Guriga
Qalabka
Silicon carbide loo isticmaalo qaybaha u adkaysta daxalka, qaybaha xidhidhiyaha, qaybaha heerkulka sare u adkaysta, biraha hagaha iyo alwaaxyada labajibbaaran
Ceramics-ka Silicon carbide waxay leeyihiin sifooyin farsamo oo heer sare ah oo heerkul caadi ah, sida xoog sare, qallafsanaan sare, modules laastikada sare, xasilloonida heerkulka sare ee aad u fiican, sida kuleylka kuleylka sare, isugeynta fidinta kulaylka hooseeya, iyo qallafsanaan gaar ah oo wanaagsan iyo guryaha wax lagu sameeyo, gaar ahaan ku habboon. loogu talagalay diyaarinta mashiinka sawir-qaadista iyo qalabka kale ee wareegga isku dhafan ee qaybaha qaab-dhismeedka dhoobada saxda ah. Sida loo isticmaalo mashiinka photolithography sax guuraya miiska workpiece, qalfoofka, koob nuugid, saxan biyaha-qaboojiyey iyo muraayad cabbir sax ah, shabaggeedii iyo qaybaha kale ee qaab-dhismeedka dhoobada, Fountyl wax cusub ka dib sannado cilmi-farsamo farsamo, xalliso cabbirka weyn, derbi khafiif ah, godan iyo qaab dhismeedka kale ee kakan ee qaybaha qaabdhismeedka silikoon carbide saxnaanta farsamaynta iyo dhibaatooyinka diyaarinta, jebinta cirifka farsamada ee noocan ah tignoolajiyada diyaarinta qaybaha qaab dhismeedka silicon carbide. Waxay si weyn u dhiirrigelisay deegaanaynta qaybaha qaabdhismeedka muhiimka ah ee loo isticmaalo qalabka wax soo saarka wareegga isku dhafan.
● Ceramics-ka Silicon carbide inta badan waxa ka mid ah silikoon carbide oo aan cadaadis lahayn (SSiC), silikoon carbide-ka fal-celin-celin ah (RBSC), kaydinta uumiga kiimikada silicon carbide (CVD-SiC).
● Silicon carbide waxay leedahay noocyo kala duwan oo sifooyin aad u fiican: super adag, xidho iska caabin, conductivity kulaylka sare iyo xoogga farsamada, hoose ballaarinta kulaylka, xasilloonida kulaylka fiican, cufnaanta hoose, qallafsanaan gaar ah oo sare, non-magnetic.
Waqtigan xaadirka ah, dhoobada silikoon carbide ceramics waxaa laga codsadaa warshado kala duwan sida duulista, hawada hawada iyo warshadaha nukliyeerka, sida qaybaha dhoobada ee qalabka dhamaadka-sare ee silikoon carbide ceramic reflector iyo IC-soo-saarka isku-dhafka ah ee wareegga, kulaylka iyo walxaha aan xabadu karin ee ku jira xaalado aad u daran.
Astaamaha qaybaha qaab dhismeedka dhoobada saxda ah ee qalabka wax soo saarka wareega ee isku dhafan:
① Aad u fudud: Si loo yareeyo dhaqdhaqaaqa dhaqdhaqaaqa, hoos u dhig culeyska mootada, hagaajinta waxtarka dhaqdhaqaaqa, meelaynta saxnaanta iyo xasilloonida, qaybaha qaabdhismeedka guud ahaan waxay isticmaalaan naqshad qaabdhismeedka khafiifka ah, heerka miisaanka khafiifka ah waa 60-80%, ilaa 90%;
② Saxnaanta booska sare: Si loo gaaro dhaqdhaqaaqa saxda ah ee saxda ah iyo meelaynta, qaybaha qaabdhismeedka ayaa looga baahan yahay inay lahaadaan qaab aad u sarreeya iyo saxnaanta booska, fidsanaanta, isbarbardhigga iyo qummanaanta ayaa looga baahan yahay inay ka yaraato 1μm, iyo foomka iyo saxnaanta booska ayaa loo baahan yahay in ka yar 5μm.
