Aiga
Meafaitino
0102030405
Silicon carbide faʻaaogaina mo vaega e faʻafefeteina, faʻamaufaʻailoga vaega, vaega maualuga le vevela, taʻiala taʻiala ma sikuea sikuea
Silicon carbide ceramics o loʻo i ai mea faʻainisinia sili ona lelei i le vevela masani, e pei o le maualuga o le malosi, maualuga le maaa, maualuga elastic modulus, maualuga maualuga le mautu o le vevela, e pei o le maualuga o le vevela, le maualalo o le faʻalauteleina o le vevela, ma le faʻamaʻa lelei ma le faʻaogaina o mea faʻapitoa, aemaise lava talafeagai. mo le sauniaina o masini photolithography ma isi masini faʻapipiʻi tuʻufaʻatasia mo vaega faʻapipiʻi saʻo. E pei o le faaaogaina i le masini photolithography saʻo feaveai laulau workpiece, auivi, ipu suction, ipu vai-maalili ma faʻata fua fua, grating ma isi vaega sima fausaga, Fountyl mea fou ina ua mavae tausaga o suʻesuʻega faʻapitoa, foia le lapoa lapoa, puipui manifinifi, gaogao ma isi fausaga faigata o le silicon carbide structural vaega saʻo faagasologa ma sauniuniga faafitauli, malepe i le bottleneck tekinolosi o lenei ituaiga o saʻo silicon carbide structural vaega saunia tekinolosi. Ua matua fa'alauiloa ai le fa'avasegaina o vaega fa'avae autu o lo'o fa'aogaina i masini fa'apipi'i gaosiga.
● Silicon carbide ceramics e masani ona aofia ai pressureless sintering silicon carbide (SSiC), reaction-sintered silicon carbide (RBSC), vailaʻau ausa deposition silicon carbide (CVD-SiC).
● Silicon carbide o loʻo i ai le tele o mea e sili ona lelei: sili ona faigata, faʻaofuofu teteʻe, maualuga le vevela conductivity ma le malosi faʻainisinia, faʻateleina faʻalauteleina faʻamafanafanaga, faʻamautu lelei vevela, maualalo le mamafa, maualuga faʻapitoa faʻamalosi, leai se maneta.
● I le taimi nei, o loʻo faʻaaogaina le silicon carbide ceramics i pisinisi eseese e pei o vaalele, aerospace ma alamanuia faaniukilia, e pei o vaega sima o meafaigaluega maualuga mo le silicon carbide ceramic reflector ma le IC integrated circuit manufacturing, faʻafefe vevela ma mea e puipuia ai pulu i lalo o tulaga ogaoga.
Fa'ailoga o vaega fa'atulagaina o sima mo masini fa'apipi'i tu'ufa'atasiga:
① Mamafa tele: Ina ia faʻaitiitia le faʻaogaina o le gaioiga, faʻaitiitia le uta afi, faʻaleleia le lelei o le gaioiga, faʻatulagaina saʻo ma le mautu, o vaega faʻavae e masani ona faʻaogaina le mamanu fausaga mama, o le fua mama e 60-80%, e oʻo atu i le 90%;
② Tulaga maualuga-tulaga saʻo: Ina ia ausia le maualuga o le gaioiga ma le faʻatulagaina, o vaega faʻavae e manaʻomia le i ai o le maualuga maualuga ma le tulaga saʻo, o le laugatasi, tutusa ma le faʻaogaina e manaʻomia e itiiti ifo i le 1μm, ma le fomu ma tulaga sa'o e mana'omia e itiiti ifo i le 5μm.
