ଘର
ସାମଗ୍ରୀ
0102030405
ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧକ ଅଂଶ, ସିଲ୍ ଅଂଶ, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରତିରୋଧକ ଅଂଶ, ଗାଇଡ୍ ରେଲ୍ ଏବଂ ବର୍ଗ ବିମ୍ ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |
ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସିରାମିକ୍ସରେ ସାଧାରଣ ତାପମାତ୍ରାରେ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଗୁଣ ରହିଛି, ଯେପରିକି ଉଚ୍ଚ ଶକ୍ତି, ଉଚ୍ଚ କଠିନତା, ଉଚ୍ଚ ଇଲାଷ୍ଟିକ୍ ମଡ୍ୟୁଲସ୍, ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ସ୍ଥିରତା, ଯେପରିକି ଉଚ୍ଚ ତାପଜ ଚାଳନା, ନିମ୍ନ ତାପଜ ବିସ୍ତାର କୋଏଫିସିଣ୍ଟେଣ୍ଟ, ଏବଂ ଉତ୍ତମ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ କଠିନତା ଏବଂ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଗୁଣ, ବିଶେଷତ suitable ଉପଯୁକ୍ତ | ଫୋଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ ଏବଂ ସଠିକ୍ ସିରାମିକ୍ ଷ୍ଟ୍ରକଚରାଲ୍ ପାର୍ଟସ୍ ପାଇଁ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଇଣ୍ଟିଗ୍ରେଟେଡ୍ ସର୍କିଟ୍ ଉପକରଣର ପ୍ରସ୍ତୁତି ପାଇଁ | ଯେପରିକି ଫୋଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ ସଠିକତା ଚଳପ୍ରଚଳ କାର୍ଯ୍ୟ ଟେବୁଲ୍, କଙ୍କାଳ, ସକସନ୍ କପ୍, ପାଣି-ଥଣ୍ଡା ପ୍ଲେଟ୍ ଏବଂ ସଠିକତା ମାପ ଦର୍ପଣ, ଗ୍ରେଟିଂ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ସିରାମିକ୍ ଗଠନମୂଳକ ଅଂଶ, ବହୁ ବର୍ଷର ବ technical ଷୟିକ ଅନୁସନ୍ଧାନ ପରେ ଫାଉଣ୍ଟିଲ୍ ନୂତନ ପଦାର୍ଥ, ବଡ଼ ଆକାର, ପତଳା କାନ୍ଥ, ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଷ୍ଟ୍ରକଚରାଲ୍ ପାର୍ଟସ୍ ସଠିକ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଏବଂ ପ୍ରସ୍ତୁତି ସମସ୍ୟାଗୁଡିକର ଫାଙ୍କା ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଜଟିଳ ଗଠନ, ଏହି ପ୍ରକାରର ସଠିକତା ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଗଠନମୂଳକ ଅଂଶ ପ୍ରସ୍ତୁତି ପ୍ରଯୁକ୍ତିର ବ technical ଷୟିକ ପ୍ରତିବନ୍ଧକକୁ ଭାଙ୍ଗି | ଇଣ୍ଟିଗ୍ରେଟେଡ୍ ସର୍କିଟ୍ ଉତ୍ପାଦନ ଉପକରଣରେ ବ୍ୟବହୃତ ପ୍ରମୁଖ ଗଠନମୂଳକ ଅଂଶଗୁଡ଼ିକର ଲୋକାଲାଇଜେସନ୍ ଏହା ବହୁଗୁଣିତ କରିଛି |
● ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ସରେ ମୁଖ୍ୟତ pressure ଚାପହୀନ ସିଣ୍ଟରିଂ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (SSiC), ପ୍ରତିକ୍ରିୟା-ସିଣ୍ଟେଡ୍ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (RBSC), ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (CVD-SiC) ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ |
● ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ର ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରର ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଗୁଣ ରହିଛି: ସୁପର ହାର୍ଡ, ପୋଷାକ ପ୍ରତିରୋଧ, ଉଚ୍ଚ ତାପଜ ଚାଳନା ଏବଂ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଶକ୍ତି, ନିମ୍ନ ତାପଜ ବିସ୍ତାର କୋଏଫିସିଣ୍ଟେଣ୍ଟ, ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା, ନିମ୍ନ ଘନତା, ଉଚ୍ଚ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ କଠିନତା, ଚୁମ୍ବକୀୟ ନୁହେଁ |
● ବର୍ତ୍ତମାନ, ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ସ ବିଭିନ୍ନ ଶିଳ୍ପରେ ବିମାନ ଚଳାଚଳ, ଏରୋସ୍ପେସ୍ ଏବଂ ଆଣବିକ ଶିଳ୍ପରେ ପ୍ରୟୋଗ କରାଯାଏ, ଯେପରିକି ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ ପ୍ରତିଫଳକ ଏବଂ ଆଇସି ଇଣ୍ଟିଗ୍ରେଟେଡ୍ ସର୍କିଟ୍ ଉତ୍ପାଦନ, ଉତ୍ତାପ ଏକ୍ସଚେଞ୍ଜର ଏବଂ ବୁଲେଟପ୍ରୁଫ୍ ସାମଗ୍ରୀ ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ-ଉପକରଣର ସେରାମିକ୍ ଅଂଶ |
ଇଣ୍ଟିଗ୍ରେଟେଡ୍ ସର୍କିଟ୍ ଉତ୍ପାଦନ ଉପକରଣ ପାଇଁ ସଠିକ୍ ସିରାମିକ୍ ଗଠନମୂଳକ ଅଂଶଗୁଡ଼ିକର ବ Features ଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡିକ:
① ଅତ୍ୟଧିକ ହାଲୁକା: ଗତି ନିଷ୍କ୍ରିୟତା ହ୍ରାସ କରିବା, ମୋଟର ଭାରକୁ ହ୍ରାସ କରିବା, ଗତି ଦକ୍ଷତା, ସ୍ଥିତିର ସଠିକତା ଏବଂ ସ୍ଥିରତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିବା ପାଇଁ, ଗଠନମୂଳକ ଅଂଶଗୁଡ଼ିକ ସାଧାରଣତ light ହାଲୁକା ସଂରଚନା ଡିଜାଇନ୍ ବ୍ୟବହାର କରନ୍ତି, ହାଲୁକା ଓଜନ 60-80%, 90% ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ;
② ଉଚ୍ଚ ଫର୍ମ-ସ୍ଥିତିର ସଠିକତା: ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ଗତି ଏବଂ ପୋଜିସନ୍ ହାସଲ କରିବାକୁ, ଗଠନମୂଳକ ଅଂଶଗୁଡ଼ିକରେ ଅତ୍ୟଧିକ ଉଚ୍ଚ ଫର୍ମ ଏବଂ ସ୍ଥିତିର ସଠିକତା ରହିବା ଆବଶ୍ୟକ, ସମତଳତା, ସମାନ୍ତରାଳତା ଏବଂ ପର୍ପେଣ୍ଡିକୁଲାରାଇଟି 1μm ରୁ କମ୍ ହେବା ଆବଶ୍ୟକ, ଏବଂ ଫର୍ମ ଏବଂ ଅବସ୍ଥାନର ସଠିକତା 5μm ରୁ କମ୍ ହେବା ଆବଶ୍ୟକ |
