ගෙදර
ද්රව්ය
සිලිකන් කාබයිඩ් විඛාදනයට ඔරොත්තු දෙන කොටස්, මුද්‍රා කොටස්, ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධී කොටස්, මාර්ගෝපදේශ රේල් සහ හතරැස් බාල්ක සඳහා භාවිතා කරයි
සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් සාමාන්‍ය උෂ්ණත්වයේ දී විශිෂ්ට යාන්ත්රික ගුණ ඇත, එනම් ඉහළ ශක්තිය, ඉහළ දෘඪතාව, ඉහළ ප්‍රත්‍යාස්ථ මාපාංකය, ඉහළ තාප සන්නායකතාව, අඩු තාප ප්රසාරණ සංගුණකය වැනි විශිෂ්ට ඉහළ උෂ්ණත්ව ස්ථායිතාව සහ හොඳ නිශ්චිත තද බව සහ දෘශ්‍ය සැකසුම් ගුණාංග, විශේෂයෙන් සුදුසු ය. නිරවද්‍ය සෙරමික් ව්‍යුහාත්මක කොටස් සඳහා ඡායාරූප ශිලා ලේඛන යන්ත්‍රය සහ අනෙකුත් ඒකාබද්ධ පරිපථ උපකරණ සකස් කිරීම සඳහා. ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රයේ නිරවද්‍යතාවයෙන් චලනය වන වැඩ කොටස් මේසය, ඇටසැකිල්ල, චූෂණ කෝප්පය, ජල සිසිලන තහඩුව සහ නිරවද්‍ය මිනුම් දර්පණය, දැලක සහ අනෙකුත් සෙරමික් ව්‍යුහාත්මක කොටස්, ෆවුන්ටයිල් නව ද්රව්ය වසර ගණනාවක තාක්ෂණික පර්යේෂණවලින් පසුව, විශාල ප්‍රමාණය, තුනී බිත්තිය විසඳන්න. සිලිකන් කාබයිඩ් ව්‍යුහාත්මක කොටස්වල කුහර සහ අනෙකුත් සංකීර්ණ ව්‍යුහය නිරවද්‍ය සැකසුම් සහ සකස් කිරීමේ ගැටළු, මේ ආකාරයේ නිරවද්‍ය සිලිකන් කාබයිඩ් ව්‍යුහාත්මක කොටස් සකස් කිරීමේ තාක්ෂණයේ තාක්ෂණික බාධක බිඳ දමයි. එය ඒකාබද්ධ පරිපථ නිෂ්පාදන උපකරණවල භාවිතා කරන ප්රධාන ව්‍යුහාත්මක කොටස් දේශීයකරණයට බෙහෙවින් ප්‍රවර්ධනය කර ඇත.
● සිලිකන් කාබයිඩ් පිඟන් භාණ්ඩවල ප්රධාන වශයෙන් පීඩන රහිත සිලිකන් කාබයිඩ් (SSiC), ප්‍රතික්‍රියා-සින්ටර් කළ සිලිකන් කාබයිඩ් (RBSC), රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ සිලිකන් කාබයිඩ් (CVD-SiC) ඇතුළත් වේ.
● සිලිකන් කාබයිඩ් විවිධ විශිෂ්ට ගුණාංග ඇත: සුපිරි දෘඪ, ඇඳුම් ප්රතිරෝධය, ඉහළ තාප සන්නායකතාවය සහ යාන්ත්රික ශක්තිය, අඩු තාප ප්රසාරණ සංගුණකය, විශිෂ්ට තාප ස්ථායීතාවය, අඩු ඝනත්වය, ඉහළ නිශ්චිත තද බව, චුම්බක නොවන.
● වර්තමානයේ, සිලිකන් කාබයිඩ් පිඟන් මැටි, ගුවන් සේවා, අභ්‍යවකාශ සහ න්‍යෂ්ටික කර්මාන්තය වැනි විවිධ කර්මාන්තවල යොදනු ලැබේ, එනම් සිලිකන් කාබයිඩ් සෙරමික් පරාවර්තක සඳහා ඉහළ මට්ටමේ උපකරණවල සෙරමික් කොටස් සහ IC ඒකාබද්ධ පරිපථ නිෂ්පාදනය, තාප හුවමාරුකාරක සහ වෙඩි නොවදින ද්රව්ය ආන්තික තත්ව යටතේ.
