کور
مواد
سیلیکون کاربایډ د زنګونو مقاومت برخو ، سیل برخو ، د تودوخې لوړ مقاومت لرونکي برخو ، لارښود ریلونو او مربع بیمونو لپاره کارول کیږي
د سیلیکون کاربایډ سیرامیکونه په نورمال تودوخې کې عالي میخانیکي ملکیتونه لري ، لکه لوړ ځواک ، لوړ سختۍ ، لوړ لچک لرونکي ماډلس ، د تودوخې عالي ثبات ، لکه لوړ حرارتي چالکتیا ، د تودوخې ټیټ توسع کوفییفیټ ، او ښه ځانګړي سختۍ او نظری پروسس ملکیتونه ، په ځانګړي توګه مناسب د دقیق سیرامیک ساختماني برخو لپاره د فوتوګرافي ماشین او نورو مدغم سرکټ تجهیزاتو چمتو کولو لپاره. لکه د فوټولیتوګرافي ماشین دقیق حرکت کولو ورک پیس میز کې کارول کیږي ، کنکال ، سکشن کپ ، د اوبو یخ شوي پلیټ او دقیق اندازه کولو عکس ، ګرینګ او نور سیرامیک ساختماني برخې ، د کلونو تخنیکي څیړنو وروسته د فوټیل نوي مواد ، لوی اندازه حل کول ، پتلی دیوال ، د سیلیکون کاربایډ ساختماني برخو خاکي او نور پیچلي جوړښت د دقیق پروسس کولو او چمتو کولو ستونزې ، د دې ډول دقیق سیلیکون کاربایډ ساختماني برخو چمتو کولو ټیکنالوژۍ تخنیکي خنډ ماتوي. دې د مدغم سرکټ تولید تجهیزاتو کې کارول شوي کلیدي ساختماني برخو ځایی کولو ته خورا وده ورکړې.
● د سیلیکون کاربایډ سیرامیکونه په عمده ډول د فشار پرته sintering سیلیکون کاربایډ (SSiC)، عکس العمل sintered سیلیکون کاربایډ (RBSC)، د کیمیاوي بخار ډیپوزیشن سیلیکون کاربایډ (CVD-SiC) شامل دي.
● سیلیکون کاربایډ مختلف ډوله غوره ځانګړتیاوې لري: خورا سخت، د لباس مقاومت، لوړ حرارتي چالکتیا او میخانیکي ځواک، د تودوخې توسع کموالی، غوره حرارتي ثبات، ټیټ کثافت، لوړ مشخص سختۍ، غیر مقناطیسي.
● اوس مهال، د سیلیکون کاربایډ سیرامیکونه په مختلفو صنعتونو کې پلي کیږي لکه د هوايي چلند، فضا او اټومي صنعت، لکه د سیلیکون کاربایډ سیرامیک عکاس لپاره د لوړ پای تجهیزاتو سیرامیک برخې او د IC مدغم سرکټ تولید، د تودوخې ایکسچینجرونه او د سختو شرایطو لاندې د بلټ پروف مواد.
د مدغم سرکټ تولید تجهیزاتو لپاره د دقیق سیرامیک ساختماني برخو ځانګړتیاوې:
① خورا سپک وزن: د حرکت انرتیا کمولو لپاره ، د موټرو بار کم کړئ ، د حرکت موثریت ښه کړئ ، د موقعیت دقیقیت او ثبات ته وده ورکړئ ، ساختماني برخې عموما د سپک وزن جوړښت ډیزاین کاروي ، د سپک وزن کچه 60-80٪ ده ، تر 90٪ پورې؛
② د لوړ شکل موقعیت دقت: د لوړ دقیق حرکت او موقعیت ترلاسه کولو لپاره ، ساختماني برخې ته اړتیا ده چې خورا لوړ شکل او موقعیت دقت ولري ، فلیټ ، موازي او عمودی والي ته اړتیا ده چې له 1μm څخه کم وي ، او شکل او د موقعیت دقت باید د 5μm څخه کم وي.