③ ଉଚ୍ଚ ଡାଇମେନ୍ସନାଲ୍ ସ୍ଥିରତା: ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ଗତି ଏବଂ ପୋଜିସନ୍ ହାସଲ କରିବାକୁ, ଗଠନମୂଳକ ଅଂଶଗୁଡିକ ଅତ୍ୟଧିକ ଉଚ୍ଚ ଡାଇମେନ୍ସନାଲ୍ ସ୍ଥିରତା ରହିବା ଆବଶ୍ୟକ, ଷ୍ଟ୍ରେନ୍ ଉତ୍ପାଦନ ନକରିବା, ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ଥର୍ମାଲ୍ କଣ୍ଡକ୍ଟିଭିଟି, କମ୍ ଥର୍ମାଲ୍ ବିସ୍ତାର କୋଏଫିସିଏଣ୍ଟ୍, ବଡ଼ ଆକାରର ବିକୃତି ଉତ୍ପାଦନ କରିବା ସହଜ ନୁହେଁ | ;
An ପରିଷ୍କାର ଏବଂ ପ୍ରଦୂଷଣମୁକ୍ତ | ଗଠନମୂଳକ ଅଂଶଗୁଡ଼ିକରେ ଅତ୍ୟଧିକ କମ୍ ଘର୍ଷଣ କୋଏଫିସିଣ୍ଟେଣ୍ଟ, ଗତି ସମୟରେ ଛୋଟ ଗତିଜ ଶକ୍ତି କ୍ଷୟ ହେବା ଏବଂ କଣିକା ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ପ୍ରଦୂଷଣ ରହିବା ଆବଶ୍ୟକ | ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ପଦାର୍ଥରେ ବହୁତ ଉଚ୍ଚ ଇଲାଷ୍ଟିକ୍ ମଡ୍ୟୁଲସ୍, ଥର୍ମାଲ୍ କଣ୍ଡକ୍ଟିଭିଟି ଏବଂ କମ୍ ଥର୍ମାଲ୍ ବିସ୍ତାର କୋଏଫିସିଣ୍ଟେଣ୍ଟ୍ ଅଛି, ନନ୍ଦିଙ୍ଗ୍ ଷ୍ଟ୍ରେସ୍ ଡିଫର୍ମେସନ୍ ଏବଂ ଥର୍ମାଲ୍ ଷ୍ଟ୍ରେନ୍ ଉତ୍ପାଦନ କରିବା ସହଜ ନୁହେଁ, ଏବଂ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ପଲିସିବିଲିଟି ଅଛି, ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଦର୍ପଣରେ ଯନ୍ତ୍ର କରାଯାଇପାରିବ | ତେଣୁ, ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍କୁ ଫୋଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ ଭଳି ଇଣ୍ଟିଗ୍ରେଟେଡ୍ ସର୍କିଟ୍ ର ମୁଖ୍ୟ ଯନ୍ତ୍ରପାତି ପାଇଁ ସଠିକ୍ ଗଠନମୂଳକ ସାମଗ୍ରୀ ଭାବରେ ବ୍ୟବହାର କରିବାର ବହୁତ ବଡ଼ ସୁବିଧା ଅଛି, ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଭଲ ରାସାୟନିକ ସ୍ଥିରତା, ଉଚ୍ଚ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଶକ୍ତି, ଉଚ୍ଚ ତାପଜ ଚାଳନା ଏବଂ ନିମ୍ନ ତାପଜ ବିସ୍ତାର କୋଏଫିସିଣ୍ଟେଣ୍ଟ, ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା, ଉଚ୍ଚ ଚାପ, କ୍ଷୟ ଏବଂ ଚରମ ପରିବେଶର ବିକିରଣରେ ପ୍ରୟୋଗ କରାଯାଇପାରେ |
ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡରେ ଉତ୍ତମ ରାସାୟନିକ ସ୍ଥିରତା, ଉଚ୍ଚ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଶକ୍ତି, ଉଚ୍ଚ ଥର୍ମାଲ୍ କଣ୍ଡକ୍ଟିଭିଟି ଏବଂ କମ୍ ଥର୍ମାଲ୍ ବିସ୍ତାର କୋଏଫିସିଏଣ୍ଟ୍ ର ସୁବିଧା ରହିଛି, ଏବଂ ଏହା ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା, ଉଚ୍ଚ ଚାପ, କ୍ଷୟ ଏବଂ ଚରମ ପରିବେଶର ବିକିରଣରେ ପ୍ରୟୋଗ କରାଯାଇପାରେ |
