Dar
Materjali
Karbur tas-silikon użat għal partijiet reżistenti għall-korrużjoni, partijiet tas-siġilli, partijiet reżistenti għal temperatura għolja, binarji ta 'gwida u travi kwadri
Iċ-ċeramika tal-karbur tas-silikon għandha proprjetajiet mekkaniċi eċċellenti f'temperatura normali, bħal qawwa għolja, ebusija għolja, modulu elastiku għoli, stabbiltà eċċellenti fit-temperatura għolja, bħal konduttività termali għolja, koeffiċjent ta 'espansjoni termika baxxa, u ebusija speċifika tajba u proprjetajiet ta' proċessar ottiku, speċjalment adattati għall-preparazzjoni ta 'magna fotolitografika u tagħmir ieħor ta' ċirkwit integrat għal partijiet strutturali taċ-ċeramika ta 'preċiżjoni. Bħal użat fil-mejda tal-biċċa tax-xogħol li tiċċaqlaq il-preċiżjoni tal-magna fotolitografika, skeletru, tazza tal-ġbid, pjanċa mkessħa bl-ilma u mera tal-kejl ta 'preċiżjoni, ħakk u partijiet strutturali taċ-ċeramika oħra, Fountyl materjal ġdid wara snin ta' riċerka teknika, issolvi d-daqs kbir, ħajt irqiq, Struttura vojta u kumplessa oħra ta 'partijiet strutturali tal-karbur tas-silikon ipproċessar ta' preċiżjoni u problemi ta 'preparazzjoni, tkissir mill-konġestjoni teknika ta' dan it-tip ta 'teknoloġija ta' preparazzjoni ta 'partijiet strutturali ta' karbur tas-silikon ta 'preċiżjoni. Ippromwoviet ħafna l-lokalizzazzjoni ta 'partijiet strutturali ewlenin użati fit-tagħmir tal-manifattura taċ-ċirkwit integrat.
● Ċeramika tal-karbur tas-silikon prinċipalment tinkludi karbur tas-silikon tas-sinterizzazzjoni mingħajr pressjoni (SSiC), karbur tas-silikon sinterizzat b'reazzjoni (RBSC), karbur tas-silikon ta 'depożizzjoni ta' fwar kimiku (CVD-SiC).
● Karbur tas-silikon għandu varjetà ta 'proprjetajiet eċċellenti: super iebes, reżistenza għall-ilbies, konduttività termali għolja u saħħa mekkanika, koeffiċjent ta' espansjoni termali baxx, stabbiltà termali eċċellenti, densità baxxa, ebusija speċifika għolja, mhux manjetiċi.
● Fil-preżent, iċ-ċeramika tal-karbur tas-silikon hija applikata f'diversi industriji bħall-industrija tal-avjazzjoni, aerospazjali u nukleari, bħal partijiet taċ-ċeramika ta 'tagħmir high-end għal riflettur taċ-ċeramika tal-karbur tas-silikon u manifattura ta' ċirkwit integrat IC, skambjaturi tas-sħana u materjali li ma jagħmlux ħsara lill-balal taħt kundizzjonijiet estremi.
Karatteristiċi ta 'partijiet strutturali taċ-ċeramika ta' preċiżjoni għal tagħmir tal-manifattura ta 'ċirkwit integrat:
① Ħfief ħafna: Sabiex titnaqqas l-inerzja tal-moviment, tnaqqas it-tagħbija tal-mutur, ittejjeb l-effiċjenza tal-moviment, il-preċiżjoni tal-pożizzjonament u l-istabbiltà, il-partijiet strutturali ġeneralment jużaw disinn ta 'struttura ħafifa, ir-rata ħafifa hija 60-80%, sa 90%;
② Eżattezza tal-pożizzjoni tal-forma għolja: Sabiex jinkiseb moviment u pożizzjonament ta 'preċiżjoni għolja, il-partijiet strutturali huma meħtieġa li jkollhom forma u preċiżjoni tal-pożizzjoni estremament għolja, il-flatness, il-paralleliżmu u l-perpendikularità huma meħtieġa li jkunu inqas minn 1μm, u l-forma u l-eżattezza tal-pożizzjoni hija meħtieġa li tkun inqas minn 5μm.
