گهر
مواد
سلڪون ڪاربائيڊ سنکنرن جي مزاحمتي حصن، سيل حصن، تيز گرمي پد جي مزاحمتي حصن، گائيڊ ريل ۽ چورس بيم لاءِ استعمال ڪيو ويو آهي
سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪس ۾ عام درجه حرارت تي بهترين مشيني خاصيتون آهن، جهڙوڪ اعلي طاقت، اعلي سختي، اعلي لچڪدار ماڊيولس، بهترين تيز گرمي جي استحڪام، جهڙوڪ اعلي حرارتي چالکائي، گهٽ حرارتي توسيع جي گنجائش، ۽ سٺي مخصوص سختي ۽ نظرياتي پروسيسنگ خاصيتون، خاص طور تي مناسب. سڌائي ceramic جوڙجڪ حصن لاء photolithography مشين ۽ ٻين integrated سرڪٽ سامان جي تياري لاء. جيئن ته ڦوٽوولوگرافي مشين ۾ استعمال ٿيل درست حرڪت واري ورڪ پيس ٽيبل، کنڊ، سکشن کپ، واٽر-ڪولڊ پليٽ ۽ صحت واري ماپ آئيني، گرٽنگ ۽ ٻين سيرامڪ ڍانچي جا حصا، فاؤنٽيل نئين مواد سالن جي ٽيڪنيڪل تحقيق کان پوء، حل ڪيو وڏي سائيز، پتلي ڀت، سلکان ڪاربائڊ جي ڍانچي جي ڍانچي ۽ ٻين پيچيده ڍانچي جي سڌائي جي پروسيسنگ ۽ تياري جا مسئلا، هن قسم جي سڌائي واري سلکان ڪاربائيڊ ساخت جي حصن جي تياري واري ٽيڪنالاجي جي ٽيڪنيڪل رڪاوٽ کي ٽوڙيندي. انٽيگريٽڊ سرڪٽ جي پيداوار جي سامان ۾ استعمال ٿيندڙ اهم ساخت جي حصن جي لوڪلائيزيشن کي تمام گهڻو وڌايو آهي.
● Silicon carbide ceramics ۾ بنيادي طور تي شامل آهن پريشر بغير sintering silicon carbide (SSiC)، ردعمل-sintered silicon carbide (RBSC)، ڪيميائي وانپ جمع ڪرڻ واري سلکان ڪاربائيڊ (CVD-SiC).
● Silicon ڪاربائڊ ۾ مختلف قسم جا بهترين خاصيتون آهن: سپر سخت، لباس جي مزاحمت، اعلي حرارتي چالکائي ۽ مشيني طاقت، گهٽ حرارتي توسيع جي گنجائش، بهترين حرارتي استحڪام، گهٽ کثافت، اعلي مخصوص سختي، غير مقناطيسي.
● هن وقت، silicon carbide ceramics مختلف صنعتن ۾ لاڳو ڪيا ويا آهن جهڙوڪ هوائي جهاز، ايرو اسپيس ۽ ايٽمي صنعت، جهڙوڪ سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ ريفلڪٽر ۽ IC انٽيگريٽيڊ سرڪٽ جي پيداوار، گرمي ايڪسچينجرز ۽ بلٽ پروف مواد لاءِ اعليٰ پڇاڙيءَ واري سامان جا سيرامڪ حصا انتهائي حالتن هيٺ.
انٽيگريٽيڊ سرڪٽ جي پيداوار جي سامان لاءِ سڌائي واري سيرامڪ ساخت جي حصن جون خاصيتون:
① تمام ہلڪو وزن: حرڪت جي گھٽتائي کي گھٽائڻ لاءِ، موٽر لوڊ کي گھٽائڻ، موشن جي ڪارڪردگي کي بھتر ڪرڻ، پوزيشن جي درستگي ۽ استحڪام کي بھتر ڪرڻ لاءِ، ڍانچي جا حصا عام طور تي ھلڪو وزن جي جوڙجڪ ڊيزائن کي استعمال ڪندا آھن، ھلڪو وزن جي شرح 60-80٪ آھي، 90٪ تائين؛
② اعلي فارم-پوزيشن جي درستگي: اعلي-صحت واري حرڪت ۽ پوزيشن حاصل ڪرڻ لاء، ساخت جي حصن کي تمام اعلي شڪل ۽ پوزيشن جي درستگي جي ضرورت آھي، فليٽ، متوازي ۽ عمودي 1μm کان گھٽ هجڻ ضروري آھي، ۽ فارم ۽ پوزيشن جي درستگي جي ضرورت آهي 5μm کان گهٽ هجڻ گهرجي.