ଇଣ୍ଟିଗ୍ରେଟେଡ୍ ସର୍କିଟ୍ ର ମୁଖ୍ୟ ଯନ୍ତ୍ରପାତି ଆବଶ୍ୟକ କରେ ଯେ ଉପାଦାନ ସାମଗ୍ରୀଗୁଡ଼ିକରେ ହାଲୁକା ଓଜନ, ଉଚ୍ଚ ଶକ୍ତି, ଉଚ୍ଚ ତାପଜ ଚାଳନା ଏବଂ ନିମ୍ନ ତାପଜ ବିସ୍ତାର କୋଏଫିସିଏଣ୍ଟନ୍ ର ଗୁଣ ରହିଛି, ଏବଂ ତ୍ରୁଟି ବିନା ଘନ ଏବଂ ସମାନ | ଅଲ୍ଟ୍ରା-ସଠିକତା ଗତି ଏବଂ ଯନ୍ତ୍ରର ନିୟନ୍ତ୍ରଣକୁ ନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକରେ ଅତ୍ୟଧିକ ଉଚ୍ଚତର ସଠିକତା ଏବଂ ଡାଇମେନ୍ସନାଲ୍ ସ୍ଥିରତା ରହିବା ଆବଶ୍ୟକ | ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ସରେ ଏକ ଉଚ୍ଚ ଇଲାଷ୍ଟିକ୍ ମଡ୍ୟୁଲସ୍ ଏବଂ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ କଠିନତା ଅଛି, ଯାହା ବିକୃତ ହେବା ସହଜ ନୁହେଁ, ଏବଂ ଏହାର ଉଚ୍ଚ ତାପଜ ଚାଳନା ଏବଂ ନିମ୍ନ ତାପଜ ବିସ୍ତାର କୋଏଫିସିଣ୍ଟେଣ୍ଟ, ଉଚ୍ଚ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା ଅଛି, ତେଣୁ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସିରାମିକ୍ସ ଏକ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଗଠନମୂଳକ ସାମଗ୍ରୀ, ସମ୍ପ୍ରତି ଇଣ୍ଟିଗ୍ରେଟେଡ୍ ସର୍କିଟ୍ ଉତ୍ପାଦନରେ | ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରର ପ୍ରୟୋଗ ପାଇବା ପାଇଁ ମୁଖ୍ୟ ଉପକରଣ, ଯେପରିକି ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ୱାର୍କିଂ ଟେବୁଲ୍ ସହିତ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍, ଗାଇଡ୍ ରେଳ, ପ୍ରତିଫଳକ, ସେରାମିକ୍ ଚକ୍, ଏବଂ ସେରାମିକ୍ ଏଣ୍ଡ୍ ଇଫେକ୍ଟର୍ |
ବୃହତ ଆକାର, ଫାଙ୍କା ପତଳା କାନ୍ଥ, ଜଟିଳ ଗଠନ, ସଠିକତା ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଷ୍ଟ୍ରକଚରାଲ୍ ପାର୍ଟସ୍ ପ୍ରସ୍ତୁତି ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ସହିତ ଇଣ୍ଟିଗ୍ରେଟେଡ୍ ସର୍କିଟ୍ ଉତ୍ପାଦନ ଉପକରଣର ପ୍ରତିନିଧୀ ଭାବରେ ଫାଉଣ୍ଟିଲ୍ ଫଟୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍କୁ ଭେଟିପାରେ, ଯେପରିକି: ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚକ୍, ଗାଇଡ୍ ରେଳ, ପ୍ରତିଫଳକ, କାର୍ଯ୍ୟ ଟେବୁଲ୍ | ଏବଂ ଫୋଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ ପାଇଁ ସଠିକ୍ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଗଠନମୂଳକ ଅଂଶଗୁଡ଼ିକର ଏକ କ୍ରମ |
| ଗୁଣଧର୍ମ | Ount ରଣା | ||
| ଘନତା （g / cm3) | 2.98-3.02 | ||
| ୟଙ୍ଗର ମଡ୍ୟୁଲସ୍ （GPa） | 368 | ||
| ନମନୀୟ ଶକ୍ତି （MPa） | 334 | ||
| ୱାଇବୁଲ୍ | | 8.35 | ||
| CTE （× 10-6 / ℃） | 100 ℃ | 2.8 × 10-6 | |
| 400 ℃ | 3.6 × 10-6 | ||
| 800 ℃ | 4.2 × 10-6 | ||
| 1000 ℃ | 4.6 × 10-6 | ||
| ଥର୍ମାଲ୍ କଣ୍ଡକ୍ଟିଭିଟି (W / m · k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| ପଏସନ୍ ଅନୁପାତ | | 0.187 | ||
| ଶିଅର ମଡ୍ୟୁଲସ୍ （GPa） | 155 | ||