Важный элемент в производстве чипов — плазма.

Плазма была впервые обнаружена Уильямом Круксом в 1879 году и названа «плазмой» Ирвингом Ленгмюром в 1929 году. Применение плазмы в производстве чипов очень распространено и важно. Можно сказать, что без плазмы производство чипов было бы невозможно. Плазма почти всегда используется при сухом травлении, PVD, CVD, модификации поверхности пластин и литографии.

Что такое плазма?

Плазма – четвертое состояние вещества. Хотя у большинства людей сложилось впечатление, что материя имеет только три состояния (твердое, жидкое и газообразное), более 99% наблюдаемой материи во Вселенной находится в четвертом состоянии, например, в звездах, туманностях и межзвездной среде. плазма также присутствует на Земле, например, в ионосфере и магнитосфере над Землей. Плазма состоит из ионизированных газов, содержащих примерно равное количество электронов и ионов, образующихся при нагревании газов до высоких температур, бомбардировке их электрическими разрядами или воздействии ионизирующего излучения. Поскольку на плазму действуют силы внешних электромагнитных полей или полей, создаваемых токами и зарядами внутри плазмы, ее динамика сильно отличается от динамики обычных газов.

Что такое ионизация?

Ионизация газа — это процесс удаления электронов из атомов или молекул газа. При ионизации газа внешняя энергия (например, электрические поля, световое излучение или высокие температуры) обеспечивает достаточно энергии, чтобы заставить электроны в молекулах или атомах газа отрываться от своих атомных или молекулярных орбиталей с образованием заряженных ионов и свободных электронов. Ионизация газа является основой образования плазмы. Как только происходит ионизация газа, это приводит к ионизации атомов или молекул и созданию большого количества свободных электронов и ионов, а когда ионизируется достаточное количество атомов, чтобы существенно повлиять на электрические свойства газа, он становится плазмой. Плазма реагирует и генерирует электромагнитную силу.

Состав плазмы

Плазма представляет собой газовую смесь ионов, электронов, свободных радикалов, нейтральных атомов и молекул. Ионы в плазме — это атомы или молекулы с положительным или отрицательным зарядом. Они образуются в результате потери или приобретения одного или нескольких электронов в атоме или молекуле. Тип и количество ионов зависят от состава плазмы и способа ее образования. Свободные электроны отрываются от атомов или молекул и становятся отрицательно заряженными частицами. Свободные электроны обладают высокой энергией и могут двигаться и проводить электричество под действием электрического поля. Помимо свободных электронов и ионов, в плазме имеются еще нейтральные частицы, то есть не ионизованные атомы или молекулы. Эти нейтральные частицы играют роль в балансировании ионов и электронов в плазме, поддерживая общую электрическую нейтральность плазмы. Свободные радикалы — это класс химических веществ с неспаренными электронами, которые играют важную роль в химических реакциях и в живых организмах. Свободные радикалы обычно очень реактивны, поскольку они имеют тенденцию связывать электроны, захватывая их или отдавая.

Свойства плазмы

Свойства плазмы отличаются от других состояний вещества, таких как газ, твердое тело или жидкость, высокой проводимостью, уникальными оптическими свойствами и плазменными колебаниями. Прежде всего, это электрический проводник и может проводить ток. Это связано с тем, что в плазме имеется большое количество свободных электронов, которые могут двигаться под действием электрического поля и образовывать электрический ток. Во-вторых, плазма сильно взаимодействует с электромагнитным излучением и может излучать, поглощать и рассеивать свет. Кроме того, плазма также обладает уникальными термодинамическими свойствами, такими как высокая температура, низкое давление и высокая плотность энергии.

Fountyl Technologies PTE Ltd специализируется на производстве полупроводников, основная продукция включает в себя: штыревой патрон, пористый керамический патрон, керамический концевой эффектор, керамическую квадратную балку, керамический шпиндель, добро пожаловать к контакту и переговорам！