat pengisaran dan penggilap yang sangat baik. Apabila digunakan, chuck mengisar dan menggilap permukaan bahan kerja dengan menyerap permukaan bahan kerja, menggunakan kekerasan dan ketajaman seramik silikon karbida untuk menghilangkan kekotoran seperti burr dan oksida pada permukaan, dan meningkatkan kemasan dan ketepatan permukaan bahan kerja.

Ciri-ciri utama silikon karbida pengisaran dan penggilap chuck termasuk:

o Kekerasan tinggi: seramik silikon karbida mempunyai kekerasan yang sangat tinggi, kedua selepas berlian, jadi ia boleh menjalankan operasi pengisaran dan penggilap dengan berkesan untuk menghilangkan kecacatan dan penyelewengan pada permukaan bahan.

o Rintangan haus yang tinggi: Kekerasan tinggi seramik silikon karbida juga membawa rintangan haus yang baik, yang boleh mengekalkan haus kecil semasa proses pengisaran dan penggilapan yang panjang dan meningkatkan hayat perkhidmatan alat.

o Kestabilan haba yang tinggi: Seramik silikon karbida mempunyai kestabilan haba yang tinggi dan pekali pengembangan haba yang rendah, boleh mengekalkan prestasi yang stabil dalam persekitaran suhu tinggi, sesuai untuk operasi pengisaran dan penggilapan suhu tinggi.

o Kestabilan kimia yang baik: seramik silikon karbida mempunyai kestabilan yang baik kepada kebanyakan bahan kimia, tidak mudah terhakis dan terhakis, dan boleh mengekalkan prestasi yang stabil dalam pelbagai persekitaran.

2, chuck litografik

Chuck litografi karbida silikon memainkan peranan penting dalam proses pembuatan litar bersepadu. Ia boleh memberikan penetapan dan sokongan wafer silikon yang stabil dan berketepatan tinggi untuk memastikan kelancaran proses litografi, dengan itu meningkatkan kecekapan pembuatan dan kualiti litar bersepadu.

Perlu diingatkan bahawa chuck litografi silikon karbida adalah komponen utama dalam pembuatan litar bersepadu, dan teknologi pembuatan dan keperluan ketepatannya sangat tinggi. Pada masa ini, hanya beberapa syarikat asing boleh mengeluarkan chuck litografi untuk memenuhi keperluan pembuatan litar bersepadu, dan teknologi dan produk China dalam bidang ini perlu terus dibangunkan dan ditambah baik.

Ciri-ciri utama silikon karbida litografi chuck termasuk:

o ketepatan tinggi: Seramik silikon karbida mempunyai kekerasan dan ketepatan yang sangat tinggi, yang boleh memenuhi penetapan ketepatan tinggi dan keperluan sokongan wafer silikon dalam proses pembuatan litar bersepadu.

o Kestabilan tinggi: Seramik silikon karbida mempunyai kestabilan haba yang tinggi dan pekali pengembangan haba yang rendah, yang boleh mengekalkan saiz dan bentuk yang stabil semasa proses litografi untuk mengelakkan menjejaskan ketepatan litografi.

o Kestabilan kimia yang baik: seramik silikon karbida mempunyai kestabilan yang baik kepada kebanyakan bahan kimia, tidak mudah terhakis dan terhakis, dan boleh mengekalkan prestasi yang stabil semasa proses litografi.

o Daya penjerapan yang tinggi: Penyedut litografi silikon karbida menggunakan teknologi penjerapan khas, yang boleh menjerap wafer silikon dengan kuat untuk memastikan ia tidak akan beralih atau bergoncang semasa proses litografi, memastikan ketepatan dan kestabilan litografi.

3, chuck pengesanan

chuck pengesanan karbida silikon boleh memastikan kelancaran proses pengesanan, sekali gus meningkatkan kualiti pembuatan litar bersepadu. Pada masa yang sama, hayat perkhidmatan chuck pengesanan karbida silikon adalah panjang, yang boleh mengurangkan kos pembuatan dan kos penyelenggaraan, dan meningkatkan faedah ekonomi keseluruhan.

4, platform gerakan ketepatan

Platform gerakan ketepatan silikon karbida memainkan peranan penting dalam pelbagai bidang pembuatan dan pemprosesan ketepatan tinggi. Ia boleh menyediakan penyelesaian kawalan gerakan berketepatan tinggi dan kestabilan tinggi untuk pemprosesan semikonduktor, pembuatan optik, nanoteknologi dan bidang lain untuk meningkatkan kualiti produk dan kecekapan pengeluaran.

Ciri-ciri utama platform pergerakan ketepatan silikon karbida termasuk:

o Ketepatan tinggi: seramik silikon karbida mempunyai kekerasan dan ketepatan yang sangat tinggi, yang boleh memenuhi keperluan ketepatan tinggi platform pergerakan dan memastikan kestabilan dan ketepatan platform semasa pergerakan.

o Kestabilan tinggi: Seramik silikon karbida mempunyai kestabilan haba yang tinggi dan pekali pengembangan haba yang rendah, yang boleh mengekalkan prestasi stabil dalam suhu tinggi dan persekitaran yang keras, mengurangkan ubah bentuk dimensi dan ralat haba, dan memastikan kestabilan jangka panjang platform.

o Ringan: Seramik silikon karbida mempunyai ketumpatan rendah dan kekuatan tinggi, yang dapat merealisasikan reka bentuk platform yang ringan, mengurangkan inersia pergerakan, mengurangkan beban motor, dan meningkatkan tindak balas dinamik dan pecutan platform.

o Rintangan haus yang tinggi: Seramik silikon karbida mempunyai rintangan haus yang sangat baik, boleh menahan pergerakan berkelajuan tinggi dan haus beban berat, memanjangkan hayat perkhidmatan platform.