③ Xasilooni cabbir sare: Si loo gaaro dhaq-dhaqaaq sax ah oo sarreeya iyo meelaynta, qaybaha qaab-dhismeedka waxaa looga baahan yahay inay yeeshaan xasillooni cabbir aad u sarreeya, ma aha inay soo saaraan cadaadis, iyo kuleylka kuleylka sarreeya, isku-dhafka ballaarinta kulaylka hooseeya, ma fududa in la soo saaro qallafsanaanta cabbirka weyn. ;
④ Nadiif iyo wasakh la'aan. Qaybaha qaab-dhismeedku waxa looga baahan yahay inay yeeshaan is-burbur aad u hooseeya, luminta tamarta kinetic ee yar inta lagu jiro dhaqdhaqaaqa, iyo wax wasakh ah oo aan shiidinayn. Maaddada carbide ee silikon waxay leedahay modules laastiig ah oo aad u sarreeya, kuleyl kuleyl iyo isugeyn fidinta kulaylka hooseeya, ma fududa in la soo saaro qallooca cadaadiska iyo cadaadiska kulaylka, waxayna leedahay nadiifin heer sare ah, waxaa lagu farsameyn karaa muraayad aad u fiican; Sidaa darteed, Waxay leedahay faa'iidooyin aad u weyn in loo isticmaalo carbide silicon sida qalabka saxda ah ee qalabka muhiimka ah ee wareegyada isku dhafan sida mashiinka sawir-qaadista, Silicon carbide wuxuu leeyahay faa'iidooyinka xasilloonida kiimikada wanaagsan, xoogga farsamada sare, kuleylka kuleylka sare iyo isku-dhafka ballaarinta kulaylka hooseeya, waxaana lagu dabaqi karaa heerkul sare, cadaadis sare, daxal iyo shucaac deegaan aad u daran.
Silicon carbide waxay leedahay faa'iidooyinka xasilloonida kiimikada wanaagsan, xoogga farsamada sare, heerkulka sare ee kuleylka iyo fidinta kuleylka hooseeya, waxaana lagu dabaqi karaa heerkul sare, cadaadis sare, daxal iyo shucaac deegaan aad u daran.
Qalabka muhiimka ah ee wareegga isku-dhafka ah wuxuu u baahan yahay in qalabka qaybuhu ay leeyihiin sifooyinka miisaanka fudud, xoogga sare, heerkulka sare ee kuleylka iyo fidinta kuleylka hooseeya, iyo cufan iyo lebbis aan cillad lahayn. Qaybaha waxaa looga baahan yahay inay lahaadaan saxnaanta cabbirka aadka u sarreeya iyo xasilloonida cabbirka si loo hubiyo dhaqdhaqaaqa saxda ah ee saxda ah iyo xakamaynta qalabka. Ceramics-ka Silicon carbide waxay leeyihiin qaab-dhismeed heer sare ah iyo qallafsanaan gaar ah, ma fududa in la qaabeeyo, oo waxay leedahay koror kuleyl sare iyo isugeyn fidinta kulaylka hooseeya, xasilloonida kulaylka sare, sidaa darteed dhoobada silikoon carbide waa qalab qaabdhismeed heer sare ah, oo hadda ku jira soosaarka wareegga isku dhafan ee Qalabka muhiimka ah si aad u hesho codsiyo kala duwan, sida mishiinka lithography oo leh miiska shaqada ee silikoon carbide, tareenada hagaha, muraayadaha, dhoobada dhoobada, iyo saamaynta dhamaadka dhoobada.
Fountyl waxay la kulmi kartaa mashiinka sawir-qaadista iyadoo wakiil ka ah qalabka wax soo saarka isku-dhafka ah ee qalabka muhiimka ah ee leh cabbir weyn, darbi dhuuban, qaab-dhismeed adag, tignoolajiyada diyaarinta qaybaha qaabdhismeedka silicon carbide saxda ah, sida: silikoon carbide vacuum chuck, tareenka hagaha, milicsada, miiska shaqada iyo qaybo qaab dhismeedka silikoon carbide oo taxane ah oo sax ah oo loogu talagalay mashiinka sawir-qaadista.
| Guryaha | Fountyl | ||
| Cufnaanta (g/cm3) | 2.98-3.02 | ||
| Modulus Young's (GPa) | 368 | ||
| Awood dabacsanaan (MPa) | 334 | ||
| Weibull | 8.35 | ||
| CTE (×10-6/℃) | 100 ℃ | 2.8×10-6 | |
| 400 ℃ | 3.6×10-6 | ||
| 800 ℃ | 4.2×10-6 | ||
| 1000 ℃ | 4.6×10-6 | ||
| Heerarka kulaylka (W/m·k) (20ºC) | 160-180 | ||
| Saamiga Poisson | 0.187 | ||
| Qaabka xiirashada (GPa) | 155 | ||