सिलिकन कार्बाइड जंग प्रतिरोधी भागहरु, सिलहरु, उच्च तापमान प्रतिरोधी भागहरु, गाइड रेल र वर्ग बीम को लागी प्रयोग गरिन्छ

सिलिकन कार्बाइड सिरेमिकमा सामान्य तापक्रममा उत्कृष्ट मेकानिकल गुणहरू हुन्छन्, जस्तै उच्च शक्ति, उच्च कठोरता, उच्च लोचदार मोडुलस, उत्कृष्ट उच्च तापक्रम स्थिरता, जस्तै उच्च थर्मल चालकता, कम थर्मल विस्तार गुणांक, र राम्रो विशिष्ट कठोरता र अप्टिकल प्रशोधन गुणहरू, विशेष गरी उपयुक्त। सटीक सिरेमिक संरचनात्मक भागहरूको लागि फोटोलिथोग्राफी मेसिन र अन्य एकीकृत सर्किट उपकरणहरूको तयारीको लागि। जस्तै फोटोलिथोग्राफी मेसिन परिशुद्धता मुभिंग वर्कपीस टेबल, कंकाल, सक्शन कप, वाटर-कूल्ड प्लेट र सटीक मापन मिरर, ग्रेटिंग र अन्य सिरेमिक संरचनात्मक भागहरूमा प्रयोग गरिएको, वर्षौंको प्राविधिक अनुसन्धान पछि फाउन्टाइल नयाँ सामग्री, ठूलो आकारको समाधान, पातलो पर्खाल, सिलिकन कार्बाइड स्ट्रक्चरल पार्ट्सको खोक्रो र अन्य जटिल संरचना सटीक प्रशोधन र तयारी समस्याहरू, यस प्रकारको सटीक सिलिकन कार्बाइड संरचनात्मक भागहरू तयारी प्रविधिको प्राविधिक बाधालाई तोड्दै। यसले एकीकृत सर्किट निर्माण उपकरणहरूमा प्रयोग हुने मुख्य संरचनात्मक भागहरूको स्थानीयकरणलाई धेरै बढाएको छ।

एकीकृत सर्किट निर्माणका प्रमुख प्रविधिहरू र उपकरणहरूमा मुख्यतया लिथोग्राफी प्रविधि र लिथोग्राफी उपकरणहरू, चलचित्र विकास प्रविधि र उपकरणहरू, रासायनिक मेकानिकल पालिश गर्ने प्रविधि र उपकरणहरू, उच्च-घनत्व पोस्ट-प्याकेजिङ प्रविधि र उपकरणहरू, आदि समावेश छन्, सबै गति नियन्त्रण प्रविधि र ड्राइभ समावेश छन्। उच्च दक्षता, उच्च परिशुद्धता र उच्च स्थिरताको साथ टेक्नोलोजी, जसले संरचनात्मक भागहरूको शुद्धता र संरचनात्मक सामग्रीहरूको प्रदर्शनको लागि अत्यन्त उच्च आवश्यकताहरू अगाडि राख्छ। उदाहरणको रूपमा लिथोग्राफी मेसिनमा वर्कपीस तालिका लिनुहोस्, एक्सपोजर आन्दोलन पूरा गर्नको लागि वर्कपीस तालिका मुख्य रूपमा जिम्मेवार छ, जसमा उच्च-गति, ठूलो स्ट्रोक र नानो-स्तर अल्ट्रा-परिशुद्धता आन्दोलनको स्वतन्त्रताको छ डिग्री आवश्यक पर्दछ।