Waferreiniging Marktanalyse voor schone/natte apparatuur

Het gehele halfgeleiderproces moet herhaaldelijk worden gereinigd en het reinigingsproces loopt via de halfgeleiderindustrie, die ruim 30% van het totale productieproces voor haar rekening neemt. Uit de analyse van de outputwaarde van de gehele markt voor apparatuur voor de halfgeleiderindustrie is de waferverwerkingsapparatuur verantwoordelijk voor 80%, en de totale productiewaarde van de reinigingsstap is goed voor ongeveer 33% van de waferverwerkingsapparatuur, en de reinigingsapparatuur speelt een rol. cruciale impact op het slagingspercentage en de economische voordelen van de productielijn.

Volgens gegevens van SEMI bedraagt ​​de mondiale marktruimte voor wafelreinigingsapparatuur in 2020 $3,7 miljard, goed voor 5% van alle apparatuur. Onder hen Screen Electronics Co., de top drie op de markt voor waferreinigingsapparatuur. , Ltd. Screen, Tokyo Electron Limited (TEL) en Lam Research Corporation (Lam) zijn samen goed voor 87,7 procent van de markt voor wafelreinigingsapparatuur. Uit een diepgaand onderzoeksrapport van de halfgeleiderreinigingsapparatuur van Guangfa Securities blijkt dat in 2019 de wereldwijde vraag naar megatound-reinigingsmachines 221 eenheden bedraagt, en dat alleen de markt voor megatound-reinigingsmachines $ 663 miljoen kan bereiken. Naura Chuang was voor pure technologie goed voor minder dan 1%. Met de overdracht van de halfgeleiderindustrie naar China neemt de ruimte op de binnenlandse markt toe, zijn de potentiële klantenbronnen overvloedig en moet de reinigingsmachine het nieuwste binnenlandse proces dekken. Volgens schattingen van Guangfa Securities zal de marktruimte voor schoonmaakapparatuur van bedrijven op het vasteland in de vijf jaar van 2019-2023 meer dan 40 miljard yuan bedragen. De tabel toont het marktaandeel van natte reinigingsmachines en het binnenlandse marktaandeel, gemeten door GF Securities.

Het bedrijf is de wereldleider op het gebied van reinigingsapparatuur, met 45,1 procent van het wereldwijde marktaandeel van halfgeleiderreinigingsapparatuur, volgens SEMI, waarbij 60 procent van de omzet afkomstig is van SU3200-reinigers die kunnen worden gebruikt in 7nm-processen. Het bedrijf, opgericht in 1868, ontwikkelde in 1975 de eerste generatie waferreinigingsapparatuur. In de daaropvolgende 40 jaar concentreerde het bedrijf zich op het onderzoek, de ontwikkeling en promotie van waferreinigingsapparatuur, waarbij halfgeleiderreinigingsapparatuur werd geleverd in Japan en voor de rest van de wereld. Het marktaandeel van de drie belangrijkste gebieden van reinigingsapparatuur: reinigingsapparatuur voor enkele wafels, automatische reinigingstafel en wasmachine neemt de eerste plaats ter wereld in en is de leider op het gebied van technologie voor reinigingsapparatuur. Momenteel heeft het bedrijf zijn hoofdkantoor in Japan en vestigingen in de Verenigde Staten, Europa, Zuid-Korea en Peking, Tianjin, Wuxi, Wuhan, Dalian, Shenzhen en Taiwan in China. Het verkoopnetwerk van reinigingsapparatuur omvat Intel, TSMC, Samsung, SK Hynix, SMIC, Huahong en andere internationaal bekende reuzen.

