Почему в вафельной коробке 25 пластин?

В одну вафельную коробку загружено 25 пластин по нескольким основным причинам:

1, для оптимизации эффективности производства и использования оборудования.

2, убедитесь, что вес и объем находятся в допустимых пределах.

3, отвечают требованиям автоматической обработки и обработки.

4, соответствуют отраслевым стандартам и исторической практике.

Эта конструкция уравновешивает потребности производства, обработки, обращения и экономики, делая процесс производства 12-дюймовых пластин эффективным и надежным. Подробно объясните ниже

1, размер пластины и грузоподъемность

Размер пластины: диаметр 12-дюймовой пластины составляет около 300 мм.

Толщина пластины: примерно 0,775 мм.

2. Стандарт проектирования FOUP

Размер и вес: FOUP необходимо найти баланс между размером и весом, чтобы облегчить обработку и транспортировку.

3. Соображения процесса и эффективности

Стандартизация: Процесс производства 12-дюймовых пластин широко стандартизирован, и 25 пластин могут быть обработаны одной партией для оптимизации эффективности производства и использования оборудования.

Автоматизированная обработка: FOUP рассчитан на 25 пластин, что позволяет автоматизированному оборудованию эффективно обрабатывать эти партии, тем самым повышая эффективность производства.

Простота загрузки и обработки: вес 25 пластин находится в разумных пределах, поэтому их легко переносить роботы или рабочие, не превышая при этом грузоподъемность механического оборудования.

4. Экономия и надежность

Совместимость оборудования. Большая часть производственного оборудования (например, экспонирующих машин, травильных машин и т. д.) рассчитана на обработку партий по 25 пластин, что позволяет максимально эффективно использовать оборудование и повысить эффективность производства.

Стабильность и безопасность: FOUP, загруженный 25 пластинами, обладает хорошей стабильностью при обращении, что снижает риск повреждения пластин при обращении.

5. Исторические причины и отраслевая практика

Отраслевая практика: исторически сложилось так, что индустрия производства пластин постепенно переходила от пластин меньшего размера (например, 6-дюймовых, 8-дюймовых) к 12-дюймовым пластинам. В этом процессе партии по 25 штук стали отраслевым стандартом, чтобы обеспечить некоторую преемственность и предсказуемость между пластинами разных размеров.

Технические стандарты: SEMI (Международная ассоциация полупроводникового оборудования и материалов) разработала соответствующие стандарты, определяющие конструкцию и использование FOUP, а конструкция нагрузки из 25 частей соответствует этим стандартам и широко применяется во всем мире.

Узнайте больше о терминах вафельного носителя: FOUP, FOSB, Cassette.

1. Унифицированный модуль с передним открытием (FOUP)

FOUP — это контейнер для обработки и хранения пластин на производстве, особенно для пластин диаметром 300 мм. Он предназначен для уменьшения загрязнения и повреждения пластин во время обработки. FOUP имеет переднее отверстие, через которое можно автоматически загружать и выгружать пластины без необходимости открывать весь контейнер. FOUP обычно оснащен герметичной крышкой, обеспечивающей чистоту внутренней среды.

Сценарий применения: В процессе производства пластин FOUP широко используется для передачи пластин между автоматизированными устройствами, такими как роботы-переносчики. Они подходят для технологических операций, требующих высокой степени чистоты, таких как литография, травление и ионная имплантация.

2, FOSB (транспортная коробка с передним отверстием)

FOSB похож на FOUP, но в основном используется для транспортировки пластин на большие расстояния. Он предназначен для защиты пластин при транспортировке с одного завода на другой. FOSB также имеет конструкцию с передним открыванием, но, как правило, он более прочен и выдерживает вибрацию и удары во время транспортировки.

Сценарий применения: FOSB используется при производстве пластин, которые необходимо транспортировать с одной производственной площадки на другую для дальнейшей обработки или сборки. Герметизирующие свойства FOSB обеспечивают чистоту окружающей среды во время транспортировки.

3, кассета

Кассета была более ранним носителем пластин для переноски и передачи пластин меньших размеров (например, 200 мм и меньше). Обычно он проектируется как открытая структура, способная нести несколько пластин. Им легко управлять вручную, а также его можно использовать с помощью автоматизированного оборудования.

Сценарий применения: использовался в более раннем оборудовании и процессах производства полупроводников, до сих пор используется на некоторых линиях по производству пластин диаметром 200 мм. Подходит для ручного перемещения и погрузки, например, при очистке, проверке и других этапах процесса.

Краткое описание: FOUP в основном используется для внутренней обработки и хранения пластин диаметром 300 мм и имеет конструкцию с передним открытием. FOSB в основном используется для транспортировки пластин на большие расстояния, а его прочная конструкция обеспечивает чистоту во время транспортировки. Кассета используется для обработки и хранения пластин меньшего размера в открытой конструкции, подходящей для ручного и автоматического управления.

Компания Fountyl Technologies Pte Ltd. специализируется на 20-летнем опыте производства передовых керамических деталей в полупроводниковой промышленности в Сингапуре. Основной продукцией является штифтовый патрон (штыревой патрон, штифтовый патрон, прецизионный штифтовый патрон), изготовленный из различных видов керамических материалов (глинозема). , цирконий, карбид кремния, нитрид кремния, нитрид алюминия и пористая керамика), полностью независимый контроль спекания керамического материала, прецизионная обработка, тестирование и прецизионная очистка с гарантированным сроком поставки.