Historia przedsiębiorczości ASML: Droga do rozwoju dla giganta litografii

Firma ASML została założona 1 kwietnia 1984 roku jako ASM Lithography. Misją tej spółki joint venture pomiędzy Philipsem i ASM International jest komercjalizacja PAS 2000, steppera waflowego opracowanego przez firmę Philips.

1, Dkompleks przemysłowy

W latach sześćdziesiątych i siedemdziesiątych producenci chipów zbudowali we własnym zakresie zdecydowaną większość łańcucha wartości półprzewodników – wszystkie etapy potrzebne do wytworzenia gotowego mikrochipu. Następnie, pod koniec lat 70. i na początku 80., technologia produkcji półprzewodników gwałtownie wzrosła pod względem rozmiaru i złożoności. Rozwój ten doprowadził do podziału pracy w łańcuchu wartości półprzewodników. Pojawił się przemysł sprzętu półprzewodnikowego, który dostarcza gotowe, najwyższej klasy rozwiązania. Dzięki tej gotowej możliwości producenci i użytkownicy chipów nie mają już sensu opracowywać własnego sprzętu do ich wytwarzania.

Dostawcy sprzętu specjalistycznego są szczególnie ważni przy opracowywaniu złożonych systemów litograficznych do drukowania wzorów na mikrochipach. Udoskonalanie tych systemów, aby mogły drukować mniejsze elementy, jest kluczem do udoskonalenia prawa Moore'a. Dla producentów chipów więcej tranzystorów oznacza uzyskanie większej mocy obliczeniowej przy niższych kosztach.

2, prototyp PAS 2000

To właśnie w tym kontekście firma Philips zaczęła opracowywać własny stepper waflowy do modelowania płytek krzemowych. Prototypy Silicon Repeater (SIRE) I i II zostały opracowane przez Philips Research Center. Z tych prototypów badawczych narodził się Philips Automated Stepper 2000.

W Centrum Badawczym Philipsa, gdzie oddział Philipsa koncentruje się przede wszystkim na badaniach podstawowych, steppery waflowe są czymś w rodzaju anomalii. Popyt rynkowy w coraz większym stopniu napędza badania i rozwój przedsiębiorstw, a sprzęt do produkcji inżynieryjnej jest coraz częściej wykorzystywany. Począwszy od 1978 roku, firma Philips Science & Industry (S&I) promowała wysiłki na rzecz komercjalizacji pod nazwą PAS2000.

3.Polityka przemysłowa, inwestorzy i przedsiębiorcy

Począwszy od końca lat 70. pod kierunkiem Komisji Europejskiej rządy Europy Zachodniej dokonały zmiany polityki przemysłowej. Koncentrują się na innowacjach i współpracy, skupiając się na branżach wschodzących, zwłaszcza szybko rozwijającym się przemyśle półprzewodników i mikroelektroniki. Polityka ta to nowy sposób na pobudzenie aktywności gospodarczej i, jeśli to możliwe, ożywienie borykających się z trudnościami konglomeratów, z których wiele (w tym Philips) zaczęło się rozpadać.

Na wniosek komisji Philips i inne firmy wyraziły znaczenie tych branż dla swoich rządów. Po otrzymaniu tych informacji od największej europejskiej firmy elektronicznej rząd holenderski lepiej rozeznał się w temacie i poinformował o dalszych działaniach.

Rosnące koszty, globalna konkurencja i postęp technologiczny zmuszają duże firmy do zbycia działalności niezwiązanej z podstawową działalnością i zmiany kierunku swojej działalności. W przypadku firmy Philips jednym z takich działań był stepper waflowy. Jednocześnie wschodzące firmy kapitału wysokiego ryzyka oraz start-upy oparte na przedsiębiorczości i przedsiębiorstwa działające na dużą skalę zapewniają nowy paradygmat wzrostu przemysłowego.