③ Stabbiltà dimensjonali għolja: Sabiex jinkiseb moviment u pożizzjonament ta 'preċiżjoni għolja, il-partijiet strutturali huma meħtieġa li jkollhom stabbiltà dimensjonali estremament għolja, biex ma jipproduċux tensjoni, u konduttività termali għolja, koeffiċjent ta' espansjoni termali baxx, mhux faċli biex tipproduċi deformazzjoni dimensjonali kbira ;
④ Naddaf u mingħajr tniġġis. Il-partijiet strutturali huma meħtieġa li jkollhom koeffiċjent ta 'frizzjoni estremament baxx, telf żgħir ta' enerġija kinetika waqt il-moviment, u l-ebda tniġġis ta 'partiċelli tat-tħin. Materjal tal-karbur tas-silikon għandu modulu elastiku għoli ħafna, konduttività termali u koeffiċjent ta 'espansjoni termali baxx, mhuwiex faċli biex jipproduċi deformazzjoni tal-istress tal-liwi u tensjoni termali, u għandu polishability eċċellenti, jista' jiġi mmaxinjat għal mera eċċellenti; Għalhekk, Għandu vantaġġi kbar li tuża karbur tas-silikon bħala l-materjal strutturali ta 'preċiżjoni għat-tagħmir ewlieni ta' ċirkwiti integrati bħal magna fotolitografika, Karbur tas-silikon għandu l-vantaġġi ta 'stabbiltà kimika tajba, saħħa mekkanika għolja, konduttività termali għolja u koeffiċjent ta' espansjoni termali baxx, u jista 'jiġi applikat f'temperatura għolja, pressjoni għolja, korrużjoni u radjazzjoni ta' ambjenti estremi.
Il-karbur tas-silikon għandu l-vantaġġi ta 'stabbiltà kimika tajba, saħħa mekkanika għolja, konduttività termali għolja u koeffiċjent ta' espansjoni termali baxx, u jista 'jiġi applikat f'temperatura għolja, pressjoni għolja, korrużjoni u radjazzjoni ta' ambjenti estremi.
It-tagħmir ewlieni taċ-ċirkwit integrat jeħtieġ li l-materjali tal-komponenti jkollhom il-karatteristiċi ta 'piż ħafif, qawwa għolja, konduttività termali għolja u koeffiċjent ta' espansjoni termika baxxa, u huma densi u uniformi mingħajr difetti. Il-komponenti huma meħtieġa li jkollhom preċiżjoni dimensjonali estremament għolja u stabbiltà dimensjonali biex jiżguraw moviment ultra-preċiżjoni u kontroll tat-tagħmir. Iċ-ċeramika tal-karbur tas-silikon għandha modulu elastiku għoli u ebusija speċifika, mhux faċli biex tiġi deformata, u għandha konduttività termali għolja u koeffiċjent ta 'espansjoni termika baxxa, stabbiltà termali għolja, għalhekk iċ-ċeramika tal-karbur tas-silikon hija materjal strutturali eċċellenti, bħalissa fil-manifattura taċ-ċirkwit integrat ta' tagħmir ewlieni biex tinkiseb firxa wiesgħa ta 'applikazzjonijiet, bħal magna tal-litografija b'mejda tax-xogħol tal-karbur tas-silikon, ferrovija gwida, riflettur, chuck taċ-ċeramika, u effettur tat-tarf taċ-ċeramika.
Fountyl jista 'jissodisfa l-magna fotolitografika bħala r-rappreżentant taċ-ċirkwit integrat tal-manifattura tat-tagħmir ewlieni b'daqs kbir, ħajt irqiq vojt, struttura kumplessa, teknoloġija ta' preparazzjoni ta 'partijiet strutturali tal-karbur tas-silikon ta' preċiżjoni, bħal: chuck vakwu tal-karbur tas-silikon, ferrovija gwida, riflettur, tabella tax-xogħol u serje ta 'partijiet strutturali ta' karbur tas-silikon ta 'preċiżjoni għal magna fotolitografika.
| Proprjetajiet | Fountyl | ||
| Densità (g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| Modulu ta' Young (GPa) | 368 | ||
| Saħħa tal-flessjoni (MPa) | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE（×10-6/℃） | 100℃ | 2.8 × 10-6 | |
| 400℃ | 3.6 × 10-6 | ||
| 800℃ | 4.2 × 10-6 | ||
| 1000℃ | 4.6 × 10-6 | ||
| Konduttività Termali (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| Proporzjon ta' Poisson | 0.187 | ||
| Shear modulus (GPa) | 155 | ||