③ اعلي جہتي استحڪام: اعلي صحت واري حرڪت ۽ پوزيشن حاصل ڪرڻ لاء، ساخت جي حصن کي انتهائي اعلي جہتي استحڪام جي ضرورت آهي، دٻاء پيدا ڪرڻ نه، ۽ اعلي حرارتي چالکائي، گهٽ حرارتي توسيع جي گنجائش، وڏي جہتي خرابي پيدا ڪرڻ آسان ناهي. ؛
④ صاف ۽ آلودگي کان پاڪ. ساخت جي حصن کي تمام گھٽ رگڙ جي گنجائش، حرڪت دوران ننڍڙي متحرڪ توانائي جي نقصان، ۽ پيسڻ واري ذرات جي آلودگي جي ضرورت هوندي آهي. Silicon carbide مواد هڪ تمام اعلي لچڪدار ماڊيولس، حرارتي چالکائي ۽ گهٽ حرارتي توسيع جي کوٽائي آهي، موڙيندڙ دٻاء جي خرابي ۽ حرارتي دٻاء پيدا ڪرڻ آسان ناهي، ۽ شاندار پولش قابليت آهي، بهترين آئيني تي مشين ڪري سگهجي ٿو؛ تنهن ڪري، سلکان ڪاربائڊ کي استعمال ڪرڻ جا وڏا فائدا آهن جيئن ته انٽيگريٽيڊ سرڪٽس جي اهم سامان لاءِ درست ساخت جي مواد جي طور تي جيئن ته فوٽوولوگرافي مشين، سلکان ڪاربائڊ کي سٺي ڪيميائي استحڪام، اعلي ميڪيڪل طاقت، اعلي حرارتي چالکائي ۽ گهٽ حرارتي توسيع جي گنجائش جا فائدا آهن، ۽ تيز گرمي پد، اعلي دٻاء، corrosion ۽ انتهائي ماحول جي تاب ۾ لاڳو ڪري سگهجي ٿو.
Silicon carbide سٺي ڪيميائي استحڪام، اعلي مشيني طاقت، اعلي حرارتي conductivity ۽ گهٽ حرارتي توسيع coefficient جا فائدا آهن، ۽ اعلي گرمي پد، اعلي دٻاء، corrosion ۽ انتهائي ماحول جي تاب ۾ لاڳو ڪري سگهجي ٿو.
انٽيگريٽڊ سرڪٽ جي اهم سامان جي ضرورت آهي ته اجزاء جي مواد کي هلڪو وزن، اعلي طاقت، اعلي حرارتي چالکائي ۽ گهٽ حرارتي توسيع جي کوٽائي جي خاصيتن جي ضرورت هوندي آهي، ۽ بغير ڪنهن خرابي جي گھڻ ۽ يونيفارم آهن. اجزاء کي انتهائي تيز رفتار جي درستگي ۽ طول و عرض جي استحڪام کي يقيني بڻائڻ جي ضرورت آهي ته الٽرا سڌائي واري حرڪت ۽ سامان جي ڪنٽرول کي يقيني بڻائي سگهجي. سلکان ڪاربائڊ سيرامڪس هڪ اعلي لچڪدار ماڊيولس ۽ مخصوص سختي آهي، خراب ڪرڻ آسان ناهي، ۽ هڪ اعلي حرارتي چالکائي ۽ گهٽ حرارتي توسيع جي گنجائش، اعلي حرارتي استحڪام آهي، تنهن ڪري سلکان ڪاربائڊ سيرامڪس هڪ بهترين ساختماني مواد آهي، هن وقت انٽيگريڊ سرڪٽ جي پيداوار ۾. ايپليڪيشنن جي وسيع رينج حاصل ڪرڻ لاء اهم سامان، جهڙوڪ سلڪون ڪاربائڊ ڪم ڪندڙ ٽيبل سان ليٿوگرافي مشين، گائيڊ ريل، ريفلڪٽر، سيرامڪ چيڪ، ۽ سيرامڪ آخر اثر ڪندڙ.
Fountyl وڏي سائيز، ٿلهي پتلي ڀت، پيچيده ڍانچي، صحت واري سلکان ڪاربائيڊ ساختي حصن جي تياري واري ٽيڪنالاجي، جهڙوڪ: سلکان ڪاربائيڊ ويڪيوم چيڪ، گائيڊ ريل، ريفلڪٽر، ڪم ڪندڙ ٽيبل سان گڏ انٽيگريٽيڊ سرڪٽ ٺاهڻ واري اهم سامان جي نمائندي جي طور تي فوٽووليٿوگرافي مشين کي ملن ٿا. ۽ سڌائي silicon carbide جي جوڙجڪ حصن جو هڪ سلسلو photolithography مشين لاء.
| ملڪيتون | فاؤنٽيل | ||
| کثافت (g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| نوجوانن جو ماڊلس (GPa) | 368 | ||
| لچڪدار طاقت (MPa) | 334 | ||
| ويبل | 8.35 | ||
| CTE (×10-6/℃) | 100 ℃ | 2.8×10-6 | |
| 400 ℃ | 3.6×10-6 | ||
| 800 ℃ | 4.2×10-6 | ||
| 1000 ℃ | 4.6×10-6 | ||
| حرارتي چالکائي (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| پوسن جو تناسب | 0.187 | ||
| شيئر ماڊلس (GPa) | 155 | ||