4. Presja na postęp

Na początku 1982 roku ambicje firmy Philips w zakresie litografii stanęły przed poważnym wyzwaniem. Potrzebują więcej zasobów inżynieryjnych. Chociaż zwrócili się do IBM, zewnętrznego klienta w sprawie narzędzia ewaluacyjnego, istniała duża niepewność co do tego, czy zostanie ono dostarczone na czas latem 1982 roku. Inżynierowie z Centrum Badawczego Philipsa natychmiast przybyli na ratunek. Kierownicy S&I często odwiedzają Hagę i Brukselę, aby uzyskać dodatkowe fundusze od rządu holenderskiego i Komisji Europejskiej. Pod presją czasu, pieniędzy i holenderskiego Ministerstwa Gospodarki firma Philips S&I rozpoczęła poszukiwania partnera do swojego steppera waflowego. Doprowadziło to do wstępnych rozmów z Cobilt, firmą produkującą nakładki i prowadnice masek, a następnie do rozmów z liderem rynku litografii, Perkinem Elmerem.

W tym samym czasie rozpoczął się trójstronny dialog pomiędzy holenderskim Ministerstwem Gospodarki, firmą Philips, a rozwijającą się holenderską firmą ASM International (w skrócie ASM). W kontekście nowatorskiego projektu Komisji Europejskiej dotyczącego mikroelektroniki ESPRIT producenci chipów wyrazili zaniepokojenie faktem, że polegają na sprzęcie amerykańskim. Wychodząc naprzeciw potrzebom branży, ministerstwo i sam Arthur Del Prado zaproponowali ASM jako potencjalne rozwiązanie.

5,Szukam partnerstwa

Philips uznał jednak pozycję ASM za zbyt niską i faworyzował Perkina Elmera. Mimo że Del Prado ma ducha przedsiębiorczości i odnosi sukcesy, kadra kierownicza Philipsa nadal postrzega ASM jako nowicjusza. Perkin Elmer to duża i zróżnicowana firma posiadająca dużą bazę instalacyjną narzędzi litograficznych, została uznana za silniejszego partnera. Zainteresowanie jest wzajemne. We wczesnych latach osiemdziesiątych steppery waflowe zapewniały większą kontrolę nad najmniejszymi rozmiarami elementów przy akceptowalnej wydajności niż Micraligns firmy Perkin Elmer. Amerykańska firma dążyła do szybkiego umocnienia swojej pozycji rynkowej w obliczu zwiększonej konkurencji.

Perkin Elmer rozważa współpracę z Philips S&I lub start-upem Censor z siedzibą w Liechtensteinie. Wybrali Philipsa, powołując się na zasoby firmy i zaawansowany charakter PAS 2000. W proponowanym wspólnym przedsięwzięciu Perkin Elmer będzie odgrywał wiodącą rolę i będzie odpowiedzialny za sprzedaż i serwis. Philips wniesie wkład w technologię i możliwości produkcyjne. Philips wahał się jednak, czy udzielić dostępu do swoich wewnętrznych zasobów, takich jak podległe mu Centrum Badawcze Philips. To wahanie spowodowało, że negocjacje były zbyt długie i ostatecznie Perkin Elmer połączył siły z Cenzorem.

6, pilność projektu

W roku 1983 zespół Philipsa S&I zajmujący się modułami krokowymi waflowymi, składający się z około 50 inżynierów, stanął w obliczu niepewności. Będą potrzebować około 120 milionów guldenów (około 245 milionów euro przy obecnym poziomie cen), aby zmodernizować, wyprodukować i sprzedać maszynę. Pomimo usilnych i wytrwałych wysiłków Troosta, w tym poszukiwania partnerstwa z firmami Varian i Panasonic, zespół wafer Stepper spóźnił się. Pilność jest wyraźna.