De nieuwste generatie reinigingsapparatuur is de SU-3300, die is afgeleid van de lang dominante SU-serie, te beginnen met de SU-2000, SU-3100, SU-3200, SU-serie en loopt voorop in het chipproces dat wordt gebruikt in de high-end reinigingsmachine. Zoals op de afbeelding te zien is:

Tokyo Electronics is na Dean het grootste bedrijf voor wafelreinigingsapparatuur. Sinds juni 2020 heeft het wereldwijd meer dan 62.000 sets reinigingsapparatuur verkocht en is het het eerste bedrijf dat gestaag 11 wafels met ultrahoge zuiverheid produceert. Tokyo Electronics, opgericht in 1963, fuseerde in 1968 met Thermco Products Corp om de eerste fabrikant van halfgeleiderapparatuur in Japan te worden, en begon in hetzelfde jaar met het ontwerpen en produceren van waferreinigingsapparatuur, en werd in 1981 de grootste leverancier van reinigingsapparatuur. In 1991 overtrof Dean zelfs drie opeenvolgende keren kampioen schoonmaakapparatuur, in de daaropvolgende twintig jaar stond Tokyo Electronics ook stevig op de tweede plaats op de wereldtroon voor wafelreinigingsapparatuur.

De nieuwste generatie reinigingsapparatuur van Tokyo Electron is de CELLESTA SCD. Producten uit de CELLESTA-serie worden veel gebruikt voor het reinigen van siliciumwafels in halfgeleiderprocessen, waaronder kleine chips, complexe logicachips en geheugen-DRAM die in pc of NB worden gebruikt. Zoals op de afbeelding te zien is:

Pangilin Semiconductor is het geesteskind van David K. Lam's halfgeleidertechnologiebedrijf, opgericht in 1980 en met hoofdkantoor in Silicon Valley, Californië, en is een van 's werelds toonaangevende leveranciers van waferproductie en -diensten, met een algemeen aandeel dat op de tweede plaats komt na ASML en AMAT. derde in de wereld. Op het gebied van waferreinigingsapparatuur staat Panglin Semiconductor Company ook op de derde plaats in de wereld, na Dean en Tokyo Electronics Company, goed voor ongeveer 12,5% van de wereldmarkt in 2019.

De nieuwste generatie Pan Forest reinigingsapparatuur is de Coronus HP

Zoals weergegeven in de afbeelding maakt dit waferreinigingssysteem gebruik van plasma-opsluitingstechnologie om het chipgebied effectief te beschermen; In situ verwijdering van dunne filmlagen en resten van verschillende materialen en selectieve verwijdering van ongewenste materialen van wafelranden kunnen de productie-efficiëntie verbeteren en de productopbrengst verbeteren; De metaalfilm kan worden geëlimineerd, wat boogvorming in daaropvolgende plasmastappen kan voorkomen.

Semi Semiconductor beschikt over twee zelfontwikkelde kerntechnologieën: SAPS (ruimte afgewisseld faseverschuiving) en TEBO-reinigingstechnologie (timely energized bubble oscillation). De twee hebben de problemen van de uniformiteit van de megasound-energiedistributie en destructieve energie opgelost, en beschikken over een aantal kernpatenten en -technologieën op het gebied van megasound-reiniging. Als reactie op de grote hoeveelheid hooggeconcentreerd, moeilijk te behandelen zwavelzuurafvalwater dat wordt geloosd tijdens het chipproductieproces, heeft Sheng Mei exclusief de eerste hogetemperatuur-zwavelzuurreinigingsapparatuur uitgevonden - UltracTahoe. Een kenmerk van deze apparatuur is het verminderen de hoeveelheid zwavelzuur die wordt gebruikt met 90%, waardoor de impact van de halfgeleiderindustrie op het milieu wordt verminderd.

Zoals weergegeven in de figuur, met het oog op het probleem dat de traditionele slotreinigingstechnologie met zich meebrengtis niet schoon genoeg in het proces onder 28 nm, UltracTahoe heeft een nieuwe generatie gecombineerde reinigingsapparatuur ontwikkeld door eerst de chip in de sleuf te reinigen en vervolgens het principe van reiniging uit één stuk, dat zwavelzuur kan hergebruiken en een reinigingseffect met hoge helderheid kan bereiken, waardoor de milieuvervuiling kan worden verminderd en enorme kosten kunnen worden bespaard.

Fountyl Technologies PTE Ltd,isgericht op de halfgeleiderindustrie, voornamelijk producten omvatten: Pinhouder, poreuze keramische boorhouder, keramisch uiteindeeffector, keramiekvierkante balk, keramische spindel, welkom bijcontact en onderhandeling!