domov
Materiali
Silicijev karbid, ki se uporablja za dele, odporne proti koroziji, dele tesnil, dele, odporne na visoke temperature, vodila in kvadratne nosilce
Keramika iz silicijevega karbida ima odlične mehanske lastnosti pri normalni temperaturi, kot so visoka trdnost, visoka trdota, visok modul elastičnosti, odlična visokotemperaturna stabilnost, kot je visoka toplotna prevodnost, nizek koeficient toplotnega raztezanja ter dobra specifična togost in lastnosti optične obdelave, še posebej primerne za pripravo fotolitografskega stroja in druge opreme za integrirana vezja za precizne keramične strukturne dele. Kot se uporablja v fotolitografskem stroju za natančno premično mizo obdelovancev, okostje, prisesek, vodno hlajeno ploščo in natančno merilno ogledalo, rešetke in druge keramične strukturne dele, nov material Fountyl po letih tehničnih raziskav, rešitev velike velikosti, tanke stene, votla in druga zapletena struktura precizne obdelave in priprave strukturnih delov silicijevega karbida, težave pri prebijanju tehničnega ozkega grla te vrste natančne tehnologije priprave strukturnih delov iz silicijevega karbida. Močno je spodbudil lokalizacijo ključnih strukturnih delov, ki se uporabljajo v opremi za proizvodnjo integriranih vezij.
● Keramika iz silicijevega karbida v glavnem vključuje silicijev karbid za breztlačno sintranje (SSiC), reakcijsko sintran silicijev karbid (RBSC), silicijev karbid s kemičnim naparjevanjem (CVD-SiC).
● Silicijev karbid ima številne odlične lastnosti: super trden, odpornost proti obrabi, visoka toplotna prevodnost in mehanska trdnost, nizek koeficient toplotnega raztezanja, odlična toplotna stabilnost, nizka gostota, visoka specifična togost, nemagneten.
● Trenutno se keramika iz silicijevega karbida uporablja v različnih panogah, kot so letalstvo, vesoljska in jedrska industrija, kot so keramični deli vrhunske opreme za proizvodnjo keramičnih reflektorjev iz silicijevega karbida in integriranih vezij IC, toplotnih izmenjevalnikov in neprebojnih materialov v ekstremnih pogojih.
Značilnosti preciznih keramičnih strukturnih delov za opremo za proizvodnjo integriranih vezij:
① Zelo lahek: da bi zmanjšali vztrajnost gibanja, zmanjšali obremenitev motorja, izboljšali učinkovitost gibanja, natančnost pozicioniranja in stabilnost, strukturni deli na splošno uporabljajo lahke strukture, stopnja lahke teže je 60-80 %, do 90 %;
② Visoka natančnost oblike in položaja: Da bi dosegli visoko natančno premikanje in pozicioniranje, morajo strukturni deli imeti izjemno visoko natančnost oblike in položaja, ravnost, vzporednost in pravokotnost morajo biti manjše od 1 μm, oblika in zahteva se, da je natančnost položaja manjša od 5 μm.
③ Visoka dimenzijska stabilnost: Da bi dosegli visoko natančno premikanje in pozicioniranje, morajo strukturni deli imeti izjemno visoko dimenzijsko stabilnost, brez deformacij in visoko toplotno prevodnost, nizek koeficient toplotnega raztezanja, zato ni enostavno ustvariti velike dimenzijske deformacije ;
④ Čisto in brez onesnaževanja. Strukturni deli morajo imeti izredno nizek koeficient trenja, majhne izgube kinetične energije med gibanjem in brez onesnaženja z mletimi delci. Material iz silicijevega karbida ima zelo visok modul elastičnosti, toplotno prevodnost in nizek koeficient toplotnega raztezanja, ni enostavno ustvariti deformacije upogibne napetosti in toplotne obremenitve ter ima odlično polirnost in ga je mogoče obdelati v odlično zrcalo; Zato ima velike prednosti uporaba silicijevega karbida kot natančnega strukturnega materiala za ključno opremo integriranih vezij, kot je fotolitografski stroj. Prednosti silicijevega karbida so dobra kemična stabilnost, visoka mehanska trdnost, visoka toplotna prevodnost in nizek koeficient toplotnega raztezanja, in se lahko uporablja pri visoki temperaturi, visokem tlaku, koroziji in sevanju v ekstremnih okoljih.
Prednosti silicijevega karbida so dobra kemična stabilnost, visoka mehanska trdnost, visoka toplotna prevodnost in nizek koeficient toplotnega raztezanja ter se lahko uporablja pri visoki temperaturi, visokem tlaku, koroziji in sevanju v ekstremnih okoljih.
Ključna oprema integriranega vezja zahteva, da imajo materiali sestavnih delov majhno težo, visoko trdnost, visoko toplotno prevodnost in nizek koeficient toplotnega raztezanja ter so gosti in enotni brez napak. Komponente morajo imeti izjemno visoko dimenzijsko natančnost in dimenzijsko stabilnost, da se zagotovi izjemno natančno gibanje in nadzor opreme. Keramika iz silicijevega karbida ima visok modul elastičnosti in specifično togost, ni je enostavno deformirati in ima visoko toplotno prevodnost in nizek koeficient toplotnega raztezanja, visoko toplotno stabilnost, zato je keramika iz silicijevega karbida odličen strukturni material, trenutno v proizvodnji integriranih vezij ključna oprema za široko paleto aplikacij, kot je litografski stroj z delovno mizo iz silicijevega karbida, vodilo, reflektor, keramična vpenjalna glava in keramični končni efektor.
Fountyl se lahko sreča s fotolitografskim strojem kot predstavnikom ključne opreme za proizvodnjo integriranih vezij z veliko velikostjo, votlo tanko steno, kompleksno strukturo, natančno tehnologijo priprave strukturnih delov iz silicijevega karbida, kot so: vakuumska vpenjalna glava iz silicijevega karbida, vodilna tirnica, reflektor, delovna miza in vrsto natančnih strukturnih delov iz silicijevega karbida za fotolitografski stroj.
| Lastnosti | Fountil | ||
| Gostota（g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| Youngov modul（GPa） | 368 | ||
| Upogibna trdnost（MPa） | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE（×10-6/℃） | 100 ℃ | 2,8×10-6 | |
| 400 ℃ | 3,6×10-6 | ||
| 800 ℃ | 4,2×10-6 | ||
| 1000 ℃ | 4,6×10-6 | ||
| Toplotna prevodnost (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| Poissonovo razmerje | 0,187 | ||
| Strižni modul（GPa） | 155 | ||