7, Początek ASML

W dniu 5 września 1983 r. Philips i ASM ogłosiły zamiar utworzenia spółki joint venture. W ciągu następnych kilku miesięcy dopracowywali szczegóły partnerstwa. Brano pod uwagę akcje Ministerstwa Gospodarki lub jego wehikułów inwestycyjnych. Prowadzono negocjacje w sprawie wejścia do Centrum Badawczego Philipsa. Wyszczególniono wkłady niepieniężne i pieniężne. Opracowano plan zwrotu z inwestycji. Kierownictwo przejął ambitny i wizjonerski nowy dyrektor generalny, Gjalt Smit. Co ważne, 50 obecnym pracownikom Philips S&I otrzymało atrakcyjne warunki zatrudnienia. Ponieważ jednak przez całe życie pracowali w Philipsie, postrzegają wspólne przedsięwzięcie jako formę zbycia udziałów na rzecz Philipsa. Ludzie niechętnie pokładają wiarę w start-upie, który nie ma dostępu do rynku i którego kluczowe technologie wymagają przeprojektowania. mimo to grupa nadal liczy 47 sygnatariuszy.

Od początku ASML był postrzegany jako ucieleśnienie przedsiębiorczości opartej na innowacjach i oczekiwano, że zabezpieczy przyszły potencjał gospodarczy Holandii. Młode firmy z zapałem i entuzjazmem wyruszają w niepewną, ale pełną nadziei przyszłość. Przeprowadzka do Veldhoven może być końcem tej historii, ale dla ASML to dopiero początek. Te początki w zewnętrznej szopie firmy Philips położyły podwaliny pod rozwój ASML i przekształcenie się w firmę, którą znamy dzisiaj. Zespół jest kreatywny i zdeterminowany, aby podążać za innowacjami technologicznymi i przesuwać granice tego, co jest możliwe.

8. Skromne początki

W 1988 roku, po założeniu przez firmę Philips odlewni joint venture na Tajwanie, rozpoczęliśmy wchodzenie na rynek azjatycki. W Stanach Zjednoczonych liczba pracowników wzrosła z kilku do 84 w pięciu lokalizacjach. Jednak na wysoce konkurencyjnym rynku z wieloma dostawcami ta mało znana mała firma z Holandii nie mogła się przebić.

ASML miał zbyt mało klientów, aby być samowystarczalnym. Co gorsza, akcjonariusz ASMI, nie mogąc utrzymać wysokiego poziomu inwestycji przy niewielkim zwrocie, zdecydował się wycofać, podczas gdy sytuacja w światowym przemyśle elektronicznym uległa pogorszeniu, a Philips ogłosił program masowych cięć kosztów. Przetrwanie naszej młodej, pochłaniającej pieniądze firmy zajmującej się litografią wisi na włosku. Kierując się silną wiarą w ciągłe badania i rozwój oraz pilną potrzebą wskazówek dotyczących finansowania, kierownictwo ASML skontaktowało się z członkiem zarządu firmy Philips, Henkiem Bodtem, który przekonał swojego kolegę do ostatecznego wsparcia.

9. Od podania ręki po pierwszą ofertę publiczną

Inwestycja została dobrze wykorzystana. W ciągu roku wprowadziliśmy na rynek naszą przełomową platformę PAS 5500. Dzięki wiodącej w branży produktywności i rozdzielczości, PAS 5500 przyciągnął kluczowych klientów, których potrzebuje firma ASML, aby stała się rentowna. To pierwszy krok w stronę dojrzałości.

PAS 5500 to platforma, z której znany jest ASML. Przed wprowadzeniem na rynek ASML zajmował trzecie miejsce na rynku litografii, za gigantami Nikonem i Canonem. Jednak sukces platformy PAS 5500 szybko wysunął firmę ASML na drugie miejsce i przygotował grunt pod jej rozwój jako światowego lidera w dziedzinie litografii. PAS 5500 wyrósł z serii systemów zainicjowanych przez badaczy firmy Philips w latach 70. XX wieku. Sama nazwa platformy odzwierciedla jej dziedzictwo i naszą wieloletnią współpracę z firmą Philips: Philips Automatic Stepper (PAS).

