Общая технология адсорбции пластин

Технология адсорбции пластин — казалось бы, тривиальное, но очень важное звено. Независимо от того, травлены ли они, напылены или литографированы, пластины должны быть стабильно и точно зафиксированы в правильном положении, чтобы обеспечить эффективное производство чипов.

Несколько распространенных методов адсорбции пластин:

Механическая вакуумная адсорбция

Механическая вакуумная адсорбция создает среду отрицательного давления с помощью вакуумного насоса, который используется для откачки воздуха из зоны адсорбции, тем самым снижая давление и создавая зону вакуума между пластиной и адсорбционным диском. Уплотнения обычно необходимы для обеспечения герметизации зоны адсорбции и предотвращения попадания наружного воздуха. Это создает достаточное всасывание для стабильной адсорбции пластины.

Функция штифта (адсорбционного штифта) вакуумного адсорбционного диска

Штифт обеспечивает единую точку опоры, гарантируя, что пластина останется плоской во время процесса адсорбции, избегая изгиба или растрескивания из-за неравномерных сил.

Точная конструкция штифта гарантирует, что пластина будет точно выровнена и помещена в заданное положение на патроне, обеспечивая точное позиционирование для последующих процессов обработки.

Преимущество

Надежность: Механическая вакуумная адсорбция обеспечивает стабильную силу адсорбции, гарантирующую стабильность пластин во время обработки.

Универсальность: этот метод подходит для пластин разных размеров и типов и обладает высокой гибкостью.

Техническое обслуживание относительно простое: механические вакуумно-адсорбционные системы легче обслуживать.

Дефект

Потенциальный риск повреждения: если пылесос выйдет из строя или будет эксплуатироваться неправильно, пластина может быть повреждена.

Чувствительность: Для чрезвычайно хрупких или ультратонких пластин механическая вакуумная адсорбция может быть не лучшим выбором.

Электростатическая адсорбция

Электростатическая адсорбция (ЭСА) обычно состоит из поглощающей поверхности, электрода и источника питания, изготовленного из изоляционного материала. Электрод встроен под адсорбционную поверхность, а изолирующий материал используется для изоляции электрода от адсорбируемого объекта. При подаче напряжения на электрод создается электрическое поле. Это электрическое поле проходит через адсорбционную поверхность и индуцируется на пластине, создавая электростатическое притяжение между пластиной и адсорбционной поверхностью. Свободный заряд на пластине притягивается к одной стороне электрического поля, что создает притяжение к поверхности адсорбции.

Преимущества:

Электростатическая адсорбция не требует физического контакта с пластиной, что снижает риск механического повреждения и загрязнения.

Изменяя приложенное напряжение, можно точно контролировать величину силы адсорбции, чтобы адаптировать ее к различным применениям и требованиям процесса.

После поглощения пластины, даже если питание отключено, сила адсорбции будет сохраняться в течение определенного периода времени, и нет необходимости беспокоиться о падении пластины.

Бернулли Чак

Патрон Бернулли — это устройство для адсорбции пластин, основанное на принципе Бернулли. Принцип Бернулли гласит, что когда жидкость течет по линии потока, давление уменьшается по мере увеличения скорости жидкости, и наоборот.

В патроне Бернулли газ вытекает из сопла с большой скоростью вдоль поверхности пластины. Благодаря этому высокоскоростному потоку воздуха давление на поверхность пластины снижается, создавая разницу давлений между пластиной и патроном. Эта разница давлений приводит к тому, что пластина притягивается к патрону, но при этом она подвешивается над потоком воздуха, тем самым уменьшая физический контакт с патроном.

Преимущества:

Патрон Бернулли практически не контактирует между пластиной и присосками. Это помогает уменьшить возможные механические повреждения и загрязнения.

Используя инертный газ в качестве воздушной подушки, он может стабильно работать в различных температурных и химических средах.

Воздушный поток можно регулировать для размещения пластин разных размеров и форм.

Дефект:

Более высокая стоимость

Высокие требования к плоскостности пластин.

Немного громче

Fountyl Technologies PTE Ltd специализируется на производстве полупроводников, основная продукция включает в себя: штыревой патрон, пористый керамический патрон, керамический концевой эффектор, керамическую квадратную балку, керамический шпиндель, добро пожаловать к контакту и переговорам！