③ Maualuluga tulaga maualuga: Ina ia ausia le maualuga o le gaioiga ma le faʻatulagaina, o vaega faʻavae e manaʻomia le i ai o le maualuga maualuga o le mautu, e le o le faʻaleagaina, ma le maualuga o le vevela, faʻaitiitia le faʻalauteleina o le vevela, e le faigofie ona maua ai le tele o suiga. ;
④ Mama ma leai se filogia. O vaega fa'avae e mana'omia ina ia matua maualalo le fa'a'ese'esega, la'ititi le malosi o le kinetic i le taimi o fegasoloa'iga, ma leai ni mea fa'aleaga mea'ai. Silicon carbide mea o loʻo i ai se modulus elastic maualuga tele, conductivity vevela ma le maualalo o le faʻalauteleina o le vevela, e le faigofie ona maua le faʻafefeteina o le atuatuvale ma le vevela, ma e sili ona lelei, e mafai ona faʻaogaina i le faʻata sili ona lelei; O le mea lea, E i ai le lelei tele e faʻaaoga ai le silicon carbide e pei o le mea faʻatulagaina saʻo mo meafaigaluega autu o taʻaloga tuʻufaʻatasia e pei o le photolithography masini, Silicon carbide o loʻo i ai le lelei o le mautu vailaʻau lelei, malosi faʻainisinia maualuga, conductivity vevela maualuga ma maualalo le faʻalauteleina o le vevela, ma e mafai ona faʻaaogaina i le maualuga o le vevela, maualuga le mamafa, pala ma faʻavevela o siosiomaga ogaoga.
Silicon carbide o loʻo i ai le lelei o le faʻamautuina lelei o vailaʻau, maualuga le malosi o le masini, maualuga le vevela ma le maualalo o le faʻalauteleina o le vevela, ma e mafai ona faʻaaogaina i le maualuga o le vevela, maualuga le mamafa, pala ma faʻavevela o siosiomaga ogaoga.
O meafaigaluega autu o le fesoʻotaʻiga tuʻufaʻatasiga e manaʻomia ai mea o loʻo i ai uiga o le mama mama, malosi maualuga, maualuga le vevela ma le maualalo o le faʻalauteleina o le vevela, ma e mafiafia ma toniga e aunoa ma ni faaletonu. O vaega e mana'omia ina ia matua maualuga le sa'o ma le mautu e fa'amautinoa ai le fe'avea'i ma le fa'atonutonuina o meafaigaluega. Silicon carbide ceramics o loʻo i ai se faʻaogaina maualuga ma le faʻamaʻaʻaina, e le faigofie ona faʻaleagaina, ma e iai le maualuga o le vevela ma le maualalo o le faʻalauteleina o le vevela, maualuga le mautu o le vevela, o lea o le silicon carbide ceramics o se mea sili ona lelei, o loʻo i ai nei i totonu o le gaosiga o le gaosiga o le eletise. meafaigaluega autu e maua ai le tele o ituaiga o talosaga, e pei o le lithography masini ma silicon carbide laulau galue, taʻiala taʻiala, reflector, ceramic chuck, ma ceramic end effector.
Fountyl e mafai ona feiloai i le masini photolithography e avea o le sui o le tuufaatasia matagaluega gaosi meafaigaluega autu ma le tele tele, puipui manifinifi gaogao, fausaga faigata, saʻo silicon carbide fausaga vaega tekinolosi sauniuniga, e pei o: silicon carbide gaogao chuck, taiala nofoaafi, reflector, laulau galue. ma se fa'asologa o vaega fa'atulagaina sa'o silicon carbide mo masini photolithography.
| Meatotino | Fountyl | ||
| Malosi (g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| Young's Modulus(GPa) | 368 | ||
| Malosi fa'afoliga(MPa) | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE（×10-6/℃） | 100℃ | 2.8×10-6 | |
| 400℃ | 3.6×10-6 | ||
| 800 ℃ | 4.2×10-6 | ||
| 1000℃ | 4.6×10-6 | ||
| Fa'avevela (W/m·k) (20 ºC) | 160-180 | ||
| fua faatatau a Poisson | 0.187 | ||
| Modulus si'isi(GPa) | 155 | ||