සංයුක්ත පරිපථ නිෂ්පාදන උපකරණ සඳහා නිරවද්‍ය සෙරමික් ව්‍යුහාත්මක කොටස්වල විශේෂාංග:
① ඉතා සැහැල්ලු: චලන අවස්ථිති භාවය අඩු කිරීම, මෝටර් බර අඩු කිරීම, චලන කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කිරීම, ස්ථානගත කිරීමේ නිරවද්‍යතාවය සහ ස්ථාවරත්වය වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා, ව්‍යුහාත්මක කොටස් සාමාන්‍යයෙන් සැහැල්ලු ව්‍යුහ සැලසුම් භාවිතා කරයි, සැහැල්ලු අනුපාතය 60-80%, 90% දක්වා;
② ඉහළ ආකෘති-ස්ථාන නිරවද්‍යතාවය: ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් චලනය හා ස්ථානගත කිරීම සඳහා, ව්‍යුහාත්මක කොටස් අතිශයින් ඉහළ ආකෘතියක් සහ ස්ථාන නිරවද්‍යතාවයක් තිබීම අවශ්‍ය වේ, සමතලා බව, සමාන්තරතාව සහ ලම්බකතාව 1μm ට අඩු වීම අවශ්‍ය වන අතර, ආකෘතිය සහ ස්ථාන නිරවද්‍යතාවය 5μm ට අඩු වීම අවශ්‍ය වේ.
③ ඉහළ මාන ස්ථායීතාව: ඉහළ නිරවද්‍ය චලනය සහ ස්ථානගත කිරීම සඳහා, ව්‍යුහාත්මක කොටස්වලට අතිශයින් ඉහළ මාන ස්ථායීතාවයක් තිබීම අවශ්‍ය වේ, වික්‍රියා නිපදවීමට නොවේ, සහ ඉහළ තාප සන්නායකතාවය, අඩු තාප ප්රසාරණ සංගුණකය, විශාල මාන විකෘතියක් ඇති කිරීමට පහසු නොවේ. ;
④ පිරිසිදු හා දූෂණයෙන් තොර. ව්‍යුහාත්මක කොටස්වලට අතිශයින් අඩු ඝර්ෂණ සංගුණකයක් තිබීම, චලනය අතරතුර කුඩා චාලක ශක්තිය නැතිවීම සහ ඇඹරුම් අංශු දූෂණයක් නොතිබීම අවශ්‍ය වේ. සිලිකන් කාබයිඩ් ද්රව්ය ඉතා ඉහළ ප්‍රත්‍යාස්ථ මාපාංකයක්, තාප සන්නායකතාවය සහ අඩු තාප ප්රසාරණ සංගුණකයක් ඇත, නැමීමේ ආතති විරූපණය සහ තාප වික්‍රියා නිෂ්පාදනය කිරීමට පහසු නොවන අතර විශිෂ්ට ඔප දැමීමේ හැකියාවක් ඇත, විශිෂ්ට දර්පණයකට යන්ත්‍රගත කළ හැකිය; එබැවින්, ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රය වැනි ඒකාබද්ධ පරිපථවල ප්රධාන උපකරණ සඳහා නිරවද්‍ය ව්‍යුහාත්මක ද්රව්ය ලෙස සිලිකන් කාබයිඩ් භාවිතා කිරීම විශාල වාසි ඇත, සිලිකන් කාබයිඩ් හොඳ රසායනික ස්ථායීතාවය, ඉහළ යාන්ත්රික ශක්තිය, ඉහළ තාප සන්නායකතාවය සහ අඩු තාප ප්රසාරණ සංගුණකය වැනි වාසි ඇත. සහ ආන්තික පරිසරවල අධික උෂ්ණත්වය, අධික පීඩනය, විඛාදන සහ විකිරණවල යෙදිය හැක.