W 1995 roku ASML stała się w pełni niezależną spółką publiczną, notowaną na giełdach w Amsterdamie i Nowym Jorku. Philips sprzedał połowę swoich akcji w pierwszej ofercie publicznej, a resztę w kolejnych latach. Pierwsza oferta publiczna zapewniła fundusze na dalszy rozwój naszego rozwoju, a także rozbudowaliśmy nasz ośrodek badawczo-rozwojowy i produkcyjny w Veldhoven De Run, który później stał się naszą nową siedzibą główną.

10,TWINSCAN i technologia zanurzeniowa utorowały drogę

W 2001 roku wprowadziliśmy na rynek system TWINSCAN i jego rewolucyjną technologię dwustopniową. Systemy te narażają kolejną płytkę podczas pomiaru i wyrównywania kolejnej, maksymalizując produktywność i dokładność systemu, zwiększając w ten sposób wartość własności dla klienta. W tym samym roku sfinalizowaliśmy przejęcie Silicon Valley Group, jeszcze bardziej zwiększając możliwości ASML w zakresie rozwoju technologii półprzewodników. TWINSCAN AT:1150i zadebiutował jako pierwsza maszyna zanurzeniowa w 2003 r., następnie TWINSCAN XT:1250i, XT:1400i i pierwsza masowo produkowana maszyna zanurzeniowa XT:1700i w 2006 r.

W 2007 roku wprowadziliśmy system immersyjny TWINSCAN XT:1900i z aperturą numeryczną 1,35, co stanowi najwyższą specyfikację w branży. Dzięki tej nowej technologii umożliwiamy klientom wytwarzanie mniejszych chipów poprzez projekcję światła przez warstwę wody pomiędzy soczewką a płytką. Później w 2007 roku przejęliśmy firmę BRION, wiodącego dostawcę rozwiązań w zakresie projektowania półprzewodników i optymalizacji produkcji. To był początek naszej strategii „litografii holistycznej”. Łączymy naszą wiedzę na temat systemów litograficznych z umiejętnościami optymalizacji procesów wytwarzania chipów przed, w trakcie i po litografii. Kolejnym kluczowym produktem na wczesnych etapach naszej ogólnej strategii litograficznej jest YieldStar, nasz system metrologiczny, który zapewnia pomiary i kalibrację w czasie rzeczywistym podczas procesu produkcji chipów. Pierwsza maszyna YieldStar (250D) została dostarczona klientom w 2008 roku.

11,Zmień ponownie czasy z EUV

Na początku 2020 r. EUV wszedł do masowej produkcji i świętowaliśmy wysyłkę naszego setnego systemu EUV. Ale rok 2020 jest ważny także z innego powodu: pandemii Covid-19. Nasze zespoły na całym świecie udowodniły, że potrafią się dostosowywać i improwizować, wspierając klientów zdalnie na nowe, innowacyjne sposoby, wykorzystując swoją wiedzę specjalistyczną do reagowania na pandemie i wychodząc naprzeciw lokalnym społecznościom. udowodnić, że potrafią się adaptować i improwizować.

W listopadzie 2020 roku sfinalizowano przejęcie Grupy Berliner Glas i oficjalnie powitaliśmy zespół Berliner Glas w rodzinie ASML. W kwietniu 2021 roku dział szkła technicznego Grupy został wydzielony do Grupy Glas Trosch.

W 2023 roku wprowadziliśmy na rynek pierwszy system EUV nowej generacji z aperturą numeryczną do 0,55 (zwaną „wysoką aperturą numeryczną”). Platforma o nazwie EXE charakteryzuje się nowatorską konstrukcją optyczną i znacznie szybszą platformą.

Patrząc w przyszłość, ASML będzie nadal zdziałać cuda. Fountyl Technologies PTE Ltd koncentruje się na przemyśle produkcji półprzewodników, a główne produkty to: uchwyt kołkowy, porowaty uchwyt ceramiczny, ceramiczny efektor końcowy, ceramiczna belka kwadratowa, wrzeciono ceramiczne, zapraszamy do kontaktu i negocjacji!