Какие существуют методы скрайбирования пластин?

Нарезка (резка) пластин — это процесс разрезания одной пластины на несколько независимых чипов («матриц»). Этот процесс выполняется после завершения всех процессов производства полупроводников на пластине для последующей упаковки и тестирования. Есть много способов нарезки, и сегодня мы познакомим их систематически.

Почему существует процесс написания?

Пластина содержит тысячи чипов, каждый чип представляет собой независимую единицу. Когда производство чипа завершено, чип находится в состоянии оголенной утечки, а химическая коррозия, пыль, влага и т. д. в среде терминала нанесут фатальный ущерб чипу, поэтому чип необходимо надеть». одежда» (оболочка) для защиты чипа, то есть упаковки. Процесс скрайбирования позволяет индивидуально упаковать каждый чип для использования в терминальной среде.

Преобладающий способ нарезки?

Обычно различают механическое и лазерное нанесение. Лазерную разметку можно разделить на скрытую лазерную резку и лазерную тотальную резку. На пластине будут пересекающиеся пути резки, и эти пути резки должны быть прорезаны по границам отдельных чипов, которые обычно нарезаются вдоль путей резки.

Механическая разметка

Механическое скрайбирование — это использование алмазных лезвий для физической резки пластин, что является наиболее традиционным и широко используемым методом скрайбирования пластин. Алмазный диск вращается с высокой скоростью, чтобы разрезать пластину, а выделяющееся тепло и мусор уносятся водой.

Преимущества:

1, оборудование дешевое

2, подходит для различных материалов пластины

недостатки:

1, точность разметки невысокая

2, скорость записи низкая

3, склонен к поломке края и другим аномалиям

4, не подходит для слишком тонких пластин, обычно толщина пластины более 100 мкм подходит для механического скрайбирования.

Лазерная резка

Некоторые пластины относительно хрупкие и тонкие, поэтому легко возникает проблема образования кромок и растрескивания при использовании алмазных дисков, поэтому необходимо рассмотреть возможность лазерной резки.

Лазерная стелс-нарезка представляет собой двухэтапный процесс:

Первый шаг — использовать лазерный луч для фокусировки на внутренней части пластины, точно контролируя глубину фокусировки лазера, образуя мелкую трещину внутри пластины, в то время как поверхность остается неповрежденной.

Второй шаг — механически равномерно растянуть ленту, прикрепленную к задней части пластины. По мере расширения ленты отдельные чипы на пластине разделяются по предварительно вырезанному лазером пути.

Лазерная полная резка

Лазерная полная резка означает, что лазерный луч непосредственно облучается на поверхности пластины по всей ее толщине, полностью разрезает пластину и непосредственно отделяет один чип. Лазерная тотальная резка позволяет точно контролировать мощность, фокус и скорость лазера, чтобы адаптироваться к различным требованиям к материалам и толщине. В отличие от лазерной криптографической резки, лазерная полная резка не требует последующих этапов расширения ленты для отделения чипа.

Преимущества лазерной резки?

1, скорость письма очень высокая,

2, повреждение от стресса невелико

3, точность разметки очень высокая

Недостатки:

1, цена дорогая

2, мусор, образовавшийся в результате лазерного сжигания, трудно очистить.

Что такое щелевая разметка?

Чтобы уменьшить остроту проблемы с разметкой, вы можете сначала использовать лазерную прорезь, а затем использовать алмазное лезвие для разметки. В нем также можно сделать прорези более толстым алмазным диском, а затем нарезать его алмазным диском.

Что такое процесс DBG?

Эксклюзивный процесс DBG компании Japan Disco (нарезка кубиками перед шлифовкой) предполагает шлифование первой передней части пластины на указанную глубину (не прорезание пластины), а затем шлифование задней части пластины до соответствующей глубины резки, чтобы уменьшить проблему. растрескивания пластин.

Fountyl Technologies PTE Ltd специализируется на производстве полупроводников, основная продукция включает в себя: штыревой патрон, пористый керамический патрон, керамический концевой эффектор, керамическую квадратную балку, керамический шпиндель, добро пожаловать к контакту и переговорам！