සිලිකන් කාබයිඩ් හොඳ රසායනික ස්ථායීතාවයක්, ඉහළ යාන්ත්රික ශක්තියක්, ඉහළ තාප සන්නායකතාවක් සහ අඩු තාප ප්රසාරණ සංගුණකයක වාසි ඇති අතර, අධික උෂ්ණත්වය, අධික පීඩනය, විඛාදන සහ ආන්තික පරිසරවල විකිරණ සඳහා යෙදිය හැකිය.
සංයුක්ත පරිපථයේ ප්රධාන උපකරණ සඳහා අවශ්‍ය වන්නේ සංරචක ද්‍රව්‍යවල අඩු බර, ඉහළ ශක්තිය, ඉහළ තාප සන්නායකතාවය සහ අඩු තාප ප්රසාරණ සංගුණකයේ ලක්ෂණ ඇති අතර දෝෂ නොමැතිව ඝන සහ ඒකාකාරී විය යුතුය. උපාංගවල අතිශය නිරවද්‍ය චලනය සහ පාලනය සහතික කිරීම සඳහා සංරචක අතිශයින් ඉහළ මාන නිරවද්‍යතාවයක් සහ මාන ස්ථායීතාවයක් තිබීම අවශ්‍ය වේ. සිලිකන් කාබයිඩ් පිඟන් භාණ්ඩවල ඉහළ ප්‍රත්‍යාස්ථ මාපාංකයක් සහ නිශ්චිත තද බවක් ඇත, විකෘති කිරීමට පහසු නැත, ඉහළ තාප සන්නායකතාවක් සහ අඩු තාප ප්රසාරණ සංගුණකයක්, ඉහළ තාප ස්ථායීතාවයක් ඇත, එබැවින් සිලිකන් කාබයිඩ් පිඟන් මැටි විශිෂ්ට ව්‍යුහාත්මක ද්‍රව්‍යයක් වන අතර දැනට ඒකාබද්ධ පරිපථ නිෂ්පාදනයේ පවතී. සිලිකන් කාබයිඩ් වැඩ මේසය සහිත ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රය, මාර්ගෝපදේශ දුම්රිය, පරාවර්තකය, සෙරමික් චක් සහ සෙරමික් එන්ඩ් එෆෙක්ටරය වැනි පුළුල් පරාසයක යෙදුම් ලබා ගැනීමට ප්රධාන උපකරණ.
විශාල ප්‍රමාණයේ, කුහර තුනී බිත්ති, සංකීර්ණ ව්‍යුහය, නිරවද්‍ය සිලිකන් කාබයිඩ් ව්‍යුහාත්මක කොටස් සකස් කිරීමේ තාක්ෂණය, එනම් සිලිකන් කාබයිඩ් රික්තක චක්, මාර්ගෝපදේශක රේල්, පරාවර්තකය, වැඩ මේසය සමඟ ඒකාබද්ධ පරිපථ නිෂ්පාදන ප්රධාන උපකරණවල නියෝජිතයා ලෙස Fountyl හට ඡායාරූප ශිලා ලේඛන යන්ත්‍රය හමුවිය හැකිය. සහ ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රය සඳහා නිරවද්‍ය සිලිකන් කාබයිඩ් ව්‍යුහාත්මක කොටස් මාලාවක්.
| දේපළ | ෆවුන්ටයිල් | ||
| ඝනත්වය (g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| තරුණ මාපාංකය (GPa) | 368 | ||
| නම්‍ය ශක්තිය (MPa) | 334 | ||
| වයිබුල් | 8.35 | ||
| CTE (×10-6/℃) | 100℃ | 2.8×10-6 | |
| 400℃ | 3.6×10-6 | ||
| 800℃ | 4.2×10-6 | ||
| 1000℃ | 4.6×10-6 | ||
| තාප සන්නායකතාවය (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| පොයිසන් අනුපාතය | 0.187 | ||
| ෂියර් මාපාංකය (GPa) | 155 | ||