5,Bahagian silikon karbida ketulenan tinggi untuk pautan etsa 

Dalam proses etsa, komponen silikon karbida ketulenan tinggi memainkan peranan penting. Silikon karbida ketulenan tinggi mempunyai sifat fizikal dan kimia yang sangat baik, seperti kekerasan tinggi, kestabilan haba yang tinggi, kestabilan kimia yang baik, dan kereaktifan yang rendah, yang menjadikannya bahan yang sesuai untuk peralatan etsa.

bahagian silikon karbida ketulenan tinggi memainkan peranan penting. Silikon karbida ketulenan tinggi mempunyai sifat fizikal dan kimia yang sangat baik, seperti kekerasan tinggi, kestabilan haba yang tinggi, kestabilan kimia yang baik, dan kereaktifan yang rendah, yang menjadikannya bahan yang sesuai untuk peralatan etsa.

Dalam peralatan etsa plasma, karbida silikon ketulenan tinggi sering digunakan untuk mengeluarkan komponen utama seperti cincin pemfokus, kepala semburan gas, palet, gelang tepi, rongga terukir, muncung gas terukir, dan lain-lain. Komponen ini memainkan peranan penting dalam proses pengetsaan. , seperti cincin fokus untuk memastikan pengedaran seragam plasma, kepala semburan gas untuk mengawal suntikan gas dengan tepat, dulang dan cincin tepi untuk menyokong dan menstabilkan wafer yang akan terukir.

Bahagian silikon karbida ketulenan tinggi menunjukkan kestabilan yang baik dalam persekitaran yang mengandungi gas etsa klorin dan fluorin, dan kereaktifannya yang rendah dapat mengurangkan kakisan dan kerosakan pada peralatan dengan berkesan semasa proses etsa. Di samping itu, karbida silikon ketulenan tinggi juga mempunyai kekonduksian elektrik yang serupa dengan silikon, yang membolehkan ia mengalirkan arus dengan berkesan semasa proses goresan, memastikan keseragaman dan konsistensi goresan.

Dengan kemajuan berterusan pembuatan litar bersepadu, keperluan untuk teknologi etsa menjadi lebih tinggi dan lebih tinggi. Komponen silikon karbida ketulenan tinggi, dengan prestasi dan kestabilan yang sangat baik, adalah salah satu kunci untuk memenuhi keperluan ini. Dengan perkembangan teknologi yang berterusan, penggunaan silikon karbida ketulenan tinggi dalam proses etsa akan menjadi lebih dan lebih meluas.

6, Sistem gerakan ketepatan dalam pemeriksaan pakej

Dalam kawalan gerakan berkelajuan tinggi dan berketepatan tinggi, kekerasan tinggi dan geseran rendah seramik silikon karbida boleh mengurangkan haus dan geseran, dan meningkatkan kestabilan dan hayat sistem. Pada masa yang sama, dalam proses pemeriksaan pakej, perubahan suhu mungkin memberi kesan kepada sistem gerakan ketepatan, dan penggunaan seramik silikon karbida dapat mengurangkan kesan ini dengan berkesan dan meningkatkan kebolehpercayaan dan kestabilan sistem.

Sistem gerakan ketepatan seramik silikon karbida dalam pembungkusan dan pautan ujian termasuk komponen utama seperti rel panduan, bearing dan blok slaid. Ketepatan pembuatan dan prestasi komponen ini secara langsung mempengaruhi kestabilan dan ketepatan keseluruhan sistem gerakan. Oleh itu, teknologi pemprosesan berketepatan tinggi dan teknologi rawatan permukaan seramik silikon karbida juga penting.

Seramik silikon karbida juga digunakan untuk sistem gerakan ketepatan dalam proses pemeriksaan pakej pembuatan, seperti penjajaran dan pemasangan semasa pembungkusan cip.

Seramik silikon karbida memainkan peranan penting dalam sistem gerakan ketepatan pemeriksaan pakej. Dengan kemajuan teknologi yang berterusan dan pengembangan bidang aplikasi, aplikasi seramik silikon karbida dalam sistem gerakan ketepatan akan menjadi lebih dan lebih meluas.

FOUNTYL TECHNOLOGIES PTE. LTD. ialah sebuah perusahaan moden dalam bidang set seramik maju R&D, pembuatan dan jualan sebagai satu, terutamanya menghasilkan seramik berliang, alumina, zirkonia, silikon nitrida, silikon karbida, aluminium nitrida, seramik dielektrik gelombang mikro dan bahan seramik termaju yang lain. pakar teknologi Jepun yang dijemput khas kami mempunyai lebih daripada 30 tahun pengalaman industri dalam bidang semikonduktor, dengan cekap menyediakan penyelesaian aplikasi seramik khas dengan rintangan haus, rintangan kakisan, rintangan suhu tinggi, kekonduksian haba yang tinggi, penebat untuk pelanggan domestik dan asing.