Aplikasi sinar-X dalam pembuatan cip

X-ray digunakan secara meluas dalam pengeluaran dan kehidupan, dan kepentingan pembuatan semikonduktor adalah jelas. Hari ini, mari kita bercakap tentang aplikasi sinar-X dalam pembuatan semikonduktor.

Apakah sinar-X?

X-ray ialah sejenis gelombang elektromagnet. Gelombang elektromagnet disusun mengikut saiz panjang gelombang, mengikut urutan: Gelombang Radio > Gelombang Mikro > Inframerah > Cahaya Kelihatan > Ultraviolet > X-ray > Sinar Gamma. Semakin pendek panjang gelombang gelombang elektromagnet, semakin tinggi frekuensi dan semakin kuat tenaga.

Dengan julat panjang gelombang 0.01 hingga 10 nanometer, ia mempunyai tenaga yang tinggi dan setakat ini merupakan gelombang elektromagnet yang paling menembusi kecuali sinar gamma. Oleh kerana panjang gelombang sangat pendek, sinar-X biasanya dirujuk dari segi tenaga dan bukannya panjang gelombang. X-ray telah ditemui oleh saintis Jerman Wilhelm Conrad Roentgen pada tahun 1895, dan kerana sifatnya tidak diketahui pada masa itu, ia dinamakan "X-ray". Dia mendapati bahawa sinar-X dari lengan dan tangan boleh menghasilkan imej terperinci tulang dalaman. Itu kerana tulang itu padat dan menyerap lebih banyak sinar-X daripada kulit, jadi filem sinar-X meninggalkan bayang-bayang tulang manakala kulit kelihatan telus. Pada tahun 1896, beliau menerbitkan penemuannya dalam Journal of Physics. Penemuannya menarik perhatian dunia dan merevolusikan pengimejan perubatan. Roentgen memenangi Hadiah Nobel pertama dalam Fizik untuk ini pada tahun 1901, jadi sinar-X juga dipanggil sinar Roentgen. Difraksi sinar-X (XRD) dalam Pembuatan Semikonduktor

XRD ialah teknik yang digunakan untuk mengenal pasti struktur atom dan molekul di dalam kristal. Struktur hablur dan komposisi kimia sampel boleh disimpulkan dengan mengukur Sudut pembelauan dan keamatan sinar daripada struktur hablur dalam sampel. Prinsip asas pembelauan sinar-X ialah Hukum Bragg, yang menerangkan bahawa keamatan sinar akan menjadi maksimum pada Sudut tertentu apabila ia dipantulkan dalam satah kristal. Sudut ini bergantung pada parameter kekisi kristal.

Spektrometri Pendarfluor X-ray (XRF)

XRF Ia boleh digunakan untuk menentukan komposisi unsur bahan, dengan kelebihan ia boleh menganalisis sampel secara tidak merosakkan dan biasanya tidak memerlukan prarawatan kompleks bagi sampel. XRF berfungsi berdasarkan struktur atom setiap unsur. Apabila bahan dihujani dengan sinar-X atau elektron bertenaga tinggi, elektron dalamannya tersingkir daripada atom oleh sinar atau elektron, menyebabkan atom berada dalam keadaan teruja. Untuk memulihkan kestabilan, elektron luar akan beralih ke kekosongan dalam, memancarkan foton sinar-X pada masa yang sama. Tenaga foton ini adalah sama dengan perbezaan tenaga antara dua kulit elektron, dan perbezaan tenaga ini adalah khusus untuk setiap unsur. Oleh itu, dengan mengukur tenaga sinar-X yang dipancarkan, kita boleh menentukan unsur-unsur dalam sampel.

CT ialah alat pengesanan tidak merosakkan yang penting. Imbasan CT boleh menghasilkan imej tiga dimensi bahagian dalam peranti semikonduktor, membantu jurutera menjalankan pemeriksaan dan analisis menyeluruh terhadap peranti tersebut. Prinsip penghasilan sinar-X dalam peranti biasanya menggunakan "tiub sinar-X" untuk menghasilkan sinar-X. Pertama, elektron dipancarkan dalam katod dengan pemanasan lampau. Elektron ini kemudiannya dipercepatkan ke kelajuan tinggi, dan elektron yang dipercepatkan berlanggar dengan anod (biasanya diperbuat daripada tungsten atau logam lain). Semasa pergerakan berkelajuan tinggi dan perlanggaran antara katod dan anod, elektron kehilangan tenaga. Apabila elektron melalui proses ini, ia menukar sebahagian atau semua tenaganya kepada sinar-X. X-ray yang terhasil dipancarkan melalui tingkap.

Fountyl Technologies PTE Ltd, memberi tumpuan kepada industri pembuatan semikonduktor, produk utama termasuk: Pin chuck, poros ceramic chuck, seramik end effector, seramik square rasuk, seramik spindle, dialu-alukan untuk menghubungi dan rundingan！