③ لوړ ابعادي ثبات: د لوړ دقیق حرکت او موقعیت ترلاسه کولو لپاره ، ساختماني برخې خورا لوړ ابعادي ثبات ته اړتیا لري ، نه فشار تولیدوي ، او لوړ حرارتي چالکتیا ، د تودوخې توسع کموالی ، د لوی ابعادي تخریب تولید اسانه ندي. ;
④ پاک او له ککړتیا څخه پاک. ساختماني برخې ته اړتیا ده چې خورا ټیټ رګونه ضخامت ولري ، د حرکت په جریان کې د متحرک انرژي کوچنۍ ضایع ، او د پیسیدو ذرات ککړتیا نلري. د سیلیکون کاربایډ مواد خورا لوړ لچک لرونکي ماډل، حرارتي چالکتیا او د تودوخې توسع کموالی لري، د فشار فشار او حرارتي فشار تولید کول اسانه ندي، او غوره پالش وړتیا لري، په غوره عکس کې ماشین کیدی شي؛ له همدې امله، دا د سیلیکون کاربایډ د دقیق ساختماني موادو په توګه د مدغم سرکیټونو د کلیدي تجهیزاتو لکه د فوټولیتوګرافي ماشین لپاره د کارولو لپاره عالي ګټې لري ، سیلیکون کاربایډ د ښه کیمیاوي ثبات ګټې لري ، لوړ میخانیکي ځواک ، لوړ حرارتي چالکتیا او د ټیټ حرارتي توسع کوفينټ ، او په لوړه تودوخه، لوړ فشار، ککړتیا او د سخت چاپیریال وړانګو کې کارول کیدی شي.
سیلیکون کاربایډ د ښه کیمیاوي ثبات ګټې لري، لوړ میخانیکي ځواک، لوړ حرارتي چالکتیا او د تودوخې توسع کولو کموالی، او د لوړې تودوخې، لوړ فشار، د ککړتیا او د سخت چاپیریال وړانګو کې کارول کیدی شي.
د مدغم سرکیټ کلیدي تجهیزاتو ته اړتیا ده چې د اجزاو توکي د سپک وزن ، لوړ ځواک ، لوړ حرارتي چالکتیا او ټیټ حرارتي توسعې کثافاتو ځانګړتیاوې ولري او پرته له نیمګړتیاو ډک او یونیفورم وي. اجزاو ته اړتیا ده چې خورا لوړ ابعادي دقت او ابعادي ثبات ولري ترڅو د تجهیزاتو خورا دقیق حرکت او کنټرول ډاډمن کړي. د سیلیکون کاربایډ سیرامیکونه لوړ لچک لرونکي ماډلونه او ځانګړي سختۍ لري ، د خرابولو لپاره اسانه ندي ، او د لوړ حرارتي چالکتیا او ټیټ حرارتي توسع کوفیفیټ ، لوړ حرارتي ثبات لري ، نو د سیلیکون کاربایډ سیرامیکونه یو عالي ساختماني توکي دي ، دا مهال د مدغم سرکټ تولید کې. د غوښتنلیکونو پراخه لړۍ ترلاسه کولو لپاره کلیدي تجهیزات ، لکه د سیلیکون کاربایډ کاري میز سره د لیتوګرافي ماشین ، لارښود ریل ، انعکاس کونکی ، سیرامیک چک ، او د سیرامیک پای تاثیر کونکي.
فاونټیل کولی شي د فوټولیتوګرافي ماشین سره د مدغم سرکټ تولید کلیدي تجهیزاتو نمایندګي په توګه د لوی اندازې سره پوره کړي ، خټکي پتلی دیوال ، پیچلي جوړښت ، دقیق سیلیکون کاربایډ ساختماني برخو چمتو کولو ټیکنالوژي ، لکه: سیلیکون کاربایډ ویکیوم چک ، لارښود ریل ، عکاس ، کاري میز او د فوتوګرافي ماشین لپاره د دقیق سیلیکون کاربایډ ساختماني برخو لړۍ.
| ملکیتونه | فوټیل | ||
| کثافت (g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| د ځوان ماډل (GPa) | ۳۶۸ | ||
| انعطاف ځواک (MPa) | ۳۳۴ | ||
| ویبل | ۸.۳۵ | ||
| CTE (×10-6/℃) | 100℃ | 2.8×10-6 | |
| 400℃ | 3.6×10-6 | ||
| 800℃ | 4.2×10-6 | ||
| 1000℃ | 4.6×10-6 | ||
| حرارتي چلښت (W/m·k) (20ºC) | 160-180 | ||
| د پویسون تناسب | 0.187 | ||
| د شییر ماډلس (GPa) | ۱۵۵ | ||