Apakah kegunaan filem silikon oksida (SiO2)?

Keseluruhan proses pembuatan semikonduktor adalah sangat biasa dan sangat diperlukan, untuk apa ia digunakan?

Sifat fizikal dan kimia silikon oksida?

Silikon oksida (SiO2) biasanya wujud dalam alam semula jadi dalam bentuk kristal kuarza, dan dalam proses pembuatan semikonduktor CVD atau PVD dalam bentuk amorf. Kekerasan tinggi, takat lebur tinggi, kestabilan kimia yang sangat baik, hampir tiada tindak balas dengan bahan kimia lain, prestasi penebat yang baik, pekali pengembangan haba yang rendah.

Penggunaan filem silikon oksida dalam pembuatan semikonduktor?

1. Digunakan sebagai lapisan topeng untuk etsa, penyebaran dan implantasi ion; Sebagai topeng etsa, silikon oksida mempunyai selektiviti tinggi dan tidak bertindak balas dengan bahan kimia dan gas. Sebagai topeng resapan dan implantasi ion, ia menghalang resapan bahan terdop seperti boron dan fosforus ke kawasan lain wafer silikon, supaya sempadan kawasan doping boleh dikawal dengan tepat;

2, digunakan sebagai media penebat (pengasingan, grid penebat, penebat pendawaian berbilang lapisan, media kapasitif, dll.); Sebagai lapisan pengasingan, ia membantu mengurangkan crosstalk antara pelbagai bahagian; Sebagai lapisan oksida pintu, ia boleh mengawal voltan pintu dengan berkesan untuk mengawal pembawa saluran, untuk mengawal arus yang mengalir melalui transistor. Sebagai lapisan dielektrik, ia digunakan untuk mengasingkan lapisan logam antara lapisan yang berbeza, yang boleh menghalang kebocoran semasa dan litar pintas.

3, digunakan untuk perlindungan permukaan dan pempasifan. Filem silikon oksida boleh digunakan sebagai lapisan pelindung, meliputi permukaan bahan sensitif untuk melindunginya daripada kelembapan luaran, bahan pencemar dan kakisan kimia. Sebagai lapisan pempasifan untuk memperbaiki sifat kimia dan elektrik permukaan semikonduktor. Ia berkesan boleh menghalang aktiviti atom permukaan, mengurangkan kecacatan permukaan, dan meningkatkan prestasi elektrik peranti.

Fountyl Technologies PTE Ltd, memberi tumpuan kepada industri pembuatan semikonduktor, produk utama termasuk: Pin chuck, poros ceramic chuck, seramik end effector, seramik square rasuk, seramik spindle, dialu-alukan untuk menghubungi dan rundingan！