Hjem
Materialer
0102030405
Silisiumkarbid brukt til korrosjonsbestandige deler, tetningsdeler, høytemperaturbestandige deler, styreskinner og firkantede bjelker
Silisiumkarbidkeramikk har utmerkede mekaniske egenskaper ved normal temperatur, slik som høy styrke, høy hardhet, høy elastisitetsmodul, utmerket høytemperaturstabilitet, slik som høy varmeledningsevne, lav termisk ekspansjonskoeffisient, og god spesifikk stivhet og optiske prosesseringsegenskaper, spesielt egnet for utarbeidelse av fotolitografimaskiner og annet integrert kretsutstyr for presisjons keramiske strukturelle deler. Slik som brukt i fotolitografimaskinen presisjonsbevegelig arbeidsstykkebord, skjelett, sugekopp, vannkjølt plate og presisjonsmålingsspeil, gitter og andre keramiske strukturelle deler, Fountyl nytt materiale etter år med teknisk forskning, løse den store størrelsen, tynn vegg, hule og andre komplekse strukturer av silisiumkarbid strukturelle deler presisjon behandling og forberedelse problemer, bryte gjennom den tekniske flaskehalsen av denne typen presisjon silisiumkarbid strukturelle deler forberedelse teknologi. Det har i stor grad fremmet lokaliseringen av viktige strukturelle deler som brukes i integrert kretsproduksjonsutstyr.
● Silisiumkarbidkeramikk inkluderer hovedsakelig trykkløst sintrende silisiumkarbid (SSiC), reaksjonssintret silisiumkarbid (RBSC), kjemisk dampavsetning silisiumkarbid (CVD-SiC).
● Silisiumkarbid har en rekke utmerkede egenskaper: superhard, slitestyrke, høy termisk ledningsevne og mekanisk styrke, lav termisk ekspansjonskoeffisient, utmerket termisk stabilitet, lav tetthet, høy spesifikk stivhet, ikke-magnetisk.
● For tiden brukes silisiumkarbidkeramikk i ulike bransjer som luftfart, romfart og kjernefysisk industri, for eksempel keramiske deler av avansert utstyr for silisiumkarbidkeramisk reflektor og IC-integrert kretsproduksjon, varmevekslere og skuddsikre materialer under ekstreme forhold.
Funksjoner av presisjons keramiske strukturelle deler for integrert kretsproduksjonsutstyr:
① Svært lett: For å redusere bevegelsestregheten, redusere motorbelastningen, forbedre bevegelseseffektiviteten, posisjoneringsnøyaktigheten og stabiliteten, bruker konstruksjonsdelene generelt lettvektsstrukturdesign, lettvektsraten er 60-80%, opptil 90%;
② Høy form-posisjonsnøyaktighet: For å oppnå bevegelse og posisjonering med høy presisjon, kreves det at konstruksjonsdelene har ekstremt høy form- og posisjonsnøyaktighet, planheten, parallelliteten og perpendikulæriteten må være mindre enn 1μm, og formen og posisjonsnøyaktigheten må være mindre enn 5μm.
③ Høy dimensjonsstabilitet: For å oppnå bevegelse og posisjonering med høy presisjon, kreves det at konstruksjonsdelene har ekstremt høy dimensjonsstabilitet, ikke produserer belastning, og høy varmeledningsevne, lav termisk ekspansjonskoeffisient, ikke lett å produsere store dimensjonsdeformasjoner ;
④ Rent og forurensningsfritt. De strukturelle delene er pålagt å ha ekstremt lav friksjonskoeffisient, lite kinetisk energitap under bevegelse og ingen slipepartikkelforurensning. Silisiumkarbidmateriale har en veldig høy elastisitetsmodul, termisk ledningsevne og lav termisk ekspansjonskoeffisient, er ikke lett å produsere bøyespenningsdeformasjon og termisk belastning, og har utmerket poleringsevne, kan maskineres til utmerket speil; Derfor har det store fordeler å bruke silisiumkarbid som presisjonsstrukturmateriale for nøkkelutstyret til integrerte kretser som fotolitografimaskin, silisiumkarbid har fordelene med god kjemisk stabilitet, høy mekanisk styrke, høy termisk ledningsevne og lav termisk ekspansjonskoeffisient, og kan brukes i høy temperatur, høyt trykk, korrosjon og stråling i ekstreme miljøer.
Silisiumkarbid har fordelene med god kjemisk stabilitet, høy mekanisk styrke, høy varmeledningsevne og lav termisk ekspansjonskoeffisient, og kan brukes i høy temperatur, høyt trykk, korrosjon og stråling i ekstreme miljøer.
Nøkkelutstyret til integrert krets krever at komponentmaterialene har egenskapene til lav vekt, høy styrke, høy termisk ledningsevne og lav termisk ekspansjonskoeffisient, og er tette og jevne uten defekter. Komponenter må ha ekstremt høy dimensjonsnøyaktighet og dimensjonsstabilitet for å sikre ultrapresisjon bevegelse og kontroll av utstyret. Silisiumkarbidkeramikk har en høy elastisitetsmodul og spesifikk stivhet, ikke lett å deformere, og har en høy termisk ledningsevne og lav termisk ekspansjonskoeffisient, høy termisk stabilitet, så silisiumkarbidkeramikk er et utmerket strukturelt materiale, for tiden i integrert kretsproduksjon av nøkkelutstyr for å oppnå et bredt spekter av bruksområder, som litografimaskin med arbeidsbord av silisiumkarbid, styreskinne, reflektor, keramisk chuck og keramisk endeeffektor.
Fountyl kan møte fotolitografimaskinen som representant for det integrerte kretsproduksjonsnøkkelutstyret med stor størrelse, hul tynnvegg, kompleks struktur, presisjonsteknologi for fremstilling av silisiumkarbidstrukturdeler, for eksempel: silisiumkarbidvakuumchuck, styreskinne, reflektor, arbeidsbord og en serie presisjonsstrukturelle silisiumkarbiddeler for fotolitografimaskin.
| Egenskaper | Fountyl | ||
| Tetthet (g/cm3) | 2,98-3,02 | ||
| Youngs modul (GPa) | 368 | ||
| Bøyestyrke (MPa) | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE（×10-6/℃） | 100 ℃ | 2,8×10-6 | |
| 400 ℃ | 3,6×10-6 | ||
| 800 ℃ | 4,2×10-6 | ||
| 1000 ℃ | 4,6×10-6 | ||
| Termisk ledningsevne (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| Poissons forhold | 0,187 | ||
| Skjærmodul (GPa) | 155 | ||